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《苏州大学》 2005年
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倾斜多焦点Fresnel二元光学元件的优化方法和制作研究

凌卫锋  
【摘要】:二元光学技术已广泛应用于各个领域。在光学信息存储、记录和处理、光学互连、多通道光学信息处理系统及多目标图像识别系统等领域,都需要长焦深、多焦点的二元光学元件,基于这样的应用背景,我们研究了多焦点Fresnel二元光学元件的优化方法和制作。 以标量衍射理论为基础,分析了菲涅耳衍射的物理意义,并详细推导了倾斜焦平面的菲涅耳衍射公式,以此为理论依据设计倾斜多焦点Fresnel二元光学元件。论述了常用的优化方法,即迭代傅立叶算法和模拟退火算法,并对优化算法进行了改进,意在用于倾斜多焦点Fresnel二元光学元件的设计和制作。介绍了分布多焦点Fresnel二元光学元件的设计方法,和倾斜多焦点Fresnel二元光学元件优化算法作了比较,指出本文采用的优化方法具有优化速度快,元件衍射效率高等优点。利用方光点激光光刻系统分别制作了两台阶和四台阶的倾斜多焦点Fresnel二元光学元件,给出了实验结果并进行了分析。 我们提出的优化方法是设计多焦点菲涅耳衍射元件很有效的方法,它具有衍射效率高和优化速度快等优点;同时,设计方法用实验进行了验证。
【学位授予单位】:苏州大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TH74

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【参考文献】
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