高精度波前过程检测技术的研究

【摘要】： 现代光学系统多采用大口径的光学元件来提高系统的测试精度。在普通数字波面干涉仪的基础上，采用目标函数多孔径拼接技术，能很好地解决大口径光学元件检测问题，最终得到较完整的波前信息。 本文首先在较大孔径放大系数(＞4)的情况下，论证了目标函数多孔径拼接技术，保证了较高的精度，得到较完整的波前信息。 然后，结合实验结果，从拼接模式、被测面形、测量误差、数字干涉仪分辨率和不同孔径放大系数等角度出发，分析了各种因素对精度的影响，并详尽的探讨了各种误差源，包括静态误差、动态误差、拟合误差、拼接误差。从工程化的角度对系统优化和改善，提出一些实效的方法，特别是移相器和干涉图处理。 提出从两方面对面形进行评价，一是用传统光学像质评价指标，二是利用PSD从频谱角度评价面形，从而为高精度检测和控制大口径光学元件表面面形(波前)提供了依据。