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热伏系统中光谱控制器的工艺技术研究

赵浩  
【摘要】: 热光伏电池的设想是在20世纪60年代提出的,但由于当时科研水平的限制直到90年代中期才有较大的进展。热光伏系统由热辐射器、光谱控制器、热光伏电池组件、热回收器和辅助组件组成。光谱控制器也即光学滤波器,用来实现热辐射与热光伏电池之间的光学匹配,主要作用是透过所需波段红外光,并将热光伏电池不能转换成电能的红外光反射回热辐射器重新利用。光谱控制器直接影响到热光伏系统的转换效率,因此对其工艺技术进行研究就显得尤为重要。本文主要研究光谱控制器的工艺技术,即镀制光谱控制器表面增透膜系的工艺技术研究。 本文以薄膜成核生长和真空镀膜理论知识为基础确定本课题的增透膜镀制方法:电子束蒸镀。在确定了采用电子束蒸镀后,分析了影响Si、SiO_2、TiO_2这三种薄膜生长和结构的主要工艺参数:基片温度、真空度和沉积速率,通过试验进一步确定了这三个工艺参数对薄膜性能和结构的影响,最终给出了制备光谱控制器的膜系的工艺参数以及工艺流程。


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