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《黑龙江大学》 2006年
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PZT驱动的微泵研制及特性分析

赵全亮  
【摘要】:本文设计制作了一种PZT驱动的无阀型微泵,其无阀型单向阀是由一对等腰三角形截面的扩散/收缩管组成。通过计算机软件IntelliSuite对制作工艺的模拟,确定了无阀型微泵驱动腔和扩散/收缩管微阀的制作方案。采用MEMS工艺制作出所设计的部件并组装完成微泵样机。微泵的性能测试和静态过流实验表明,当施以8000Hz的250V方波电压时,最大流量为12μL/min,最大背压为578Pa。同时,运用CFD软件对整个微泵静态分析的结果与实验结果比较,验证了模型的可靠性,并运用此模拟方法分析了扩散管的角度、长度和最小口宽度分别对扩散管压力损失系数和扩散管整流效率的影响,优化了无阀型单向阀扩散/收缩管的结构参数,对进一步提升微泵的性能奠定了基础。
【学位授予单位】:黑龙江大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:TH38

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【参考文献】
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