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《长春理工大学》 2009年
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可见与红外双波段增透膜的研究与制备

贺才美  
【摘要】: 根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上,可见与近红外波段400~1000nm及远红外波段7~11μm,镀制增透膜,要求平均透射率大于90%。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF_3作为高低折射率材料,利用最新OptiLayer软件三大模块的功能辅助,调整镀膜工艺参数,改进监控方法,减少膜厚控制误差,在多光谱ZnS基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段400~1000nm的平均透射率大于91%,远红外波段7~11μm的平均透射率大于90%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求。
【学位授予单位】:长春理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2009
【分类号】:O484.41

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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10 史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
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