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《浙江大学》 2014年
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MOCVD温度控制系统设计

周峰  
【摘要】:本文主要研究MOCVD设备的温度控制。温度控制作为MOCVD重要的技术组成,一直是研究的热点。本文首先从MOCVD设备的结构入手,介绍了MOCVD系统的组成,并对各个组成部分功能做了简要描述,重点介绍了反应腔的结构。紧接着详细介绍了反应腔内具体反应流程,与温度控制的具体区间相对应。由于MOCVD设备成本很高,用于实验室仿真不太现实,本文结合真实设备的控制方案建立了一套软硬件仿真平台。硬件平台是基于xPC Target的对象模型和欧陆温度控制器,软件平台主要包括xPC Target监控软件和温度控制监控软件。 本文设计的各种温度控制算法都是基于上述仿真平台测试之后应用与真实系统的。本文使用的控制方法主要包括常规PID、分段PID、模糊PID和神经网络PID。首先介绍了PID的工作原理,并将常规PID控制应用到系统中,分析了具体控制效果。针对常规PID不适合所有温区控制的问题,本文采用了分段PID进行改进,并取得了很好的效果。为了更好的适应设备间的差异性,本文将智能控制算法引入到MOCVD的温度控制系统中,设计了基于变论域的模糊PID控制器和基于建模的神经网络PID控制器,并进行了仿真控制,取得了理想的效果。
【学位授予单位】:浙江大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2014
【分类号】:TP273

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