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主动抗振干涉技术中瞬态相位检测的研究

程丽君  
【摘要】:本文首先介绍了干涉抗振技术的发展近况,比较了几种主动抗振方法并分析了干涉仪振动源对干涉条纹的影响。在此基础上确定了本课题采用的位相细分调制法抗振的总体方案。自行设计抗振系统中干涉条纹移动量的测量部分。通过光电采集、信号处理电路将干涉条纹移动量转化成两10KHZ方波的相位差,并采用复杂可编程逻辑器件(CPLD)、数字信号处理器(DSP)实现对两方波相位差的大小和方向的测量。最后在搭建的实验系统上进行光电联机调试,获得了较为理想的实验结果,从而验证了我们采用的抗振方案的可行性。该电路可以实时快速且准确地探测出干涉图在一个条纹内的变化量。


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