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《浙江大学》 2008年
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波长可调谐半导体激光器的设计及其制造工艺

韩亮  
【摘要】: 波长可调谐激光器是一种重要的光源器件,它在波分复用系统、可重构的光分叉复用网络、干涉测量学及光谱学等多个领域有着广泛应用。 本文中提出了两种波长可调谐激光器的新型设计方法:(1)Ⅴ型耦合腔半导体激光器。它具有两个长度不同的波导分支,利用两个波导所形成的谐振腔的谐振波长之间的游标效应来实现波长的调节,它还可以通过一个光学耦合器对两个腔之间的耦合系数进行优化从而实现良好的单模选择特性,同时又具有一个很宽的波长调谐范围。(2)单片集成无跳模波长可调谐激光器。它由以下几部分组成:一个有源波导,一个内置于光学腔内的波长色散衍射光栅,一个位于有源波导和光栅之间的平板波导区,以及一个邻近平板波导区的具有特定形状和尺寸的波长调谐区,该区域夹在一对电极之间,通过一种电效应改变该区域的有效折射率从而调节光栅滤波器的波长,同时调节光学腔的长度,使得激光模式波长的调节与光栅滤波器的波长调节同步,从而实现无跳模连续调谐,这种设计结构还可用于多波段集成可调激光器以及多波长可调谐激光器阵列。另外本文还讨论了Ⅴ型耦合腔半导体激光器的制造工艺,以及对光刻、剥离、湿法腐蚀、磨片等各种工艺的改进。
【学位授予单位】:浙江大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:TN248.4

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【参考文献】
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【共引文献】
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【同被引文献】
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