基于随机共振和定向多壁纳米碳管气敏传感器阵列的SF_6气体检测系统的研究
【摘要】:
六氟化硫(Sulfur Hexafluoride,SF_6)自法国化学家Moissan和Lebeau于1900年首次合成以来,以其独特的物理、化学性质在工农业生产生活中得到了广泛应用。与此同时,SF_6气体泄漏也给人们的生产、生活带来了不容忽视的危害。因此准确、安全、方便、快速的检测SF_6气体泄漏具有极大的理论和实际应用价值。
SF_6属于惰性绝缘气体,是已知化学稳定性最好的物质之一,传统的基于吸附-脱附、氧化-还原原理的气敏传感器对SF_6气体检测无能为力。气相色谱/热导池检测器(GC/TCD)法可以检测SF_6气体,但这种检测方法已经基本被更高精度的色谱检测方法取代。SF_6是不可燃烧的无机气体,一些新发展的色谱分析技术(如气相色谱/氢火焰检测器(GC/FID)等)也无法达到检测的目的。气相色谱-质谱联用(GC-MS)设备能够检测微量SF_6气体,但和气相色谱设备一样存在着价格昂贵(单套设备通常在几十万到一百万人民币左右)、体积庞大、单次检测时间长、须在专门实验室检测、运行成本高等不利因素。目前进口SF_6气体便携式检测仪,如DNS200、GasCheck5000is型,检测范围基本在1~1000ppm,但是高达27000~60000人民币的高昂价格让人望而却步。此外,红外光谱吸收法检测SF_6气体可以达到较高的精度,但是检测设备复杂、成本高、加工难度较大。紫外光电离法和强电压电离法检测SF_6气体,在检测过程中破坏SF_6气体分子产生了硫化氢、二氧化硫等有毒物质,对检测人员的人身安全带来极大的威胁。因此,新型的SF_6气体检测技术的研究已经被许多科研机构和电力部门提上了议事日程。
结合传感器理论和纳米材料技术,我们设计了基于随机共振理论和定向多壁纳米碳管电离型气敏传感器阵列的SF_6气体检测系统。使用阳极氧化铝(AnodicAluminum Oxide,AAO)模板作为基底,以化学气相沉积(Chemical VaporDeposition,CVD)法在模板上快速生长定向多壁纳米碳管作为一体化电极,与铝电极构成电离型气敏传感器。论述了气敏传感器的工作原理,实验研究了该传感器的放电特性和影响因素。出于优化电场效应、增强纳米碳管气敏传感器气敏性的需要,本文实验研究了纳米碳管直径、间距和高度的可控制备方法,最终传感器采用了符合电场效应优化条件的纳米碳管材料。
为了解决单个纳米碳管气敏传感器存在着的“交叉敏感性”的问题,本文的SF_6气体检测系统采用了传感器阵列的设计方法,阵列中的传感器具有不同极性或不同极板间距。使用4传感器阵列结合主成分分析(PCA)的方法,实现了对纯氩气、SF_6、氮气、二氧化碳的定性检测。随机共振理论在微弱信号检测领域正在成为研究的热点。本文中SF_6气体检测系统对ppm级SF_6气体的检测输出信号处于微安级,如何准确、快速的处理实验数据给出结果十分关键。本文首先对双稳态系统的随机共振模型进行了仿真研究,旨在研究双稳态系统的参数对随机共振产生的影响,为随机共振在SF_6检测系统中的应用奠定理论基础。检测系统采用2个纳米碳管气敏传感器构成的传感器阵列结合双稳态随机共振方法,以信噪比极大值标定SF_6气体浓度,实现了轻度(500~1000ppm)、中度(1000~2000ppm)、重度污染(高于2000ppm)三级浓度的监测。
实验观察到外加白噪声诱发碳管气敏传感器系统内部1.65MHz周期性分量产生多重随机共振现象,本文采用多稳动力学系统随机共振的数值仿真研究,得到与实验结果相一致的随机共振曲线,为实验所观察到的多重随机共振提出了一种解释。该数值仿真方法使用三势阱折线分段势函数,邻接两个双稳态随机共振以构建多稳态随机共振模型。如果在实验中观察到更多重随机共振现象,该方法也可以发展到更多重的情况,具有良好的扩展性。
本文在SF_6气体检测系统的设计基础之上,制备AA0模板,并以其为基底定向生长多壁纳米碳管制作传感器电极,采用主成分分析结合4传感器阵列实现氩气、SF_6、氮气、二氧化碳的定性检测;以双稳态随机共振结合2传感器阵列标定SF_6气体浓度,在中国国家和行业SF_6防护标准的框架下,以系统实时检测实验数据计算信噪比极大值,根据信噪比极大值判断空气中的SF_6气体污染情况,实现轻度、中度、重度三级污染监测。采用了多重动力学模型数值仿真研究了气体放电中的多重随机共振现象。基于随机共振和定向多壁纳米碳管电离型传感器阵列的SF_6气体检测系统具有一定灵敏度、稳定性好、响应速度快、可重复检测、体积小、成本低、常温常压下即可进行检测等优点,具有较好的实际应用价值。
本文对优化气敏传感器场效应的纳米碳管可控制备方法进行了论述和实验研究,以多稳态动力学模型数值仿真研究了气体放电中的多重随机共振现象,设计使用了纳米碳管气敏传感器阵列检测SF_6气体,以双稳态随机共振方法进行信号处理,实现SF_6气体的定量检测。
【学位授予单位】:浙江大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:TP212
|
|
|
|
1 |
周宏,赖建军,赵悦,柯才军,张坤,易新建;SF_6/O_2/CHF_3混合气体对硅材料的反应离子刻蚀研究[J];半导体技术;2005年06期 |
2 |
王晓丽,张重;基于外光电效应的智能型SF_6检漏仪的研究[J];长春理工大学学报;2005年02期 |
3 |
宋爱国,李建清,黄惟一;基于随机共振的机器人二值化触觉传感器降噪方法[J];传感技术学报;2001年04期 |
4 |
于鹏,潘敏,陈裕泉;一种基于全程动态扫描的白酒鉴别智能人工嗅觉系统[J];传感技术学报;2003年03期 |
5 |
夏晓东,刘艳丽,蒋健晖,沈国励,俞汝勤;由白钨酸制备WO_3纳米颗粒薄膜NO_2传感器[J];传感技术学报;2005年01期 |
6 |
黄咏梅;林敏;;硅谐振微传感器中微弱信号频率的外差式随机共振检测[J];传感技术学报;2006年05期 |
7 |
惠国华;吴莉莉;潘敏;陈裕泉;张孝彬;;纳米碳管气体放电气敏传感器中随机共振现象的研究[J];传感技术学报;2006年05期 |
8 |
琚雪梅,张巍,毕东云,司良友;红外吸收型CO_2气体传感器的设计[J];传感器技术;2005年08期 |
9 |
关鲁雄,刘立华;石英晶体微天平研究进展与展望[J];传感器世界;2000年03期 |
10 |
茅东升,赵俊,李炜,王曦,柳襄怀,诸玉坤,周江云,范忠,李琼,徐静芳;金刚石薄膜电子场发射研究进展[J];材料导报;1998年06期 |
|
|
|
|
|
1 |
李大成,周大利,刘恒,张萍,张云,龚家竹;纳米TiO_2的特性[J];四川有色金属;2002年03期 |
2 |
任成军,李大成,钟本和,周大利,刘恒,龚家竹;影响TiO_2光催化活性的因素及提高其活性的措施[J];四川有色金属;2004年04期 |
3 |
钱翼清,赵平,王卫华;烷基化纳米SiO_2/MMA乳液聚合物及其对PC的改性研究[J];工程塑料应用;2002年01期 |
4 |
王孝军,杨杰,龙盛如;纳米材料及其在工程塑料改性中的应用[J];工程塑料应用;2002年10期 |
5 |
刘建林,肖久梅,史孝群,龚春秀,马文江;纳米CaCO_3填充环氧树脂分散技术及力学性能研究[J];工程塑料应用;2003年03期 |
6 |
惠雪梅,张炜,王晓洁;环氧树脂/SiO_2,纳米复合材料性能的研究[J];工程塑料应用;2004年02期 |
7 |
安骏,吴海霞,辛寅昌;防高能辐射的树脂/纳米铅复合材料的制备及研究[J];工程塑料应用;2004年12期 |
8 |
郑海忠,张坚,鲁世强,徐志锋;选区激光烧结制备PS/Al_2O_3纳米复合材料的研究[J];工程塑料应用;2005年09期 |
9 |
安骏;刘吉华;辛寅昌;;树脂纳米铈防辐射复合材料的制备及其性能研究[J];工程塑料应用;2006年08期 |
10 |
郭冬勇,赵德国;纳米材料的现行测量技术[J];安徽教育学院学报;2002年06期 |
|
|
|
|
|
1 |
王林,张覃轶,祝柏林,王爱华,谢长生;激光烧结纳米ZnO气敏传感器制备及其气敏特性研究[J];传感技术学报;2003年04期 |
2 |
季振国,孙兰侠,何振杰,范镓,王玮,方向生,陈裕泉;可鉴别室内有害气体的铟锡氧化物薄膜气敏特性研究[J];传感技术学报;2004年02期 |
3 |
陈金霞,郭淼,陈文菊,李昱,李婷,张孝彬,陈裕泉;基于多壁纳米碳管的传感器对甲苯的气敏性研究[J];传感技术学报;2005年01期 |
4 |
刘延辉,曾大文,王辉虎,谢长生;热氧化纳米Zn制备ZnO厚膜及其气敏特性的研究[J];传感技术学报;2005年01期 |
5 |
方向生;郭淼;陈文菊;潘敏;陈裕泉;张孝彬;;碳纳米管及其修饰物对挥发性有机物气敏性的研究[J];传感技术学报;2006年05期 |
6 |
裴素华,孙海波,张华,江玉清;γ-Fe_2O_3响应苯类气体敏感材料特性研究[J];功能材料与器件学报;2004年01期 |
7 |
张登松,代凯,方建慧,曹为民,施利毅;碳纳米管改性处理的研究[J];化工矿物与加工;2004年03期 |
8 |
黄载福,解玉华,卢贤曜,林友详,刘运奎;冠醚涂层压电石英晶体传感器对甲苯、二甲苯的检测研究[J];环境科学;1994年01期 |
9 |
王智民,张新,张艳熹,韩维屏;旁热式TiO_2/MoO_3复合厚膜邻二甲苯气敏陶瓷元件的制备及特性表征[J];黑龙江大学自然科学学报;2003年02期 |
10 |
司士辉,朱德荣,陈昕;TiO_2纳微孔膜增敏的压电石英晶体传感器[J];中南工业大学学报(自然科学版);2002年05期 |
|
|
|
|
|
1 |
赵广超,吴芳辉,魏先文;多壁纳米碳管修饰电极的制备及表征[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2002年01期 |
2 |
刘贵喜,扬万海,谢仕聘;光纤电流传感器微弱信号检测技术[J];半导体光电;1998年02期 |
3 |
谢欣云,刘卫丽,门传玲,林青,沈勤我,林成鲁;多孔硅外延转移技术制备以氮化硅为绝缘埋层的SOI新结构[J];半导体学报;2003年02期 |
4 |
周浩敏,韩颖,刘广玉;硅微传感器中微弱信号的相关检测[J];北京航空航天大学学报;1999年01期 |
5 |
胡岗;丁达夫;;利用随机共振系统获取高信噪比[J];北京师范大学学报(自然科学版);1992年03期 |
6 |
王辅忠,温孝东,李蓉,秦光戎;有阻尼项的随机共振研究[J];北京师范大学学报(自然科学版);1996年01期 |
7 |
仪晓可,黄建国,张群飞;基于四阶累量的三次相位耦合特性分析[J];船舶工程;2000年03期 |
8 |
宋爱国,李建清,黄惟一;基于随机共振的机器人二值化触觉传感器降噪方法[J];传感技术学报;2001年04期 |
9 |
杨建华,候宏,王磊,刘福;基于集成气敏传感器阵列的电子鼻系统环境响应特性分析[J];传感技术学报;2002年03期 |
10 |
刘清;用DSP实现光栅高准确度细分技术[J];传感器技术;2003年07期 |
|