收藏本站
《江苏大学》 2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MgB_2超导薄膜的制备研究

任荣君  
【摘要】:本文对一步溅射法制备MgB_2超导薄膜的工艺进行了研究,并就工艺条件对成膜质量的影响进行了讨论。论文工作包括靶材制作和薄膜制备及研究两个阶段。 第一阶段是溅射靶材的制备。通过对不同烧结温度、升温速率以及保温时间条件下获得的块状样品进行XRD(X-ray Diffraction)及SEM(Scanning Electron Microscopy)分析,对比分析了热处理对MgB_2块体成相和微观结构的影响。实验表明: 1.MgB_2超导相可以在600~850℃的范围内形成,其中700~750℃是成相的最佳温度,在此温度范围内MgB_2晶粒细小并具有很好的晶粒连接、MgB_4杂相较少;在750℃下MgB_2块材致密度相对较高。 2.升温速率对MgO的产生影响不大,但较高的升温速率有利于获得高纯度的MgB_2。 3.MgB_2的生成反应非常迅速,保温烧结时间对MgB_2的合成影响不明显,但适当延长烧结时间可以改善MgB_2的结晶度。 在块材研究的基础上,从致密度和氧化程度两方面考虑选用60℃/min的升温速率、在750℃保温烧结150min制备了MgB_2溅射靶,并进行了XRD和TEM(Transmission Electron Microscope)分析。 在第二阶段的薄膜制备实验中,先后尝试了复合单靶溅射和双靶溅射两种方式,对制备的薄膜进行了XRD、AFM(Atomic Force Microscopy)、SEM(EDS:Energy Dispersive Spectroscopy)或XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)分析,并用标准四引线法测量了超导转变温度。使用复合单靶在Si(100)和TiN/Si(100)基片上采用一步法沉积得到了Tc_0(零电阻温度)为7.6K的MgB_2薄膜;改用Mg靶和MgB_2靶共同溅射的方式在MgO(111)上制备出Tc_0为19.6K的MgB_2薄膜。 对复合单靶和双靶溅射制备薄膜的研究表明: 1.在适当温度下能否保证有适当比例的Mg、B原子沉积到基片上生成MgB_2相并保持稳定是薄膜性能好坏的关键; 2.通过复合单靶溅射来控制最终薄膜成分、得到具有严格化学计量比的
【学位授予单位】:江苏大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TB383

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 石忠宁;李敏;李兰兰;高炳亮;胡宪伟;王兆文;;氟化物熔盐体系中Mg~(2+)和B~(3+)的电化学沉积行为(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年07期
2 连进;肖国庆;吕李华;刘洋;;添加MgB_2对镁碳耐火材料抗氧化性能的影响[J];硅酸盐通报;2011年04期
3 李世亮;戴鹏程;;中子三轴谱仪的应用[J];中国材料进展;2011年05期
4 郭永庆;冯旺军;李翠环;陈映杉;;超导体MgB_2成相过程研究[J];低温与超导;2011年06期
5 ;浙江发现超大型稀土矿 初步估价超过700亿元[J];稀土信息;2011年04期
6 曹祥汉;陈岩;;心静神怡 人淡如菊——访著名超导和稀有金属材料专家周廉院士[J];钛工业进展;2011年03期
7 王金钗;蒋国强;许媛媛;王楠;马光同;刘伟;蒋冬辉;林群煦;;预载条件下Y-Ba-Cu-O块材的悬浮力弛豫特性[J];低温与超导;2011年07期
8 ;锡纳米粒子量子壳效应被证实[J];技术与市场;2011年08期
9 常同钦;项仕标;;MgB_2超导纳米结构的制备技术[J];材料导报;2011年11期
10 张冰峰;傅玉灿;赫青山;梁星慧;;基于FLUENT的热管砂轮换热能力仿真分析[J];机械制造与自动化;2011年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈源;谢晓明;陈廷国;;掺铅Bi系超导体的内耗研究[A];内耗与超声衰减——第三次全国固体内耗与超声衰减学术会议论文集[C];1991年
2 曾德长;阳宗全;姜明;王永忠;F.R.de Boer;乔桂文;;掺杂Y系超导样品的磁通针扎效应[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
3 李明德;陈祖耀;余旻;杨宏顺;曹烈兆;;RuSr_2GdCu_2O_8超导体的合成与物性研究[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4 朱健;周锷猷;;铋系高Tc超导体的电镜观察[A];第七次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1993年
5 沈中城;;高Tc超导体混合态超声衰减机制研究[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册)[C];2001年
6 黄以能;周海龙;王业宁;;重费米子超导体中T_C以下的超声衰减研究[A];内耗与超声衰减——第四次全国固体内耗与超声衰减学术会议论文集[C];1994年
7 陈烽;郑胜男;张素群;勾振辉;李安利;郭春生;刘志毅;赵忠贤;朱升云;;Bi基超导体掺杂效应的正电子湮没研究[A];第八届全国核物理会议文摘集(下册)[C];1991年
8 黄以能;周海龙;朱劲松;李洁;王小敏;杨震;王业宁;;Hg-系超导体中与载流子有关的内耗研究[A];内耗与超声衰减——第四次全国固体内耗与超声衰减学术会议论文集[C];1994年
9 曹世勋;郁黎明;张金仓;;Er_(1-x)Dy_xNi_2B_2C系列磁性超导体的XRD研究[A];第八届全国X射线衍射学术会议论文集[C];2003年
10 林良真;;超导电力技术发展动态与前景[A];中国高等学校电力系统及其自动化专业第二十四届学术年会论文集(下册)[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;MgB_(2)超导体低温合成成功[N];中国有色金属报;2002年
2 张惠群 陈颖健;超导研究的新热点:二硼化镁[N];科技日报;2001年
3 卢业忠;二硼化镁:电子材料新星[N];中国电子报;2001年
4 本报驻华盛顿记者 张孟军;花落谁家无人知[N];科技日报;2002年
5 张惠群;日本发现二硼化镁有超导电性[N];科技日报;2001年
6 记者 李陈续 通讯员 杨保国;中国科大陈仙辉小组发现铁基超导体大同位素效应[N];光明日报;2009年
7 冯卫东;科学家发现世界上最小的超导体[N];科技日报;2010年
8 本报记者 常丽君;表面是金属 内部是超导体[N];科技日报;2010年
9 记者 刘纯友;中国科大铁基超导体研究取得重要进展[N];安徽日报;2009年
10 物理系;薛其坤团队领衔发现单原子层的超导体[N];新清华;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 贺诚;铁基超导体母体角分辨光电子能谱及电荷输运性质的研究[D];复旦大学;2012年
2 董金奎;非常规超导体的极低温输运性质研究[D];复旦大学;2011年
3 曲波;热压烧结制备纳米颗粒掺杂MgB_2超导体研究[D];东北大学;2009年
4 黄桂芹;MgB_2、三元硅化物超导体及KMgF_3离子晶体的第一性原理计算[D];南京大学;2004年
5 丁力;铁基高温超导体的比热和极低温热输运性质研究[D];复旦大学;2010年
6 陈飞;铁基超导体电子结构的高分辨角分辨光电子能谱研究[D];复旦大学;2012年
7 马宗青;铜活化二硼化镁低温烧结机制及超导电性[D];天津大学;2011年
8 张焱;铁基超导体中磁有序以及超导配对对称性的角分辨光电子能谱研究[D];复旦大学;2012年
9 廖红印;基于含时Ginzburg-landau模型的超导涡旋动力学研究[D];上海大学;2004年
10 赵松睿;Y_(1-x)Ho_xNi_2B_2C超导体和PMN-PT驰豫铁电体中的输运现象[D];浙江大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孙霞光;熔盐电解法制备二硼化镁膜的工艺研究[D];东北大学;2008年
2 任荣君;MgB_2超导薄膜的制备研究[D];江苏大学;2005年
3 张爽;Cu和C掺杂MgB_2物性及相变过程的研究[D];兰州理工大学;2010年
4 陈团结;二硼化镁超导体掺杂效应的理论研究[D];西北师范大学;2007年
5 王庆阳;元素掺杂二硼化镁超导体的制备及性能研究[D];西北工业大学;2007年
6 车玮玮;铁基高温超导体超导电性的研究[D];曲阜师范大学;2011年
7 张瞩君;新型Fe基硫族化合物超导体探索[D];浙江大学;2009年
8 艾小倩;钙、铈二元掺杂对钇钡铜氧超导体性能的影响[D];西北师范大学;2012年
9 朱海滨;二硼化镁超导体掺杂的理论研究[D];西北师范大学;2007年
10 王雅真;C掺杂与氧化物掺杂对MgB_2超导体的影响[D];西南交通大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026