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《南京理工大学》 2003年
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MEMS传感器及在引信中的应用研究

席占稳  
【摘要】: 微机电系统(MEMS)将对引信的发展提供其它技术不可比拟的技术支撑。本文主要内容可分为两大部分:硅微加速度传感器的设计、制造和测试;基于硅微加速度传感器的引信发射环境的识别。 文中首先分析了国内外硅微加速度传感器研究所取得的成果,根据引信环境信息探测的要求确定了结构简单、加工工艺相对容易、成本较低的压阻式加速度传感器作为引信发射环境识别的传感器。在参数选择基础上,设计了传感器的结构和工艺路线,并经过几个批次的试制,成功地加工出了传感器样机,利用马希特击锤对传感器样机进行了动态标定,标定结果令人满意。 文中分析了基于硅微加速度传感器的环境识别的引信安全性和可靠性,提出了基于加速度传感器的引信发射环境识别的阈值+时间窗法。指出了由于采用加速度传感器,引信安全系统的设计将由结构设计转化为环境识别方法的软件设计。提出了MEMS的发展在三个层次上可能改变未来引信的面貌,即部件级,可制作固态安全系统;产品级,导致固态引信的发展;系统级,实现制导——引信一体化。
【学位授予单位】:南京理工大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:TJ430

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