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《南京航空航天大学》 2002年
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CVD金刚石厚膜的加工技术研究

徐峰  
【摘要】: 化学气相沉积(CVD)金刚石膜是具有优异的力学、电学、热学、声学和化学性能于一体的材料,在高科技领域具有十分广阔的应用前景。但是,CVD金刚石膜为多晶材料,表面为杂乱分布的晶粒的堆积,显露出明显的棱角,表面粗糙度大,后续加工比较困难。因此,有必要对金刚石膜的加工展开研究,使其满足各种应用的要求。 本文对金刚石厚膜的加工工艺过程进行了探索和研究。具体的研究工作如下: 1.激光与金刚石相互作用的物理化学过程的机理研究。从激光加热和热传导的理论出发,研究了激光传热及其在金刚石表面引起的温度分布情况,以及在不同的温度和激光功率下,金刚石膜发生的不同的物理和化学变化。并且在实验研究的基础上,分析了激光刻蚀金刚石材料的基本规律。 2.在理论分析的基础上,开展了激光切割和抛光金刚石膜的实验研究。探讨了激光切割和抛光金刚石膜的基本规律,详细探讨论述了激光的工艺参数对抛光效果和抛光效率的影响。并使用现代分析技术,对抛光表面进行SEM扫描电镜和拉曼光谱等理化分析,分析了抛光表面的微观表面形态和激光抛光金刚石膜的机理。 3.开展了金刚石膜的机械抛光研究,使用自制的研磨装置对金刚石膜进行精抛光加工,分析抛光速度等工艺参数对加工效果和效率的影响,并通过SEM等手段分析了微观形貌和抛光机理。
【学位授予单位】:南京航空航天大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2002
【分类号】:TB43

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 彭文武;CVD金刚石厚膜高效抛光的基础研究[D];南京航空航天大学;2003年
2 陈春林;机械与氧化化学法抛光金刚石膜研究[D];广东工业大学;2003年
3 姬彤;金刚石膜在红外透波窗口中的应用基础研究[D];南京航空航天大学;2007年
4 谢昕;短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究[D];广东工业大学;2007年
5 郭晓艳;短波长激光抛光蓝宝石工艺过程研究[D];广东工业大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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10 段爱琴;邹世坤;胡伦骥;陈彦宾;;利用光致等离子体声信号监测激光焊缝的熔透性[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
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10 张剑峰;Ni基金属粉末激光直接烧结成形及关键技术研究[D];南京航空航天大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 骆红云,焦红,范猛,王立江;金刚石刀具与精密超精密加工技术[J];长春光学精密机械学院学报;2000年01期
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中国博士学位论文全文数据库 前2条
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3 彭文武;CVD金刚石厚膜高效抛光的基础研究[D];南京航空航天大学;2003年
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【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 姬彤;金刚石膜在红外透波窗口中的应用基础研究[D];南京航空航天大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李惠琪,钟国仿,吕反修,杨让;DC PJ-CVD等离子体炬通道中的电弧行为[J];北京科技大学学报;1994年06期
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【相似文献】
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1 王兵,梅军,李力,季锡林,冉均国,苟立;CVD金刚石膜产业化制备技术研究[J];材料科学与工艺;2003年01期
2 卢文壮,左敦稳,王珉,黎向锋,徐锋;Cr过渡层沉积粘附型CVD金刚石膜的机理研究[J];中国机械工程;2004年18期
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6 杨卫正;影响CVD金刚石断裂强度的因素[J];河北省科学院学报;2004年04期
7 方容川,常超,廖源,叶祉渊,薛剑耿,王冠中,马玉蓉,尚乃贵,牛晓滨,王代冕,吴气虹,揭建胜;计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用[J];材料导报;2001年01期
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7 楼燕燕;王林军;张明龙;顾蓓蓓;苏青峰;夏义本;;CVD金刚石紫外探测器[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
8 应萱同;骆金龙;;金刚石软X光滤波器[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
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10 王志娜;张平伟;蔡云虹;罗廷礼;;CVD金刚石膜磨耗比试样的制备[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
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5 吕反修 唐伟忠;纳米金刚石膜及其高技术应用[N];中国高新技术产业导报;2002年
6 本报记者 邢弘昊 通讯员 赖国辉;南粤科技连年传捷报[N];亚太经济时报;2002年
7 刘景泰 倪宏兴;杨休:“天地”再创新天地[N];科技日报;2001年
8 刘苒;我国金刚石薄膜开发取得重大进展[N];科技日报;2001年
9 金展;中国金刚石薄膜开发获重大进展[N];中国有色金属报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 杨保和;金刚石薄膜压力传感器研制[D];河北工业大学;2003年
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3 苏青峰;CVD金刚石薄膜材料与辐射探测器件的研究[D];上海大学;2007年
4 谢扩军;金刚石在TWT及MPM中的应用关键技术研究[D];电子科技大学;2008年
5 马丙现;CVD金刚石膜的附着性能与应用[D];郑州大学;2003年
6 杨仕娥;硬质合金刀具基体上金刚石涂层的制备及其附着性能的研究[D];郑州大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 徐峰;CVD金刚石厚膜的加工技术研究[D];南京航空航天大学;2002年
2 徐超;CVD金刚石厚膜焊接工艺的研究[D];哈尔滨理工大学;2003年
3 巨志高;金刚石衬底上红外增透及抗氧化膜系的制备与性能研究[D];西北工业大学;2005年
4 潘鹏;金刚石压力传感器的研制[D];天津理工大学;2004年
5 梁继然;自支撑优质金刚石膜制备及红外透射特性研究[D];天津理工大学;2005年
6 王华林;CVD金刚石厚膜焊接特性研究[D];吉林大学;2006年
7 陈君;电火花抛光CVD金刚石膜研究[D];广东工业大学;2002年
8 林志伟;金刚石膜制备及其在机械加工领域的应用[D];长春理工大学;2008年
9 闫石;CVD金刚石膜热化学抛光盘的研制[D];大连理工大学;2009年
10 马靖;多层结构高频声表面波器件的分析与研制[D];天津理工大学;2005年
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