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《东南大学》 2006年
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微电子工业洁净厂房的设计探讨

汪小霞  
【摘要】: 微电子工业的飞速发展,推动了洁净室设计技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,微电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术,只有充分了解微电子工业洁净厂房的设计特点,做到设计合理,才能做出优秀的项目。论文以微电子工业洁净厂房的设计为研究内容,具有重要的现实意义和很大的研究价值。本文研究重点为微电子工业洁净厂房公用设备专业的设计,主要含以下几个方面: 1.微电子工业洁净厂房的暖通设计。分析了净化空调系统的三种送风方式的特点,并通过工程实例具体分析了集中送风系统的设计过程。对于高级别的净化厂房,提出了采用布置灵活的FFU送风方式,该方式解决了传统的送风方式不能适应工艺布局和净化等级要求变化的问题。对于局部超高净化区域,提出了采用SMIF微环境控制的新技术,极大降低了造价。对一般空调系统和废气处理也作详细分析。 2.微电子工业洁净厂房的给排水设计。提出了给排水设计的内容和应注意的问题。重点研究了纯水的制备和输送原理及方法,对纯水制备采用的离子交换技术、反渗透技术、EDI技术及其特点等进行了详细分析。针对某电子网板公司HDTV/SDTV平板荫罩项目进行了洁净厂房的给排水设计。 3.电子工业洁净厂房的气体动力设计。研究了气体动力设计的主要内容及方法,分析了洁净压缩空气系统的结构原理,提出了气体动力设计要根据工艺要求选配合适的过滤器和干燥装置。针对某电子网板公司HDTV/SDTV平板荫罩项目,进行了洁净厂房的气体动力设计.
【学位授予单位】:东南大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:TU274

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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