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《南京理工大学》 2008年
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微通道板双面抛光工艺研究

金戈  
【摘要】: 微通道板(MCP)是一种先进的电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。双面抛光工艺是微通道板制造的重要工艺。本文利用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜研究了微通道板表面的显微形貌和结构,分析了双面抛光工艺过程中的化学侵蚀对微通道板表面质量的影响。依据实验结果选取合适的PH值抛光液和抛光液添加剂,可以获得高质量粗糙度表面的微通道板,同时能减少划痕等表面质量缺陷,能够有效提高微通道板生产的良品率。
【学位授予单位】:南京理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:TN152

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 严诚;王益军;邓广绪;;微通道板腐蚀工艺研究[J];半导体技术;2007年06期
2 闫志瑞;鲁进军;李耀东;王继;林霖;;300mm硅片化学机械抛光技术分析[J];半导体技术;2006年08期
3 胡伟;魏昕;谢小柱;向北平;;CMP抛光半导体晶片中抛光液的研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2006年06期
4 韩敬华;冯国英;杨李茗;刘义彬;朱海波;刘民才;王绍鹏;;抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度的影响[J];光学技术;2006年04期
5 金杨福;李伟;胡刚翔;胡晓珍;;双面抛光加工运动过程分析与数学模型的建立[J];南京航空航天大学学报;2005年S1期
6 王英剑,李庆国,范正修;电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响[J];强激光与粒子束;2003年09期
7 林翠,杜楠,李晓刚;电子束蒸发沉积Al-Cr合金涂层研究[J];中国腐蚀与防护学报;2003年05期
8 傅文红,常本康;扩口微通道板对电流增益和噪声因子关系的影响[J];应用光学;2004年05期
9 潘京生;;三代像增强器用微通道板的改进与发展[J];应用光学;2006年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 狄卫国,刘玉岭,司田华;ULSI硅衬底的化学机械抛光技术[J];半导体技术;2002年07期
2 王益军;严诚;曾桂林;;微通道板清洗技术[J];半导体技术;2007年05期
3 严诚;王益军;邓广绪;;微通道板腐蚀工艺研究[J];半导体技术;2007年06期
4 张建新,刘玉岭,王娟,张元;降低CMP用SiO_2溶胶中金属离子含量及其机理探析[J];微纳电子技术;2005年07期
5 张楷亮,刘玉岭,王芳,李志国,韩党辉;ULSI硅衬底的化学机械抛光[J];半导体学报;2004年01期
6 陈东生,陈翀,李尚政;非等温旋转曲面温度场的在线监测[J];兵工自动化;2002年06期
7 刘磊,常本康,李蔚;微光夜间驾驶仪探测距离研究[J];兵工学报;2003年03期
8 张跃飞,张广秋,王正铎,葛袁静,陈强;电子束蒸发镀铬制备凹印版材耐磨层的研究[J];表面技术;2005年02期
9 刘玉岭,李薇薇;微电子器件制备中CMP抛光技术与抛光液的研究[J];电子工业专用设备;2004年06期
10 刘贵喜,杨万海;新型接触式图像传感器信号处理技术[J];光电子.激光;2000年06期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 刘玉岭;檀柏梅;李薇薇;;ULSI中CMP纳米磨料制备技术的研究[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年
2 谭刚;吴嘉丽;;硅衬底的化学机械抛光工艺研究[A];第七届青年学术会议论文集[C];2005年
3 姜燕冰;严惠民;张秀达;汪龙;李燕;羊华军;;脉冲累积法激光雷达中光电器件二值化特性的应用研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(A 光电系统总体技术专题)[C];2006年
4 石艳霞;蔡辉;姜娜;;弹载红外成像制导技术若干问题分析[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘强;高损伤阈值介质膜层的制备及其研究[D];四川大学;2004年
2 刘贵喜;多传感器图像融合方法研究[D];西安电子科技大学;2001年
3 徐向晏;X射线敏感的非晶硒合金材料与器件的理论及实验研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
4 李大海;激光光束波前畸变的径向剪切干涉诊断及其控制新方法研究[D];四川大学;2002年
5 李武森;小型化高速DSP微光视频图像处理器的研究[D];南京理工大学;2003年
6 靳贵平;紫外探测技术与双光谱图像检测系统的研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2004年
7 李晓平;WDM薄膜滤光片和分束器的设计与制造研究[D];华中科技大学;2005年
8 傅文红;MCP扩口工艺的理论、实验与测试技术研究[D];南京理工大学;2006年
9 喻春雨;新型X光影像探测器及成像系统研究[D];南京理工大学;2006年
10 江照意;典型目标场景的红外成像仿真研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨海平;半导体硅片化学机械抛光电化学与抛光速率研究[D];中南大学;2007年
2 常文瑞;红外焦平面成像与红外图像实时处理[D];西安电子科技大学;2001年
3 崔晟;基于图象数据库的动态场景生成系统及其应用[D];西安电子科技大学;2002年
4 狄卫国;甚大规模集成电路制备中硅衬底精密抛光的研究[D];河北工业大学;2002年
5 安鹏飞;激光识别与通信系统若干问题的研究[D];长春理工大学;2002年
6 向嵘;微光像增强器信噪比测试仪的分析与改进研究[D];南京理工大学;2002年
7 杨冰;晕苯及其衍生物的设计合成与紫外荧光性能研究[D];四川大学;2003年
8 章娟;基于MCP技术的低剂量数字X光机[D];浙江大学;2004年
9 徐江涛;大动态范围CMOS图像传感器技术研究[D];天津大学;2004年
10 潘建华;微通道板扩口工艺及图像检测技术研究[D];南京理工大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 张伟,汪岳峰,董伟;微光像增强器噪声功率谱测试研究[J];光谱学与光谱分析;2003年03期
2 李才平;邹永星;杨松龄;;基于微光与红外的夜视技术[J];国外电子元器件;2006年02期
3 李晓峰,张景文,高鸿楷,侯洵;三代管MCP离子阻挡膜研究[J];光子学报;2001年12期
4 包军林,庄奕琪,杜磊,马仲发,李伟华,李聪;光电耦合器件1/f噪声和g-r噪声的机理研究[J];光子学报;2005年06期
5 常非,焦清介,许又文,陈明华,石国强;微光夜视仪对烟火闪光辐射的响应[J];火工品;2002年02期
6 傅文红,常本康;扩口微通道板对电流增益和噪声因子关系的影响[J];应用光学;2004年05期
7 潘京生;;三代像增强器用微通道板的改进与发展[J];应用光学;2006年03期
8 邱亚峰;常本康;钱芸生;高有堂;田思;;面源电子枪灯丝的热均匀性分析和设计[J];应用光学;2007年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 包军林;半导体器件噪声—可靠性诊断方法研究[D];西安电子科技大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 王立峰;微通道板防离子反馈膜及其对像管成像性能影响的研究[D];长春理工大学;2005年
2 王兴建;微光像增强器荧光屏参数综合测试技术研究[D];南京理工大学;2007年
3 吴奎;微通道板特性参数测试系统研究[D];长春理工大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 苏建修,康仁科,郭东明;超大规模集成电路制造中硅片化学机械抛光技术分析[J];半导体技术;2003年10期
2 闫志瑞;鲁进军;李耀东;王继;林霖;;300mm硅片化学机械抛光技术分析[J];半导体技术;2006年08期
3 张楷亮,刘玉岭,王芳,李志国,韩党辉;ULSI硅衬底的化学机械抛光[J];半导体学报;2004年01期
4 苏建修,郭东明,康仁科,金洙吉,李秀娟;ULSI制造中硅片化学机械抛光的运动机理[J];半导体学报;2005年03期
5 徐清兰,伍凡,吴时彬,王家金,雷柏平,兰秀清,张晶;单晶硅镜面超光滑表面工艺技术研究[J];光电工程;2003年05期
6 曹冲,冯国英,杨李茗,王岚,高耀辉,朱海波,陈建国;影响超精密环抛相对磨削量因素的计算模拟[J];光电工程;2004年04期
7 杨福兴;大口径平面光学元件超精密加工技术的研究[J];光学技术;2004年01期
8 韩敬华;冯国英;杨李茗;刘义彬;朱海波;刘民才;王绍鹏;;抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度的影响[J];光学技术;2006年04期
9 史兴宽,童猛,任敬心;散粒磨粒抛光运动轨迹的分析及数学模型的建立[J];航空精密制造技术;1998年02期
10 李美姮,孙晓峰,张重远,宫声凯,胡望宇,管恒荣,胡壮麒;EB-PVD热障涂层热循环过程中粘结层的氧化和相结构[J];金属学报;2002年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 王弘英;甚大规模集成电路铜布线工艺中化学机械抛光技术的研究[D];河北工业大学;2002年
2 井传发;微晶玻璃基板超光滑表面加工技术研究[D];长春理工大学;2004年
3 杜宏伟;光电子材料钽酸锂晶片化学机械抛光过程研究[D];广东工业大学;2004年
4 程昌明;氧化铈基抛光粉的制备及性能表征[D];南昌大学;2005年
【相似文献】
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1 白蔚海;;φ25mm二代微通道板增益性能改进[J];应用光学;1991年03期
2 韦亚一,陶兆民;微通道板最佳倾斜角的设计[J];红外技术;1994年02期
3 汪金祥;;高动态范围微通道板[J];应用光学;1991年04期
4 杨玉勤;;微通道板及其应用[J];现代兵器;1986年04期
5 文宛生;铅玻璃微通道板芯料的腐蚀和扫描电镜检测[J];电子与信息学报;1987年05期
6 程伟龄;;微通道板面电阻率对Ⅱ代倒象微光管亮度均匀性影响的研究[J];应用光学;1989年01期
7 程伟龄;;微通道板与Ⅱ代倒象微光管亮度匹配关系的研究[J];应用光学;1989年06期
8 傅文红,常本康;一种新型低噪声MCP的研究[J];南京理工大学学报(自然科学版);2002年01期
9 李慧蕊;真空紫外微通道板光电倍增管的研制[J];真空科学与技术学报;1999年05期
10 闫金良;微通道板离子阻挡膜[J];应用光学;1996年01期
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1 乐务时;陈楠;龙高群;;微通道板真空烘烤氢还原工艺[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
2 李燕红;陈小梅;丛晓庆;周建勋;;微通道板增益变化与噪声因子关系研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
3 董尧德;汪贵发;胡新华;;一次同时完成的硅片双面抛光技术[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
4 董尧德;汪桂发;胡新华;;一次同时完成的硅片双面抛光技术[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
5 罗春平;梁汉东;孙东旭;;微通道板表面涂层的TOF-SIMS分析[A];2007年全国质谱学会无机质谱、同位素质谱、质谱仪器和教育学专业委员会学术交流会论文集[C];2007年
6 陈向军;徐克尊;杨炳忻;庞文宁;;(e,2e)电子动量谱仪位置灵敏探测器[A];第7届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(二)[C];1994年
7 缪坤治;宁进;;降低微通道板固定图案噪声的途径与实践[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
8 端木庆铎;田景全;姜德龙;李野;卢耀华;富丽晨;;用半导体工艺制作硅微通道板[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
9 张爱兵;袁庆智;王世金;;一种测量MCP输出信号幅度的方法[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第十九次学术会议论文集(下册)[C];2006年
10 金德义;李树德;陈文奎;于红梅;;微通道板电子倍增器综合参数测试装置的研制[A];第7届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(一)[C];1994年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;专利复审委员会审查决定选登[N];中国知识产权报;2002年
2 步泽君 陶传辉 丰西金;军事上的夜视技术[N];科技日报;2004年
3 华光;隐身红外照明弹:夜战魔灯[N];解放军报;2001年
4 王小英;科技之眼化夜为昼光明之旅强军利民[N];中国企业报;2004年
5 常佳;砷化镓—成功走向规模化生产[N];中国有色金属报;2004年
6 本报记者 周蕾;PC市场热销的思考[N];网络世界;2000年
7 本报记者 祖铁楠;长春注重发展光电子产业[N];中国电子报;2001年
8 王小庆;四十六所:以GaAs生产为主[N];中国电子报;2002年
9 山西省机电工业行业管理办公室主任 文小平;加速结构调整 实现跨越发展[N];中国电子报;2002年
10 赵珍 高建军 辛义生;做大电子信息产业 山西有戏[N];山西日报;2003年
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1 戴莉;微通道内的气液两相流动与传质研究[D];天津大学;2010年
2 张颂红;微通道内固体脂质纳米粒的成形与传质机理研究[D];浙江大学;2010年
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4 闫金良;MCP防离子反馈膜及其对Ⅲ代微光管分辨力特性影响研究[D];北京理工大学;1998年
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6 高延军;二维电子倍增器及其新技术研究[D];长春理工大学;2008年
7 张兴华;紫外光子计数成像系统关键技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2009年
8 孙光智;低速非金属负离子在Al_2O_3微孔膜中的输运[D];兰州大学;2009年
9 白晓红;用于ICF诊断的高时空分辨分幅成像关键技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2011年
10 傅文红;MCP扩口工艺的理论、实验与测试技术研究[D];南京理工大学;2006年
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1 金戈;微通道板双面抛光工艺研究[D];南京理工大学;2008年
2 朱亚明;微通道板噪声因子测试技术研究[D];南京理工大学;2011年
3 秦志楠;微通道板防离子反馈膜电子散射对像管的性能影响[D];长春理工大学;2011年
4 范俞杰;超精密双面抛光加工过程平稳性的研究[D];浙江工业大学;2012年
5 卜绍芳;极紫外波段微通道板光子计数位置灵敏阳极成像探测器性能研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
6 陈毓;DJP-9BC超精密双面抛光机结构设计和实验研究[D];浙江工业大学;2011年
7 潘建华;微通道板扩口工艺及图像检测技术研究[D];南京理工大学;2004年
8 郝亚珍;微通道甲醇重整制氢过程的热管理研究[D];华北电力大学(北京);2011年
9 聂晶;基于真空除气的微通道板噪声抑制技术研究[D];西安工业大学;2013年
10 步庆杰;MgO二次电子发射特性及薄膜制备技术[D];长春理工大学;2010年
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