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《华东师范大学》 2011年
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小型微波微等离子体功率源的研究

陆潇琛  
【摘要】:小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子(纳电子)技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术,它是随着MEMS技术的发展而发展起来的。将微波等离子体结合MEMS工艺可使微等离子体的结构和特性发生巨大的改变。 这种微波微等离子体与其它形式的微等离子体相比,具有很多突出的优点,如结构简单、使用寿命长、状态稳定,而且无电极污染,本课题的研究意义在于:通过模块化的设计做到了集小型、便捷的有源集成,同时也顺应了当今MEMS技术的发展趋势。 在小功率微波微等离子体源中,微等离子体激励所需的微波功率很小,一般只有几百毫瓦,甚至几十毫瓦,因此功率源可以与辐射单元进行系统集成。本论文拟定将目前使用范围很广的蓝牙以及VCO(压控振荡器)用作信号源来激励微等离子体,由于蓝牙信号和VCO的输出功率很小,一般在0~100mW之间,这种微弱的信号不足以激发微等离子体,因此必须对其进行功率放大。通过合理地设计出功率放大器对其输出信号进行预处理来激励小功率微波等离子体。
【学位授予单位】:华东师范大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2011
【分类号】:TN015

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