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《南京理工大学》 2004年
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数字波面干涉仪棱镜角度偏差测试技术的研究

郭仁慧  
【摘要】:本文通过对移相式数字波面干涉仪得到的测试波面进行处理实现锥体棱镜、屋脊棱镜和直角棱镜角度测试的数字化和自动化。本文首先详细地研究了移相式数字波面干涉仪的测试原理,探讨了这三种棱镜的特性,然后建立了角度误差的数学模型,推导了干涉仪测试这三种棱镜的角度误差公式,最终编制了实用的棱镜测试程序。本文对锥体棱镜进行了测试,并与ZYGO干涉仪的测试结果进行比较,结果表明本文方法的测试精度能够满足二面角角度偏差的测量误差在0.5”范围内。
【学位授予单位】:南京理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:TH744.3

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 张加涛;移相干涉测量中相位解包算法的研究[D];南京理工大学;2006年
2 蔡珂;移相干涉系统图像预处理及相位调制算法研究[D];南京理工大学;2008年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 邓芳纹;用激光平面干涉仪测量光学平板玻璃的平行差[J];电子工业专用设备;1992年02期
2 张勇,姚尚锋;干涉原理在工程技术中的应用[J];物理与工程;2003年01期
3 于瀛洁,韦春龙,陈明仪;移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题[J];光学精密工程;2001年06期
4 蔡燕民,陈刚,陈高庭,方祖捷;立方角锥棱镜的有效反射区[J];光学技术;2000年03期
5 王贵甫,郭强,陈桂林,陈雨良;激光干涉数字化角度计量系统分析[J];光学技术;2001年03期
6 刘树民,任国栋,汤久英,袁俊萍;影响棱镜角度精度的几个因素及解决方法[J];光学技术;2001年04期
7 翁兴涛,聂辉,何平安,李松,高俊玲;角锥棱镜的直角面面形问题[J];光学技术;2002年01期
8 曹根瑞,梅文辉,王晓晖;一种新的移相干涉技术[J];光学技术;1996年01期
9 赵光兴,陈洪璆,杨国光;干涉条纹的数据拟合方法[J];光学学报;2000年06期
10 包正康;;相干计量技术评述[J];光学仪器;1993年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙可;;一种塑料光学非球面镜片的成型技术[J];工程塑料应用;2009年06期
2 景敏;由物像位置关系得出的透镜成像判断方法[J];安康师专学报;2005年05期
3 王璘;计忠瑛;王忠厚;刘学斌;;热真空环境中超亮白光LED发光强度性能研究[J];半导体光电;2006年01期
4 常山;吴波;毛杰健;桑志文;杨建荣;;无像散场曲的衍射机理及其计算研究[J];半导体光电;2010年05期
5 叶楠;姜震宇;刘扬;赵玲娟;王圩;;可调谐DBR激光器波长锁定光路系统模拟设计[J];半导体光电;2011年04期
6 常山;毛杰健;杨建荣;;基于衍射理论的畸变分析与应用[J];半导体光电;2011年06期
7 胡成华;史玲娜;夏川茴;周木;;基于LED光源的TIR透镜的优化设计[J];半导体光电;2012年02期
8 王婷;胡跃明;戚其丰;杨立玲;;IC芯片检测的图像分割算法研究及其实现[J];半导体技术;2009年07期
9 王晓燕;沈牧;任永学;程义涛;;大功率激光器阵列光场分布测试方法的研究[J];半导体技术;2011年04期
10 侯冬,潘林,胡勇波;车灯线光源的优化设计[J];北方工业大学学报;2004年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 杨红;王生云;张玫;郑雪;孙宇楠;;抛物面光学元件面形测量装置[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2 贾大功;赵振;马彩缤;张红霞;张以谟;;基于ARM的嵌入式光纤端面检测仪的研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
3 何平安;胡亚文;陶慧玲;宋燕新;;激光投线仪610自动检测系统[A];2009年全国测绘仪器综合学术年会论文集[C];2009年
4 高爱华;弥谦;刘卫国;秦文罡;;薄膜背散射积分测试系统中光电探测器的设计[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
5 郝斌;过晓辉;王胡顺;;高速摄像测量仪作用距离的分析计算[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
6 何平安;胡亚文;陶慧玲;宋燕新;;投线仪误差自动测量系统[A];第十八届十三省市光学学术会议论文集[C];2010年
7 王伟;;相关技术在速度测量中的应用研究[A];第十一届全国自动化应用技术学术交流会论文集[C];2006年
8 徐熙平;苏拾;张国玉;张宁;;基于CCD的摆动扫描镜摆幅光电测量系统研究[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
9 虞红;何秋茹;陶渝辉;;用目标模拟器仿真真实目标能量的计算方法[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(A 光电系统总体技术专题)[C];2006年
10 宁国斌;金光勇;王兴华;杨小东;王超;梁柱;;电光效应角位移测量研究[A];2007年先进激光技术发展与应用研讨会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李建威;高速光电探测器频率响应特性测试研究[D];南开大学;2010年
2 饶丰;基于个性化眼模型的人工晶体设计及其特性研究[D];南开大学;2010年
3 张梅;基于个性化眼光学结构的人眼色差的研究[D];南开大学;2010年
4 刘超;激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究[D];浙江大学;2010年
5 牛爽;全景环带凝视成像光学系统的研究与应用[D];浙江大学;2010年
6 黄翀;航空场景模拟器的设计与研究[D];华中科技大学;2011年
7 李中亮;大曲率弧矢聚焦双晶单色器及多层膜单色器相关技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
8 许凌飞;基于炉口火焰光谱信息的转炉炼钢终点在线碳含量测量方法研究[D];南京理工大学;2011年
9 吴琼;高精度绝对重力仪关键技术研究[D];中国地震局地球物理研究所;2011年
10 康岩辉;阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究[D];天津大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄长辉;金属材料断口三维形貌检测与表征分析[D];南昌航空大学;2010年
2 王悦竹;80口径观鸟镜ED光学系统设计[D];长春理工大学;2010年
3 艾广燚;基于DSP的航空相机地面景物模拟系统的研究[D];长春理工大学;2010年
4 刘帅男;机织物规格要素与其光泽性能的关系研究[D];浙江理工大学;2010年
5 李洋;数码相机变焦距物镜设计[D];大连理工大学;2010年
6 高上;液晶电视侧导光LED背光源设计与驱动控制技术[D];中国海洋大学;2010年
7 曾绍平;基于CCD成像的火车轮对直径测量系统[D];南昌大学;2010年
8 彭祖杰;数字全息三维面形检测研究[D];昆明理工大学;2008年
9 李遥;子波面扫描法长焦距透镜波面检测系统研究[D];浙江大学;2011年
10 马俊;基于LCoS的HDR实时图像获取系统研究[D];浙江大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 岳焕印,郭华东,韩春明,李新武,王长林;噪声条件下的干涉SAR相位解缠[J];测绘学报;2002年02期
2 高勇;干涉SAR的二维相位解缠算法研究[J];地理学与国土研究;2000年04期
3 苏显渝,陈文静,曹益平,向立群,张启灿;参数图导向的相位展开方法[J];光电子·激光;2004年04期
4 于瀛洁,韦春龙,陈明仪;移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题[J];光学精密工程;2001年06期
5 白剑,曹天宁;基于相干波面光强分布的静态干涉图的数字分析[J];光学技术;2001年06期
6 马民,张东升;最小二乘相位解包络方法[J];光学技术;2002年01期
7 葛爱明,陈磊,陈进榜,朱日宏;有遮拦干涉图像的数字化处理技术研究[J];光学学报;2000年06期
8 惠梅,王东生,李庆祥,邓年茂,徐毓娴;基于离散泊松方程解的相位展开方法[J];光学学报;2003年10期
9 何勇,王青,朱日宏,陈进榜;Windows环境下干涉图像采集和处理[J];红外与激光工程;2003年02期
10 孟智强;夏雨人;;相位质量图在二维相位解缠中的应用探讨[J];计算机应用与软件;2006年02期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 何勇;数字波面干涉技术及其应用研究[D];南京理工大学;2003年
2 李朝辉;基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究[D];天津大学;2004年
3 刘青;数字相移干涉术中图像处理和波前再现误差的分析及校正算法的研究[D];山东大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 俞华璟;图像处理在玻璃均匀性检测中的应用[D];西北工业大学;2003年
2 颜加军;移相干涉术中波面计算方法以及移相器校正技术研究[D];南京理工大学;2004年
3 陈进军;FFT法进行干涉测试的研究[D];南京理工大学;2004年
4 王志勇;SAR斑点噪声滤除软件化方法研究[D];山东科技大学;2004年
5 曲直;移相干涉及干涉图像数据处理方法的研究[D];南京理工大学;2005年
6 王中华;基于DSP的实时图像处理的研究[D];武汉理工大学;2006年
7 赵燕丽;基于TMS320DM642的视频监控系统的硬件研究与设计[D];西南交通大学;2006年
8 锁斌;基于DSP的图像增强系统的研究与实现[D];西南交通大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 闵志方;黄亮;余永朝;;基于单幅图像的工业内窥镜相位法三维测量研究[J];光学与光电技术;2012年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 万文博;空间载频干涉法测量薄膜厚度技术研究[D];西安工业大学;2011年
2 林琳;投影光栅法三维人体重构技术研究[D];东华大学;2009年
3 单小琴;单幅载波条纹图相位提取方法的研究[D];南京理工大学;2011年
4 修国威;基于图像传感器的微纳米定位方法研究[D];长春理工大学;2011年
5 黄根旺;斐索型移相式激光干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
6 边疆;静态闭合条纹的处理方法研究[D];南京理工大学;2008年
7 万露萍;采用相位法的三维测量系统设计及可视化研究[D];南昌大学;2012年
8 黄大明;透明介质表面形貌检测方法探究[D];山东大学;2012年
9 马力;多表面干涉波面复原技术研究[D];南京理工大学;2013年
10 崔艳军;相移条纹投影法光学面形测量技术研究[D];南京理工大学;2013年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李国栋,韦春龙,于瀛洁,程维明,陈明仪;圆形域干涉图中的相位解包裹[J];光学精密工程;2000年05期
2 黄深旺,陈磊,陈进榜,金国佑;红外干涉仪调试和测量技术的研究[J];光学精密工程;1996年02期
3 刘树民;如何保证棱镜在大批量生产中的角度精度[J];光学技术;1997年03期
4 刘树民;国产光学设备平面高效连续稳定生产的条件[J];光学技术;1999年01期
5 郭红卫,陈明仪,韦春龙;基于一阶泰勒展开式的迭代最小二乘相移新算法[J];光学学报;2001年01期
6 朱日宏,陈进榜,王青,陈磊;移相干涉术的一种新算法:重叠四步平均法[J];光学学报;1994年12期
7 赵光兴,陈洪,候西云,程上彝,杨国光;微加工中一种新型刻蚀深度实时检测系统[J];光学学报;1997年06期
8 葛爱明,陈进榜,陈磊,苏俊宏;任意形状孔径的干涉图像波面拟合的数学矢量模型[J];红外与激光工程;2000年06期
9 高媛,郭立莎;双频激光测量系统测角误差分析[J];计量技术;2002年09期
10 丁志华,王桂英,包正康;相移干涉显微镜的研制和光盘预刻槽形的测量[J];计量学报;1999年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王青;徐新华;;干涉仪测量球面曲率半径的精度分析[J];东南大学学报(自然科学版);2009年S2期
2 谌正艮;廖艳林;赵青生;;利用迈克尔逊干涉仪测量透明材料折射率的新方法[J];大学物理实验;2010年05期
3 张宏亮;王勤;;干涉仪及其在光学检测中的应用[J];科技信息;2007年01期
4 曾新勇;;移相式泰曼格林干涉仪的实验与研究[J];常州工学院学报;1993年01期
5 R.Torge;程高楣;;用法布里-珀罗干涉仪测量微小长度变化[J];国外计量;1975年01期
6 邵焕芬;;用接触式干涉仪测量零件的圆度[J];计量技术;1983年05期
7 王启增;;用全息干涉仪测量位移[J];国外计量;1974年02期
8 A.S.Gerges;T.P.Newson;J.D.C.Jones;D.A.Jackson;徐明顺;;高灵敏度光纤加速度计[J];应用光学;1990年04期
9 戴高良;KOENDERS Ludger;DANZEBRINK Ulrich;WILKENING Günter;周健雄;陈振宇;;采用计量型扫描力显微镜校准微纳米标准样板[J];纳米技术与精密工程;2006年01期
10 张铁军;陈方;许凤明;;利用Fizeau干涉仪测量激光波长[J];光学精密工程;1989年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 杨鹏;伍凡;侯溪;;影响干涉仪精度的主要误差分析[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
2 杜国军;王永梅;王英鉴;;多普勒干涉仪的光学系统设计[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第十九次学术会议论文集(上册)[C];2006年
3 周海光;徐剑芳;;利用激光双光束干涉仪测量“地球潮”及预报地震[A];中国地震学会第七次学术大会论文摘要集[C];1998年
4 梁铸;;用激光扫描干涉仪测量超音速的流体速度[A];第一届全国光散射会议会议指南[C];1981年
5 石琦凯;邓燕;柴立群;;多表面干涉条纹中相位信息的提取[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集(下册)[C];2006年
6 韩燕旭;校金涛;刘永宏;张春红;王海;肖敏;彭堃墀;;Preparing an Ideal Four-level Tripod Atomic Systemand Enhanced Nonlinearity[A];第十三届全国量子光学学术报告会论文摘要集[C];2008年
7 李玉文;刘戈峰;;激光干涉仪测量数控机床位置精度[A];第八届沈阳科学学术年会论文集[C];2011年
8 周艳;邓中朝;丁卫星;李永高;李长征;李连才;易江;;HL-2A装置极化干涉仪测量法拉第旋转角的首次结果[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
9 许叶圣;沈丽萍;;激光多普勒干涉仪与A型超声测量硅油眼轴长的比较[A];中国眼底病论坛·全国眼底病专题学术研讨会论文汇编[C];2008年
10 姚焜;张权;孙晴;;象差光束横向剪切干涉条纹的计算机模拟[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘兆栋;φ600mm近红外相移斐索干涉仪校准及测试技术研究[D];南京理工大学;2011年
2 张健;超高精度菲索干涉仪不确定度分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
3 郭仁慧;近红外大口径波长移相干涉仪关键技术及应用研究[D];南京理工大学;2013年
4 翁继东;超快脉冲激光干涉技术及其在冲击动力学过程诊断中的应用[D];中国工程物理研究院;2010年
5 苏东奇;光学面形绝对检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2013年
6 马云;激光超声技术及其在高压声速测量中的应用[D];中国工程物理研究院;2010年
7 赵素文;单频干涉精密距离测量关键技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2012年
8 徐晨;动态干涉测试技术与应用研究[D];南京理工大学;2009年
9 王金芳;镶嵌式光纤环中的快慢光及其提高干涉仪灵敏度的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
10 张金平;夏克—哈特曼波前传感器检测大口径非球面应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王聪聪;移相干涉仪中的振动探测及分析[D];南京理工大学;2011年
2 季荣;中频段干涉仪关键技术研究[D];南京理工大学;2014年
3 文刚;Φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2013年
4 叶超;激光应变干涉仪用作大地形变监测的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 姜卓偲;径向剪切干涉仪光学系统设计与研究[D];南京理工大学;2011年
6 于亚楠;Y型多针孔干涉仪及其在绝对位置坐标测量中的应用研究[D];山东师范大学;2011年
7 吴志顺;白光垂直扫描干涉仪控制系统设计及优化[D];华侨大学;2012年
8 姚喜国;激光合成波长纳米位移测量干涉仪的非线性误差分析与补偿方法研究[D];浙江理工大学;2011年
9 由建国;光学地震测量方法与关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2012年
10 贾秀莲;基于LabVIEW的激光干涉测量方法研究[D];哈尔滨工程大学;2013年
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