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《南京航空航天大学》 2010年
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钼栅网微细光刻电解加工试验研究

何铁军  
【摘要】:钼由于其熔点高,密度低,热膨胀系数低,比强度高,优良的导热与导电性能,对熔融玻璃、熔盐及熔融金属有较高的防腐性,在电子、金属加工及航天工业中得到日益广泛的应用。光刻电解加工(又称为掩膜电解)将光刻技术与电化学加工技术相结合,能加工出微米甚至亚微米级的复杂开关,可用于精密光栅、超大规模集成电路、印刷电路等各种金属薄壁零件和微机电系统(MEMS)零件的制造。由于钼在电解过程中极易钝化,加大了电解的难度,本文采用H_2SO_4/Methanol有机电解液对其进行加工,有效解决了钝化的问题。 本文针对钼电解特性,以有机溶液作为电解液,完成以下内容: 1.根据钼微细电解加工特点,搭建试验平台; 2.掩蔽阴极设计及电解加工过程中的电场分析。进行钼表面电场的有限元分析,为电解参数优化奠定基础; 3.研究影响均一性的四个主要因素,并利用Taguchi方法对各个参数进行分析,获得最优参数; 4.使用体积比为20%的H_2SO_4/Methanol有机电解液,进行钼栅网微细光刻电解试验研究,在厚100μm钼片上加工出所需图案,获得较高加工精度和尺寸一致性。 试验结果表明:利用H_2SO_4/Methanol有机电解液能有效抑制钝化膜产生,当采用电解液浓度的体积比为20%,电流密度为1.5A/cm~2,阴极直径为10mm,极间间隙为5mm时钼栅网均一性和表面质量最好。
【学位授予单位】:南京航空航天大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TG662

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李海亮;马杰;朱效立;吴坚;谢常青;陈宝钦;刘明;;3333l/mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试[J];微纳电子技术;2010年03期
2 谢常青;光刻技术的发展动态[J];半导体情报;1997年06期
3 赵万生,王振龙,郭东明,赵福令,朱荻,黄因慧;国外特种加工技术的最新进展[J];电加工;1999年05期
4 朱荻;国外电解加工的研究进展[J];电加工与模具;2000年01期
5 李嘉珩,马保吉,范植坚;光刻胶掩膜微细电化学加工参数的试验研究[J];电加工与模具;2004年06期
6 李颖,徐家文,彭思平;超纯水微细电解加工的基础研究[J];电加工与模具;2005年03期
7 许维源;唐晓梅;;电火花加工钼栅网脉冲电解抛光工艺的研究[J];电镀与精饰;1983年01期
8 刘春太,申长雨;利用TAGUCHI方法优化纤维增强PA66注塑熔接线拉伸性能[J];复合材料学报;2004年05期
9 杨彦涛;李自鹏;黄志伟;;特种加工技术在微小孔加工中的应用[J];黄河水利职业技术学院学报;2010年01期
10 王明环;朱荻;徐惠宇;;提高微细电解加工精度的研究[J];航空精密制造技术;2005年06期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
2 王昆;微细电解线切割加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 邱勇;表面微小阵列凹坑微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2008年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨风霞;范文秀;刘萍;孔双勤;;基于Taguchi法的注塑制品成型收缩率最小化[J];工程塑料应用;2008年05期
2 陈少华;;脉冲电解及其国内外研究概况[J];安徽化工;2007年06期
3 石霞;孙俊峰;顾晓春;;肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究[J];半导体技术;2010年04期
4 袁寿财,朱长纯;纳米电子技术[J];半导体技术;1999年01期
5 明平美;胡洋洋;曾永彬;;金属Micro/Meso结构器件制造技术[J];微纳电子技术;2006年06期
6 张朝阳;毛卫平;陈飞;;纳米、亚微米的超窄脉宽微细电化学加工[J];微纳电子技术;2009年11期
7 宓小川;董晓明;田青超;;超高抗挤套管的织构研究[J];宝钢技术;2010年01期
8 范植坚,钟玲,李福援,陈林;基于电化学过程的电解加工间隙电场的研究[J];兵工学报;2003年04期
9 范植坚,王天诚,冯延军,孙立庭;火炮身管大缠角混合膛线计算机数字控制电解加工技术研究[J];兵工学报;2005年05期
10 李杰;陈伟庆;何北星;刘青;;超声波处理高温钢液的工具头材质研究[J];北京科技大学学报;2007年12期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 侯明;程学俊;彭光辉;;大单重无焊接钼丝生产新工艺[A];2009(重庆)中西部第二届有色金属工业发展论坛论文集[C];2009年
2 彭光辉;徐文松;张小艳;;钼板坯低压制压力对后续轧制加工性能影响研究[A];2009(重庆)中西部第二届有色金属工业发展论坛论文集[C];2009年
3 魏崇斌;宋晓艳;赵世贤;刘文彬;;超细硬质合金复合粉及块体材料的制备与表征[A];第七届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2009年
4 翁明浩;王振龙;;微阵列轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究[A];第三届十省区市机械工程学会科技论坛暨黑龙江省机械工程学会2007年年会论文(摘要)集[C];2007年
5 刘金国;曲宁松;李寒松;孙毅;;多孔径微小群孔电解加工工艺研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
6 陈伟;刘壮;谢岩甫;;锥形电极对微小孔电解加工定域性的影响[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
7 孟冬;李寒松;曾永彬;刘勇;;基于ECM-OPEG微细球状电极制备研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
8 朱荻;;纳米制造技术与特种加工[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
9 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
10 徐家文;王建业;田继安;杨占尧;刘延禄;朱树敏;;21世纪电解加工的发展和应用[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李熹平;快速热循环注塑模具及工艺关键技术研究[D];山东大学;2010年
2 张悦;典型金属的剧烈塑性变形与组织性能演变[D];南京理工大学;2010年
3 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
4 张华;喷射液束电解—激光复合加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
5 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
6 彭子龙;微细电火花沉积与去除可逆加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 马晓宇;阵列孔微细电解加工基础技术研究[D];清华大学;2010年
8 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
9 吴锐;整体构件高效、快捷数控电解加工的应用研究[D];南京航空航天大学;2009年
10 王维;群小孔电解加工的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李义辉;超声无磨料内圆抛光声学系统及抛光工艺研究[D];河南理工大学;2010年
2 李高飞;数控选区电沉积快速成型的成型质量研究[D];浙江理工大学;2010年
3 陈里龙;金属电化学快速线切割技术研究[D];浙江理工大学;2010年
4 温合静;基于钨酸基无机—有机层状混杂结构的钨系微纳米晶材料的制备与表征[D];郑州大学;2010年
5 贾男;微小孔电火花加工排屑方法及振动器研究[D];大连理工大学;2010年
6 童尧;注塑成型的数值模拟及多目标工艺优化[D];华东理工大学;2011年
7 陈洁;辉钼矿真空热分解脱硫的研究[D];昆明理工大学;2009年
8 李亚斐;片麻岩型白钨矿浮选试验研究[D];昆明理工大学;2010年
9 章国权;云南怒江白钨矿选矿试验研究[D];昆明理工大学;2009年
10 周雅各;利用毛细管微探针的微结构制备新方法研究[D];浙江大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟;微机电系统的微细加工技术[J];微纳电子技术;2004年11期
2 朱效立;马杰;曹磊峰;杨家敏;谢常青;刘明;陈宝钦;牛洁斌;张庆钊;姜骥;赵珉;叶甜春;;高线密度X射线透射光栅的制作工艺[J];半导体学报;2007年12期
3 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
4 王建业;电解加工技术的新发展——高频窄脉冲电流电解加工[J];电加工;1998年02期
5 赵万生,王振龙,郭东明,赵福令,朱荻,黄因慧;国外特种加工技术的最新进展[J];电加工;1999年05期
6 朱荻;国外电解加工的研究进展[J];电加工与模具;2000年01期
7 赵葛霄,黄玉辉;电子束加工技术在微细弯孔加工中的应用研究[J];电加工与模具;2000年06期
8 施文轩,张明歧,殷旻,吴志刚;电射流加工工艺研究和发展[J];电加工与模具;2001年01期
9 徐家文 ,王建业 ,田继安;21世纪初电解加工的发展和应用[J];电加工与模具;2001年06期
10 朱荻;纳米技术与特种加工[J];电加工与模具;2002年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 刘祚成;高速走丝线切割机床CAD/CAM系统(含工艺参数库)研究[D];电子科技大学;2005年
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中国期刊全文数据库 前10条
1 段建坤;许方田;;固定阴极式电解加工在若干零件中的应用[J];电加工与模具;1979年03期
2 朱树敏;;浅谈电解加工[J];机械工人.冷加工;1984年11期
3 刘今起;;关于电解加工的污染与治理(上)[J];环境保护;1992年02期
4 ;化油器阀针的电解加工[J];机械工人.冷加工;1977年09期
5 刘家富;;电极周期定位的电解加工[J];电加工与模具;1981年05期
6 刘正壎;;我国首届电解加工研究生毕业[J];电加工与模具;1981年06期
7 沈健,张海岩;用电解加工的方法仿型加工内齿[J];机械制造;1995年05期
8 樊稳,范植坚;深孔电解加工在线测试系统的研究[J];西安工业学院学报;2000年04期
9 陈济轮;定间隙间歇送进-混气电解加工技术[J];航空精密制造技术;2003年03期
10 李颖,徐家文,彭思平;超纯水微细电解加工的基础研究[J];电加工与模具;2005年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 宫超林;曲宁松;李寒松;;活动阴极模板电解加工发动机缸套微坑阵列试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
2 张凯;严政;庄金隆;;电解加工产物的处理[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
3 董朝盼;赵雍建;傅秀清;康敏;;直线刃阴极数控电解加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
4 刘金国;曲宁松;李寒松;孙毅;;多孔径微小群孔电解加工工艺研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
5 王建业;罗干英;林苏文;刘丛宽;张弢;罗天友;;高频窄脉冲电流源电解加工成型规律研究[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
6 朱永伟;徐家文;云乃彰;严德荣;胡平旺;钱密;;扭曲叶片整体叶轮的数控展成电解加工[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
7 李小海;王振龙;赵万生;;微细电解加工装置的研制及其应用[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
8 陈伟;刘壮;谢岩甫;;锥形电极对微小孔电解加工定域性的影响[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
9 陈远龙;朱树敏;;电解加工工艺参数模拟试验设计及数据库的创建[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
10 金文媞;;叶片电解精加工研究[A];第三届民用飞机先进制造技术及装备论坛论文汇编[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 鲁玉峰;基于UG\CAD平台的航空叶片测量前后置处理系统[N];中国航空报;2001年
2 ;江河截流用栅网[N];中国水利报;2002年
3 谢斌;新艺厂依靠技术创新“顶天立地”[N];中国航空报;2002年
4 湖北 余俊芳;电子灭蚊拍原理与维修[N];电子报;2006年
5 仲欣;废旧电池回收商机无限[N];厂长经理日报;2001年
6 本报记者 解悦;“南京造”数控机床打破国外技术封锁[N];南京日报;2009年
7 张开逊;回望人类发明之路[N];大众科技报;2005年
8 高万建;勤奋敬业 不计报酬[N];中国船舶报;2001年
9 本报记者 罗兵;中国造需要精准“中国脑”[N];中国质量报;2009年
10 ;家电应避免互相干扰[N];西藏日报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 徐正扬;发动机叶片精密电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2008年
2 马晓宇;阵列孔微细电解加工基础技术研究[D];清华大学;2010年
3 王维;群小孔电解加工的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 李冬林;模板电解加工群孔基础研究及应用[D];南京航空航天大学;2010年
5 徐庆;整体叶盘多通道电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2012年
6 吴建民;大直径整体叶轮数控电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2009年
7 钱双庆;表面织构电解加工技术的基础研究与应用[D];南京航空航天大学;2011年
8 吴锐;整体构件高效、快捷数控电解加工的应用研究[D];南京航空航天大学;2009年
9 王福元;整体叶轮叶片型面数控电解精加工的若干关键技术研究[D];南京航空航天大学;2012年
10 陈远龙;电解加工工艺参数数据库及电解加工基本工艺规律研究[D];合肥工业大学;2000年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何铁军;钼栅网微细光刻电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 陈伟;阴极跳跃冲液的数值模拟与微细电解加工试验[D];南京航空航天大学;2011年
3 王军;闭式整体叶轮数控电解加工工艺试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 宋曼;活动模板电解加工微小凹坑阵列研究[D];南京航空航天大学;2010年
5 丁维育;纯钛微细电解加工基础试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 朱成康;微细螺旋孔电解加工成型仿真技术研究[D];浙江工业大学;2010年
7 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
8 王贺宾;微细电解加工装备研制及其实验研究[D];广东工业大学;2012年
9 衡冲;利用阴极跳跃排液提高微细电解加工精度的试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
10 江国珍;直纹曲面数控电解加工工艺试验研究[D];南京农业大学;2010年
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