收藏本站
《华东理工大学》 2012年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于元胞自动机模型的硅各向异性腐蚀模拟

闫丽  
【摘要】:在MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)工艺中,硅各向异性腐蚀技术是其中的一项核心工艺。随着MEMS CAD技术的广泛发展,如何利用计算机模拟硅的各向异性腐蚀过程已经引起专业人士的广泛关注。计算机模拟硅的各向异性腐蚀技术经常采用的两种模型为几何模型和元胞自动机模型。基于几何模型的硅各向异性腐蚀的计算机模拟虽然具有算法简单、比较直观的特点,但是其三维处理能力不强并且腐蚀结果不够精确。因此,本论文中采用元胞自动机模型实现了对硅各向异性腐蚀过程的计算机模拟,并结合OpenGL (Open Graphics Library)技术对腐蚀结果进行绘制。 本论文的主要工作包括以下几方面: (1)系统的研究分析了元胞自动机模型在硅各向异性腐蚀模拟中的应用,提出了一种基于元胞自动机模型的硅各向异性腐蚀模拟的建模方法; (2)针对已经实现的计算机模拟所存在的内存受限的问题,提出了面向内存受限的硅各向异性腐蚀模拟的解决方法,通过实现内存空间的动态分配与释放解决了内存不足以及内存浪费严重的问题。 (3)提出了将基于GPU (Graphic Processing Unit)的通用计算与基于元胞自动机模型的硅各向异性腐蚀模拟相结合的实现方法,通过将硅各向异性腐蚀模拟在GPU端实现,达到了缩短计算机模拟时间的目的。 基于元胞自动机模型下的硅各向异性腐蚀的计算机模拟,具有三维处理能力强和腐蚀结果精确的优点,而通过对其进行优化改进,使得硅各向异性腐蚀过程的计算机模拟通用行更强,限制性更低。
【学位授予单位】:华东理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:TP391.41;TB304

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 沈桂芬,吴春瑜,姚朋军,杨学昌,刘兴辉,吕品,高嵩;各向异性腐蚀技术研究与分析[J];传感技术学报;2001年02期
2 姜胜林,曾亦可,刘少波,刘梅冬;Si基片各向异性腐蚀特性研究[J];华中科技大学学报(自然科学版);2003年10期
3 姜岩峰,黄庆安;硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立[J];机械强度;2001年04期
4 杨晓光;姚伯威;张丽丽;;MEMS器件的计算机辅助设计方法和仿真研究[J];微计算机信息;2006年14期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 周再发;用元胞自动机方法模拟硅的各向异性腐蚀[D];东南大学;2004年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张宏军;高峰;;扩散系统的元胞自动机模拟[J];安徽教育学院学报;2006年03期
2 李红萍;李延升;张长森;刘国际;;基于元胞自动机的生物质颗粒慢速热解模型[J];安徽农业科学;2010年20期
3 邓俊泳,冯勇建;聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用[J];微纳电子技术;2003年04期
4 王艳华,孙道恒;硅尖的制备[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 熊韬,易新建,陈四海,陈明祥,周少波;应用于MEMS气密性封装测试的微型湿度传感器的设计与制作[J];微纳电子技术;2003年Z1期
6 谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川;MEMS微致动器的研究[J];微纳电子技术;2004年09期
7 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟;微机电系统的微细加工技术[J];微纳电子技术;2004年11期
8 姚娉,闫卫平,马灵芝,杜立群,郭吉洪;单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟[J];微纳电子技术;2005年06期
9 陈兵芽;刘莹;胡敏;李小兵;李一冰;王强;;微执行器的研究与展望[J];微纳电子技术;2005年12期
10 熊建功;郑小林;赵志强;文静;;基于MEMS的高效细胞电融合系统的芯片设计[J];微纳电子技术;2006年06期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 蔡新;李益;吴威;叶松;;地震作用下堤防风险分析研究[A];现代水利水电工程抗震防灾研究与进展(2011年)[C];2011年
2 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
3 肖成榕;张建寰;;微位移机构及其控制技术研究现状和发展[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
4 周涛;周佩玲;汪秉宏;杨春霞;蔡世民;;元胞自动机用于金融市场建模[A];全国复杂系统研究论坛论文集(二)[C];2005年
5 刘君娥;郭忠达;刘卫国;刘欢;;Si-V型槽的制备[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 蒋国银;基于集成模拟的电子商务协同工作机制研究[D];华中科技大学;2010年
2 于群;电力系统大停电的自组织临界特性研究[D];中国电力科学研究院;2010年
3 韩明华;基于情境分析的集群企业知识转移机理与模型研究[D];浙江工商大学;2011年
4 张晓鹏;公共危机管理系统的构建与能力评价研究[D];大连理工大学;2011年
5 孟兆新;木材干燥的多场耦合建模仿真与优化研究[D];东北林业大学;2011年
6 燕松山;高温发汗润滑层制备及其功能控制机理研究[D];武汉理工大学;2011年
7 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
8 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
9 王荣;自动元胞机理论在混凝土动荷载数值试验中的应用研究[D];天津大学;2010年
10 张文铸;无线传感网络拓扑控制关键问题[D];清华大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄小慧;基于粒计算的三层结构的交通流模拟[D];南昌大学;2010年
2 李晓雪;基于元胞自动机模型的公交线路系统建模与模拟[D];北京交通大学;2010年
3 杜晓圆;基于GIS和CA模型的城市化土地利用扩展模拟与预测[D];昆明理工大学;2010年
4 李斌斌;MEMS带通滤波器的设计研究[D];西安电子科技大学;2011年
5 李雪梅;屈曲型微驱动器的设计与分析[D];西安电子科技大学;2011年
6 王召阳;基于CA模型的低能见度道路交通流动态特性研究[D];合肥工业大学;2011年
7 李晓红;三轴高g值加速传感器灵敏度校准及横向效应研究[D];中北大学;2011年
8 黄勇;空间三平移超精密定位平台及控制方法研究[D];江西理工大学;2011年
9 李上海;修船厂信息管理优化技术研究[D];华南理工大学;2011年
10 陈永淇;室内人员疏散的元胞自动机模拟研究[D];广西师范大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期
2 姜岩峰,黄庆安,吴文刚,郝一龙,杨振川;硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型[J];半导体学报;2002年04期
3 徐义刚,王跃林,曾令海,丁纯;四电极系统P—N结自停止腐蚀研究[J];半导体学报;1994年11期
4 张庆鑫,刘理天,李志坚;(100)Si在KOH中各向异性腐蚀的凸角补偿新方法[J];半导体学报;1996年12期
5 霍鹏飞,马炳和,苑伟政;基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真[J];航空学报;2003年05期
6 姜岩峰,黄庆安,吴文刚,郝一龙,杨振川;硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展[J];仪器仪表学报;2003年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王静;孔令江;刘慕仁;;BA网络上的手机短信息传播模型[J];广西物理;2006年01期
2 顾九春;陈燕;汪海龙;张全忠;;大型货车影响的高速交通流元胞自动机模型[J];计算机工程与应用;2010年07期
3 肖海林,邓敏艺,孔令江,刘慕仁;元胞自动机舆论模型中人员移动对传播的影响[J];系统工程学报;2005年03期
4 余雷;薛惠锋;高晓燕;李刚;;基于元胞自动机的传染病传播模型研究[J];计算机工程与应用;2007年02期
5 王丰,吕平临,李敬文;硅各向异性腐蚀技术[J];黑龙江商学院学报(自然科学版);2000年02期
6 姜岩峰,黄庆安;硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立[J];机械强度;2001年04期
7 孔宪娟;高自友;;基于双倍视距的交通信号控制的元胞自动机模型[J];ITS通讯;2005年02期
8 姜岩峰,黄庆安;硅各向异性腐蚀的原子级模拟[J];半导体学报;2005年03期
9 温殿忠;Ar离子激光增强硅各向异性腐蚀速率的研究[J];中国激光;1995年03期
10 崔晓松;李文举;冯宇;吴贝贝;周峰;;基于元胞自动机和模糊理论的人群疏散仿真[J];微型机与应用;2011年12期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李斌;张新宇;谢长生;张天序;;利用硅各向异性腐蚀制作各种微光学结构[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(下册)[C];2010年
2 刘慕仁;王静;孔令江;;小世界网络上的手机短信息传播模型[A];科学发展观与系统工程——中国系统工程学会第十四届学术年会论文集[C];2006年
3 彭麟;吴大艳;刘贵泉;;具有自适应性元胞自动机舆论传播模型的模拟与分析[A];全国复杂系统研究论坛论文集(二)[C];2005年
4 李斌;魏明月;张新宇;谢长生;张天序;;硅各向异性腐蚀掩膜版的高效率高精度设计[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)[C];2009年
5 翟平;;汽车动力性、燃油经济性的微机模拟[A];四川省汽车工程学会第一届二次年会论文集[C];1991年
6 武传松;孙俊生;高进强;;焊接过程计算机模拟的新进展[A];第十次全国焊接会议论文集(第1册)[C];2001年
7 王俊;卢洁;刘勇;陈林;李洪峻;蒲亮;张华俊;;风冷热电空调器计算机模拟及实验研究[A];第十届全国冷(热)水机组与热泵技术研讨会论文集[C];2002年
8 欧阳可青;韦丹;任天令;刘理天;;铁电存储器薄膜的计算机模拟[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
9 路钢华;D.J.H.Cockayne;;ZnTe中位错偶极的计算机模拟鉴定[A];第四次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1986年
10 郑昌琼;冉均国;禹争光;蒋书文;苟立;;金刚石薄膜光学参数的测定与模拟计算[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 张梦然;超级计算机模拟出暗物质结构[N];科技日报;2010年
2 记者 常丽君;计算机模拟生命形式进化出基本智能[N];科技日报;2010年
3 记者 何屹 刘霞;计算机模拟结果透露暗物质藏身之地[N];科技日报;2008年
4 记者 张孟军;用虚拟应对真实[N];科技日报;2005年
5 ;为何雨雪专挑机场附近下[N];新华每日电讯;2011年
6 孙玮;VOLVO:用计算机模拟“轿车碰撞”[N];经济参考报;2000年
7 山东 周立;CAI与职业技能教育[N];中国电脑教育报;2006年
8 信息产业部电子第二十二研究所青岛分所 郎锐;实现对水波的计算机模拟[N];计算机世界;2001年
9 ;类月卫星或大量存在[N];新华每日电讯;2011年
10 吉朋晓 整理;上海应进一步完善应急预案[N];联合时报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李新刚;基于元胞自动机模型的交通系统微观建模与特性研究[D];北京交通大学;2010年
2 贾宁;交通流元胞自动机模型的解析与应用研究[D];天津大学;2010年
3 张景祥;凝聚过程中原子堆砌模式及其演化的计算机模拟[D];山东大学;2009年
4 李启朗;路口瓶颈处交通状态的相图及元胞自动机模型研究[D];中国科学技术大学;2012年
5 丁中俊;元胞自动机交通流模型中的相变现象和解析研究[D];中国科学技术大学;2012年
6 李树君;全旋流分离马铃薯淀粉试验研究及计算机模拟[D];中国农业大学;2002年
7 李晓毅;受限高分子单链的计算机模拟[D];四川大学;2000年
8 孙舵;道路交通流元胞自动机模型中的相变现象研究[D];中国科学技术大学;2011年
9 李晓玲;Al_3Li相沉淀的原子层面计算机模拟[D];西北工业大学;2002年
10 刘振鸿;尼龙6固相聚合计算机模拟及其工业化应用研究[D];东华大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 闫丽;基于元胞自动机模型的硅各向异性腐蚀模拟[D];华东理工大学;2012年
2 姚娉;单晶硅各向异性腐蚀的计算机微观模拟[D];大连理工大学;2005年
3 傅玲;教学楼学生紧急疏散的自动机模拟研究[D];广西师范大学;2011年
4 杜吉祥;汽车碰撞事故的计算机模拟再现技术的研究[D];合肥工业大学;2002年
5 李阳平;射频磁控溅射沉积薄膜的计算机模拟[D];西北工业大学;2002年
6 王吉星;高分子合成与性能预测的计算机模拟[D];河北工业大学;2004年
7 徐孟平;异型材挤出模设计的计算机辅助分析与实验研究[D];青岛科技大学;2005年
8 姚尚文;高瓦斯低透气性煤层强化增透抽放瓦斯技术研究[D];安徽理工大学;2005年
9 曹劲松;氟硅酸钠环保工艺的研究开发及制取过程的计算机模拟[D];西北大学;2009年
10 尹纪龙;含Nb钢热轧过程微观组织演变的计算机模拟与轧后力学性能预报[D];武汉科技大学;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026