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《南京理工大学》 2008年
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高性能光电阴极工艺监控技术研究

刘如彪  
【摘要】: 光电阴极的制作工艺技术是微光像增强器中的核心技术之一,通过对目前流行的多碱光电阴极的光电流监控法的探讨,可以将传统的光电阴极制作工艺技术转化为计算机自动工艺监控技术。 本文首先从多碱光电阴极的工作原理与特性参数出发,深入剖析光电阴极的光电流法监控原理。结合实际分析光电阴极的手工制作工艺和排气车与光电阴极监控台的信号往来关系,利用计算机自动控制技术和电路设计制造技术,研究设计了光电阴极工艺技术监控系统;并且利用计算机编程语言为系统编制了专用工艺监控软件。系统操作简便,控制灵活,可以自动和手工共同完成光电阴极的制作工艺,有望推广而替代手工操作。系统可以将所有处理数据进行存储,方便数据的查询与统计;该系统的研制成功极大地改善了光电阴极制备工艺的生产条件,改善了光电阴极工艺技术的科研条件。
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