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《哈尔滨工业大学》 2007年
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脉冲电流电解加工微细结构的试验研究

孙立忠  
【摘要】: 电解加工是金属工件在电解液中发生阳极溶解以达到加工目的的一种加工方法,它是以离子方式去除材料的,不受材料强度、硬度限制,在微、纳米加工领域具有很大的发展潜力和广阔的应用前景。 首先,通过对脉冲电流微细电解加工机理的分析,阐明了利用脉冲电流进行微细电解加工可以增强加工定域性,减小杂散腐蚀的原因。系统分析了影响加工质量的主要因素,针对加工电压、电解液浓度、进给速度和占空比,进行了单因素试验和正交试验,得出了各工艺参数对加工质量的影响关系。 其次,采用高频窄脉冲电流电解方法在线制作微细电极。研究了不同材料加工微细电极的特点。通过试验发现:选择不同加工参数可以加工出不同形状的钨电极;采用黄铜加工微细电极经济性好,加工效率高,且加工的电极质量好。 最后,对利用脉冲电流和超短脉冲电流电解加工微结构进行了试验研究。通过加工微小孔,对比了采用旋转电极和非旋转电极的加工效果,得到了直径25μm的微孔;利用分层铣削原理,采用旋转电极、低加工电压、低浓度的钝化性电解液加工微细结构。与CAD/CAM技术相结合,加工出带微槽的圆台;研究和探讨了利用微细电解车削技术加工微回转体的工艺方法。介绍了加工原理,进行了试验加工,得到了形状较好的微回转体。
【学位授予单位】:哈尔滨工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2007
【分类号】:TG662

【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘勇;微细电解铣削加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张朝阳;纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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10 陈伟;刘壮;谢岩甫;;锥形电极对微小孔电解加工定域性的影响[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 宋建荣;7YSZ/Al_2O_3/Ni-343多层热障涂层的同步合成及其性能研究[D];武汉理工大学;2010年
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8 周雅各;利用毛细管微探针的微结构制备新方法研究[D];浙江大学;2011年
9 姚瑶;基于B/S等离子弧喷涂专家系统的研究[D];河北农业大学;2011年
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【同被引文献】
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1 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
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中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
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1 宋馨来;微细电火花加工中的CAD/CAM技术研究[D];南京航空航天大学;2005年
2 葛忠年;微通道内电渗流有限元数值模拟[D];南昌大学;2009年
【二级引证文献】
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1 刘宇;基于亚微米工具电极的微细电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2012年
【二级参考文献】
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10 朱保国;脉冲电化学微细加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
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2 衡冲;利用阴极跳跃排液提高微细电解加工精度的试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
4 丁维育;纯钛微细电解加工基础试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
5 陈伟;阴极跳跃冲液的数值模拟与微细电解加工试验[D];南京航空航天大学;2011年
6 王贺宾;微细电解加工装备研制及其实验研究[D];广东工业大学;2012年
7 何铁军;钼栅网微细光刻电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 孟冬;基于微细球头状电极的微小孔电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
9 江一;激波辅助纯钛微细光刻电解试验研究[D];南京航空航天大学;2009年
10 刘红丽;MESO-SCALE级金属结构微细电解加工技术试验研究[D];山东理工大学;2012年
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