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《浙江大学》 2012年
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钛化物节能薄膜的制备及其光电性能研究

吴玲  
【摘要】:随着经济和社会的发展,能源危机日益加剧,节能逐渐受到全世界的关注。节能镀膜玻璃是一种优异高效的建筑材料。为解决目前多层节能镀膜玻璃生产工艺复杂、成本高等问题,本研究提出用导电性能良好的钛化物作为节能材料,尝试制备单层的节能镀膜玻璃。本论文研究了玻璃基板上TiN和TiC单层节能薄膜的制备及其光学、电学性能。主要得到了以下结果。 首先,用适合与浮法生产线相结合的常压化学气相法,分别以TiCl4和NH3为原料,在普通玻璃基板上沉积了单层TiN薄膜。运用XRD、SEM、EDX、UV-VIS四探针电阻测试仪、UV-VIS等表征手段研究了氨气流量变化对薄膜的结晶形态,表面和断面形貌,表面成分,电学性能和光学性能的影响。结果表明:在纯TiN薄膜中,随着氨气流量的增加,TiNx薄膜中x值从0.691增加到1.381,薄膜的结晶强度和品格常数先增加后减小,薄膜的方块电阻先减小后增加。当氨气流量为100sccm时,TiNx薄膜中x值接近1,薄膜的方块电阻达到12.6Ω/sq,在近红外区的反射率达到60%,在中远红外区的反射率达到87.87%,薄膜具备优良的节能性能。但是,此时薄膜在可见光区的透光率低,为17%。 为了提高薄膜的可见光透过率,对TiN薄膜进行了钒掺杂。对于钒掺杂的TiN薄膜,随着氨气流量的增加,薄膜中N/(Ti+V)从0.8795增加到1.2419,薄膜中V的含量基本维持在0.4%左右,薄膜的结晶强度先增加后减小,薄膜的方块电阻先减小后增加,维持在10Ω/sq左右。当氨气流量为100sccm时,薄膜的方块电阻达到8.3Ω/sq。薄膜在可见光区的透光率明显增加,达到33%,在近红外区的反射率达到60%,在中远红外区的反射率达到91.75%,薄膜具备优良的节能性能。 另外,采用涂覆法,以TiC粉末为原料,PVP、PEG、PVA为添加剂,在普通玻璃基板上制备了单层TiC薄膜。探索了TiC薄膜的成膜条件。运用SEM、四探针电阻测试仪、UV-VIS等表征手段研究了热处理,PVP含量、溶液滴加量对薄膜的形貌,表面成分,电学性能和光学性能的影响。结果表明:在pH为10时,采用PVP与PEG作为添加剂时,薄膜具有良好的光电性能。热处理能提高含PVA与PEG添加剂的TiC薄膜的光电性能。经过热处理后,薄膜的方块电阻降低到221Ω/sq,近红外反射率升高到7%。在含有PVP与PEG添加剂的TiC薄膜中,随着PVP含量的增加,薄膜的方块电阻逐渐减小,薄膜的近红外反射率先增加,后保持不变;同时随着溶液滴加量的增加,薄膜的方块电阻先增加后减小,薄膜的近红外反射率逐渐减小。在PVP含量为5%下,溶液滴加量为4m1时,薄膜的方块电阻达到44.4Ω/sq,此时薄膜的近红外反射率达到16%,薄膜具有良好的节能性能。
【学位授予单位】:浙江大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:TN304.055

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘群纲;玻璃的各种镀膜技术及脱膜原因分析[J];玻璃;1992年01期
2 张红,李越;低辐射镀膜玻璃的膜系结构及其特性[J];玻璃;2000年03期
3 马军;玻璃的节能特性及节能玻璃[J];玻璃;2001年06期
4 丁志华,李恭宪;加大节能玻璃在建筑门窗中推广应用力度[J];化学建材;2001年02期
5 刘瑞鹏;李刘合;;磁控溅射镀膜技术简述[J];中国青年科技;2006年08期
6 宋岩丽;;几种镀膜玻璃的性能比较及应用[J];建材技术与应用;2009年05期
7 游常,江东亮,谭寿洪,孙莹;电泳沉积法制备碳化钛膜的研究[J];陶瓷学报;2001年03期
8 郭信章,尹万里,于凤勤,谢光明;碳化钛太阳能选择性吸收薄膜的研究[J];太阳能学报;1991年02期
9 周之斌,崔容强,徐秀琴,徐林,孙铁囤;一种喷涂SnO_2减反射薄膜的新工艺及材料研究[J];太阳能学报;2000年01期
10 白玲,沈蜀西,徐焱慧;热喷涂技术的现状和发展[J];新疆大学学报(自然科学版);2004年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 郑鹏飞;TiN镀膜玻璃的制备机理及其光学电学性能研究[D];浙江大学;2006年
2 张天播;兼具自清洁性能的新型节能薄膜TiN_xO_y的制备和性能研究[D];浙江大学;2007年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 潘晓艳;方斌;陈长鑫;;环氧树脂/多壁碳纳米管导电复合材料研究[J];工程塑料应用;2009年03期
2 金力成;金波;;金属薄膜的质量造成电阻器失效的分析[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年05期
3 孟影;金绍维;;La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延膜厚度引起的电阻率变化[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年03期
4 桂君;钱家盛;魏强;章于川;;HSi-g-A151的制备及其对纳米Si_3N_4的表面改性[J];安徽大学学报(自然科学版);2011年01期
5 张明刚;赵广荣;;生物相容性磁性纳米复合粒子的制备与表征[J];安徽职业技术学院学报;2006年02期
6 陈加娜;叶红齐;谢辉玲;;超细粉体表面包覆技术综述[J];安徽化工;2006年02期
7 闫金良;低翘曲度ITO透明导电膜玻璃的工艺研究[J];半导体光电;2004年05期
8 陈蒲生,张昊,冯文修,刘剑,刘小阳,王锋;PECVD法低温形成SiO_xN_y介质膜的俄歇电子能谱和红外吸收光谱分析[J];半导体技术;2002年07期
9 成传品;唐明华;叶志;钟向丽;郑学军;周益春;;(Bi,Yb)_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的制备[J];半导体技术;2006年08期
10 徐素鹏;张玉芳;;纳米SiO_2-聚乙二醇分散体系的分散性及流变行为研究[J];北京服装学院学报(自然科学版);2011年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王伟;段跃新;肇研;石凤;;气相白炭黑对环氧树脂流变特性的影响[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集(下册)[C];2008年
2 王东;路建军;齐宏进;;防水透湿织物上碳氟膜的纳米结构及均匀性的初步研究[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
3 王红美;于鹤龙;柳清亮;张伟;;磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦学特性[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
4 杨云志;冉均国;郑昌琼;;磁控溅射制备类金刚石膜生物材料的工艺与性能的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
5 曾武贤;谢泉;梁艳;张晋敏;肖清泉;杨吟野;任学勇;;不同溅射气压对β-FeSi_2形成的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
6 朱静;李华峰;毛健;陈国需;涂铭旌;;纳米TiO_2-柴油/水微乳复合体系的制备及其助燃特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
7 张玉波;刘阳思;宋庆功;李长志;颜家振;黄婉霞;;纳米TiO_2的分散性及其改性内墙乳胶漆降解甲醛性能研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(7)[C];2007年
8 张振强;桓源峰;贺小昆;赵云昆;;车用金属载体应用[A];第四届全国工业催化技术及应用年会论文集[C];2007年
9 侯和峰;李春红;陈玉清;綦晓峰;徐丽丽;;低辐射镀膜玻璃[A];首届山东材料大会论文集(建筑材料篇)[C];2007年
10 沙菲;王滨;杨力;;纳米粉体的团聚、分散及表面改性[A];上海市颗粒学会2005年年会论文集[C];2005年
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1 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
2 傅乐峰;聚羧酸超塑化剂的合成、性能和分散吸附行为研究[D];华东理工大学;2010年
3 汤如俊;小颗粒CoPt单层和双层垂直磁记录介质研究[D];电子科技大学;2010年
4 徐瑞东;脉冲电沉积制备纳米颗粒增强金属基复合材料的研究[D];昆明理工大学;2008年
5 刘述忠;纳米掺锑氧化锡(ATO)粉体制备及其浆料稳定性[D];昆明理工大学;2009年
6 张志奋;浆膜动态性能研究及其在蒙脱土掺杂浆料改性效果评价中的应用[D];东华大学;2010年
7 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
8 刘一婷;基于酞菁铜的太阳能电池的研究[D];大连理工大学;2011年
9 周麒麟;炭黑的紫外线吸收剂接枝改性及其对聚对苯二甲酸乙二醇酯抗紫外性能及光稳定性的研究[D];华东理工大学;2011年
10 王小锋;BeO粉体制备、凝胶注模成型及其烧结的研究[D];中南大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 王博;辐射桥面发射激光器工艺与测试[D];长春理工大学;2010年
3 位永平;非晶InSb探测器材料光电特性研究[D];长春理工大学;2010年
4 陈凯;纳米CaCO_3改性聚丙烯酸酯乳液胶粘剂的研究[D];浙江理工大学;2010年
5 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
6 贾林涛;折射率调制光纤气体传感系统设计与研究[D];郑州大学;2010年
7 郭东歌;基于LPFGs氢敏探测器的研究[D];郑州大学;2010年
8 栾苗;以水溶性聚合物刷为模板合成银纳米粒子[D];郑州大学;2010年
9 张欢;一维ZnO半导体纳米线的制备与场发射特性研究[D];辽宁师范大学;2010年
10 荣英凤;BDT铁电薄膜和ZnO纳米带压电性能的测试与表征[D];湘潭大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈晓东,陈晓燕;热反射与低辐射镀膜玻璃种类应用及市场前景分析[J];玻璃;2000年02期
2 张红,李越;低辐射镀膜玻璃的膜系结构及其特性[J];玻璃;2000年03期
3 马军;玻璃的节能特性及节能玻璃[J];玻璃;2001年06期
4 王伟,付立伟,赵年伟;节能型镀膜玻璃概述[J];玻璃;2002年01期
5 刘起英,汪建勋,陈华,刘军波,孔繁华,应益明;低辐射镀膜玻璃的现状及展望[J];玻璃;2002年06期
6 刘宏珠,程文秀,王承遇;用溶胶—凝胶法制备掺杂酞菁蓝的玻璃表面装饰膜[J];玻璃;1998年05期
7 殷顺湖;透明导电膜研究进展[J];材料导报;1997年03期
8 金炯;王德苗;董树荣;;低辐射薄膜的研究进展[J];材料导报;2004年10期
9 周志坚;节能膜的应用、制备和性能[J];材料科学与工程;1994年03期
10 孙晓冬,梅炳初,袁润章;Al含量对TiC自蔓延高温合成过程的影响[J];硅酸盐学报;1997年05期
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中国期刊全文数据库 前10条
1 张萌;王应民;徐鹏;蔡莉;李禾;程国安;刘庭芝;;用锌有机源和CO_2/H_2混合气源PECVD沉积ZnO薄膜[J];光学学报;2006年04期
2 伊敏;沈士璠;;中国光学学会在上海召开1985年年会[J];激光技术;1986年01期
3 ;机构介绍[J];光机电信息;1995年01期
4 郑玉祥,徐琮辉,张荣君,李晶,王松有,陈良尧;采用不同中间夹层的双记录层磁光光盘热光特性比较[J];红外与毫米波学报;2005年06期
5 陈聂;张耀举;施华萍;;用双层增透膜提高半导体单光子发射器的收集效率[J];温州师范学院学报;2006年02期
6 刘国华;张维;牛文成;;SPR传感器理论模型的仿真研究[J];南开大学学报(自然科学版);2005年05期
7 郝殿中;吴福全;宋连科;马丽丽;张旭;闫斌;;Wollaston棱镜宽带减反射膜的研制及测试[J];光电子.激光;2006年10期
8 杨开勇;龙兴武;黄云;李晓红;;“假想层”在Needlee法膜系设计中的应用[J];激光杂志;2006年05期
9 刘必鎏;时家明;赵大鹏;张玮;许波;;光子晶体隐身应用分析[J];激光与红外;2009年01期
10 ;《中国光学与应用光学》(双月刊)[J];光机电信息;2010年06期
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1 魏强;刘圣贤;王丹;刘海;;100keV质子辐照ITO薄膜微观机制与光学性能的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
2 陆巍;郑臻荣;顾培夫;管爱枝;;投影光路中二向分色镜工作状态的理论分析[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
3 杨燕珍;吴玉程;张志海;崔接武;史成武;;以乙醇为溶剂的喷雾热解法制备FTO薄膜及其性能研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
4 何文彦;程鑫彬;马彬;丁涛;叶晓雯;张锦龙;张艳云;焦宏飞;;界面连续性对薄膜节瘤损伤特性的影响研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
5 康利涛;高彦峰;罗宏杰;;聚合物辅助沉积热致变色二氧化钒VO_2薄膜[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
6 吴福全;唐恒敬;;金属-氧化铝纳米阵列偏振特性的入射角度效应[A];江苏、山东、河南、江西、黑龙江五省光学(激光)联合学术'05年会论文集[C];2005年
7 徐晓峰;张凤山;范滨;;宽角度入射1500-1600nm波段减反射薄膜的研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
8 曹庄琪;陆海峰;李红根;邓晓旭;沈启舜;;亚毫米尺度双面金属波导及其超高阶模的研究[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
9 周红;隋成华;陈乃波;许晓军;魏高尧;蔡萍根;;在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜的方法及光学性能分析[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
10 尚林;赵君芙;张华;梁建;许并社;;不同掺杂元素对GaN薄膜影响的研究进展[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
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1 记者刘其丕 李晓飞;天津薄膜光学重点实验室成立[N];中国有色金属报;2010年
2 石德;采光量可调门窗[N];中国房地产报;2004年
3 记者 束洪福;863计划“海域形貌构造探测技术”项目完成[N];科技日报;2000年
4 祝勇;想象之外的散文[N];中国文化报;2003年
5 在兰;搓耳美容又健康[N];健康时报;2003年
6 杭州浙大三色仪器有限公司董事长 牟同升;LED检测:满足产品需求 新应用领域有差距[N];中国电子报;2007年
7 王东声 (作者系河北师范大学美术学院副教授、中国国家画院理论研究部特约研究员);浅谈山水画临摹中的“意临”问题[N];中国文化报;2007年
8 本报记者 侯军;莫高窟:千年艺术的视觉长廊[N];深圳特区报;2006年
9 原蔚;《傅山进京》沪上演出好评如潮[N];山西日报;2007年
10 李梅;山西煤化所纳米碳化硅煤洁净转化成果获奖[N];中国化工报;2008年
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1 高超;用于太阳电池的硫化物半导体薄膜的溶液法制备及其性能研究[D];南京航空航天大学;2011年
2 焦兴利;BiFeO_3外延薄膜电容器与异质结的制备和性能研究[D];中国科学技术大学;2010年
3 彭丽萍;In掺杂ZnO薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2010年
4 赵琳;掺杂与溶剂对AACVD方法制备ZnO薄膜微观形貌及性能的影响[D];燕山大学;2012年
5 居勇峰;氧化钛薄膜的制备、微结构及特性研究[D];电子科技大学;2012年
6 王震东;太阳电池材料CuInS_2薄膜及其纳米棒阵列研究[D];复旦大学;2010年
7 高丽丽;N掺杂p型Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备及相关问题的研究[D];吉林大学;2011年
8 雷洁红;锂氢同位素化合物性质的理论研究及其薄膜的制备[D];中国工程物理研究院;2010年
9 吕建国;溶胶—凝胶法制备Na掺杂ZnO薄膜的微结构及其性能表征[D];安徽大学;2011年
10 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴玲;钛化物节能薄膜的制备及其光电性能研究[D];浙江大学;2012年
2 杨磊;氮化物薄膜的制备及其结构与性能研究[D];华中师范大学;2011年
3 赵景训;ITO薄膜的制备及其性能研究[D];大连交通大学;2010年
4 陈勇;硅基二氧化铈薄膜的脉冲激光制备及性能研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
5 常兰涛;颗粒硫化法制备硫化物薄膜及其光伏应用[D];浙江大学;2012年
6 朱四美;反应磁控溅射法制备TiO_2薄膜及其性能的研究[D];大连理工大学;2012年
7 李向明;电子束蒸发沉积重掺硅薄膜及其应用[D];杭州电子科技大学;2012年
8 孙新利;半导体氧化铁薄膜的制备、表征及光伏特性研究[D];杭州电子科技大学;2009年
9 王艳;掺杂及不同衬底对Sn_2S_3薄膜特性影响[D];内蒙古大学;2012年
10 宋佳;原子层沉积制备Al掺杂ZnO薄膜的结构与性能研究[D];上海交通大学;2012年
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