收藏本站
《浙江大学》 2011年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

光学薄膜相位特性测试的研究

张淑娜  
【摘要】:随着飞秒激光技术和宽带光通信技术的发展,各种相位薄膜的设计和制备成为备受关注的研究课题。然而,传统的对薄膜光度特性的测试技术无法满足薄膜相位特性测试的要求。本文在总结国内外各种测试方法的基础上,提出了一种新型的白光迈克尔逊干涉系统。该系统采用微型光纤光谱仪记录干涉信号,并尝试加入微步进电机来驱动样品镜,可以直接提取群延迟信号,避免了由算法带来的数值误差,获取了更高的测试精度。本论文的研究工作主要涉及以下几个方面: 1、光学薄膜相位特性测试系统的研究。在深入研究国内外各种光学薄膜相位特性测试方法的基础上,针对其存在的问题和局限性,提出了新型的迈克尔逊白光干涉系统。该系统在原有实验装置的基础上作了较大的改进,大大缩短了调试周期,提高了系统的稳定性,从硬件上减小了测试误差。对测试系统进行了重复性和光源稳定性测试,并分别从外界噪声、白光光源、分光棱镜和光纤光谱仪等几个方面对系统做了相关的误差分析并给出了相应的解决方法。 2、光学薄膜相位特性数据处理算法的研究。主要研究了从干涉光谱中提取相位和群延迟的各种数据处理算法,包括基于单幅干涉图的窗口傅立叶变换算法、节点拟合算法和小波变换算法。针对上述方法存在的缺点和问题,提出了二维时域扫描算法。该方法直接扫描得到被测镜片的群延迟时间,避免了由相位求导得到群延迟过程中引入的误差放大效应,进而提高了群延迟色散的测试精度。最后,对四种数据算法进行了比较和分析,为后面的薄膜测试提供了依据和方向。 3、光学薄膜相位特性的测试研究。采用自行搭建的白光干涉系统对单层膜的绝对相位和色散补偿薄膜(G-T腔和啁啾镜)的群延迟色散进行了测量,并与Spectra Physics给出的测试结果比较,验证了测试的准确性和系统的稳定性。除此之外,还将本系统的应用扩展到块状材料的群折射率和PZT薄膜的压电特性的测试,并在宽光谱范围内获得了较高的测试精度和良好的重复性。
【学位授予单位】:

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 廖春艳;范正修;邵建达;;Cr∶LiSAF飞秒激光器中Gires-Tournois镜的设计[J];光子学报;2011年08期
2 仲永安;固体光学薄膜结构研究的一些进展[J];物理;1981年11期
3 吴周令,范正修,王之江;强激光对薄膜的损伤研究[J];物理;1991年03期
4 沈元华;软X射线波段的光学薄膜[J];激光与红外;1991年05期
5 ;其它[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
6 占美琼;;提高光学薄膜激光损伤阈值的途径[J];上海第二工业大学学报;2010年04期
7 张福初;赵福庭;;美国第三届光学干涉薄膜讨论会论文简介[J];激光与红外;1984年12期
8 林开华;郑宣明;;反应性离化团束制备光学薄膜新技术[J];光学精密工程;1991年05期
9 饶觉陶,梁瑾青,李科;光学薄膜保护封闭漆[J];光学技术;1999年01期
10 ;光学薄膜参数测试[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
11 谈恒英,刘鹏程,施柏煊;激光光热偏转成象法无损检测光学薄膜的激光损伤[J];光子学报;2005年01期
12 范正修;光学薄膜的损耗[J];中国激光;1981年08期
13 唐晋发;;光学薄膜进展[J];激光与红外;1985年06期
14 赵俊民;;全国光学薄膜技术学术交流会在西安召开[J];应用光学;1987年06期
15 张伟;沈红兵;赵恒谦;;光学薄膜的色散[J];应用光学;1988年04期
16 杨亚生;;光学薄膜膜厚监控中极值法的应用[J];半导体光电;1989年02期
17 韩季之;光学薄膜抗激光损伤的测量[J];激光与红外;1991年05期
18 张伟;赵恒谦;杨茂华;李庆波;;沿膜厚方向的簿膜非均匀折射率及其色散测量[J];应用光学;1991年06期
19 黄印权;;1.06μm激光对光学薄膜的损伤[J];红外与激光工程;1992年04期
20 朱震;激光与红外技术中应用的光学薄膜[J];激光与红外;1993年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
2 洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
3 姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4 王济洲;熊玉卿;刘宏开;陈焘;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
5 王济洲;熊玉卿;刘宏开;王多书;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
6 闫宏;赵福庭;;光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
7 林炳;刘定权;张凤山;;离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
8 饶觉陶;梁瑾青;李科;;光学薄膜保护封闭漆[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
9 张殷华;黄伟;张云洞;;光学薄膜附着力测量方法[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
10 沈正祥;王占山;马彬;徐敬;陈玲燕;;利用功率谱密度函数表征光学薄膜基底表面粗糙度[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
2 常建龙 王婧 郝晓丽;徐耀:光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
3 本报记者 马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
4 证券时报记者 李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5 本报记者 赵芮 孙晓青 李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6 DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
7 荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
8 记者 郭瑞坤 张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
9 余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
10 本报记者 郑惠华;中国乐凯 “变身”光学薄膜制造商[N];河北经济日报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
2 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
3 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
6 史金辉;消偏振分光镜的设计与特性分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
7 王成;介质薄膜膜基体系力学光学特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
8 陈海星;波分复用系统中基于法布里—珀罗腔的光学薄膜滤波器研究[D];浙江大学;2005年
9 黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
10 孙雪铮;光学薄膜中超棱镜效应的研究[D];浙江大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
2 刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
3 史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
4 宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
5 林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
6 鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
7 冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
8 林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
9 黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
10 邓洪祥;高功率激光作用下光学薄膜的场损伤研究[D];电子科技大学;2007年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978