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《长春理工大学》 2004年
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Y系高温超导材料的制备与性能表征

黄德馨  
【摘要】:高温超导材料在弱电和强电领域中的应用前景都非常美好,超导薄膜可在以薄膜为基础的微电子学器件上首先突破应用,而超导靶材是制备超导薄膜的溅射源,靶材质量的优劣直接影响超导薄膜的质量和应用。因此制备高质量的超导薄膜,靶材是关键之一。一般来说,靶材的超导性能越好,溅射出的超导薄膜性能就越好。随着超导薄膜应用研究的深入,小面积薄膜逐步向大面积薄膜发展,这对靶材的要求亦越来越严格。大面积薄膜不仅对靶材的成分、纯度、均匀度等方面要求高,而且对其形变度、平整度等方面亦要求高,所以必须采用相应的制备靶材工艺才能满足上述要求。 本文研究了超导材料的超导电性及Y系超导材料的性质。采用溶胶凝胶法制备大尺寸超导靶材,对其特性进行深入研究,并总结出一套优化超导材料制备的总体工艺方法和技术路线。同时,与传统固相法制备的超导粉体进行了比较,制得了性能优良的大尺寸超导靶材。 制备出的靶材直径为60mm,厚度3~5 mm,密度≥4.7g/cm~3,平面度≤0.1mm,平行度≤0.5mm,无形变,无裂纹。经211所的使用,表明用其做出的薄膜膜面光亮,膜质致密,单相性好。用此薄膜试制的红外探测器能获得较高的响应率,较大的信号绝对值。
【学位授予单位】:长春理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:TM26

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