泵体柱塞表面涂层技术研究
【摘要】：
本文在泵体柱塞试件(钢5CrMnMo)表面上,采用射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)技术,通过控制不同的甲烷、氢气、氩气流量和不同过渡层等工艺参数,沉积了DLC薄膜。在此基础上,借助于X射线衍射仪、激光扫描共焦显微镜、扫描电镜、电子能谱仪、划痕试验机、纳米压入测试仪等仪器对DLC膜的微观组织、元素分布、涂层与基体间的结合力和涂层的纳米压入硬度进行了系统的研究。
研究结果表明:采用射频等离子体增强化学气相沉积方法,可以在活塞轴表面沉积一定厚度的碳膜,但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力,薄膜牢度较小,易剥落,且不耐磨。我们用旋转磁控电弧离子镀技术,在钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层,然后再用射频等离子体化学气相沉积方法在过渡层上制备了DLC膜,发现所制备的碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高,且在Ti/TiC过渡层上各项指标最高。
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