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《浙江理工大学》 2010年
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制备环境温度及紫外线灯照射改善ITO薄膜性能的研究

况琦  
【摘要】: 本研究的主要目的是通过紫外灯照射和制备环境温度来提高溶胶凝胶法制备的ITO薄膜的导电性能,为最终获得性能优良的ITO薄膜提供理论和实际依据。 首先,通过对五组不同制备环境温度下制得的ITO薄膜光电性能的比较获得:低制备环境温度有利于凝胶的形成,提高其导电性和透光性。 其次,用不同功率和波长紫外灯照射ITO薄膜,发现其能有效提高ITO薄膜的导电性,使铟外层电子产生跃迁,增加其迁移率,减小其方阻。方阻相对减小值会随着紫外灯功率的增大而增大,波长的减小而增大。将照射处理后的ITO薄膜放置在空气中,其导电性能不但不会发生衰减,而且由于其内部结构的自身作用,还会有进一步提高的现象,方阻最小值可达到41.378?/□。然后对其使用寿命进行了实验研究:将紫外灯照射后的ITO薄膜在高温煅烧。其方阻会随着煅烧时间的增加而不断增大,煅烧温度越低,其增大的速度越慢。计算得在423K环境下其使用寿命(方阻增大10%)为2056.26h。煅烧后ITO薄膜的透光率减小,但减小幅度和煅烧时间规律性不明显。 最后,就ITO薄膜的电阻对温度的响应进行了实验研究。结果表明:其方阻对温度有依赖关系,在20℃到130℃的循环变化过程中,ITO薄膜的方阻随着温度的增加而减小,在温度降低时沿原曲线返回,且重演性好,高温时电阻响应的灵敏度较大,可在使用过程中起到温度的传感作用。
【学位授予单位】:浙江理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TB383.2

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张治国;;ITO薄膜的能带结构和电导特性[J];半导体学报;2006年05期
2 周宏明;易丹青;杨小玲;;ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势探讨[J];表面技术;2006年01期
3 李世涛;乔学亮;陈建国;;塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究[J];材料导报;2004年11期
4 张学骜;吴文健;满亚辉;刘长利;;溶胶-凝胶法制备ITO薄膜研究进展[J];材料科学与工艺;2007年02期
5 孙裔;刁训刚;杨盟;武哲;舒远杰;;柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究[J];稀有金属材料与工程;2007年01期
6 张楠;刘家祥;曾胜男;;锡掺杂量对胶体法制备ITO薄膜光电性能的影响[J];稀有金属材料与工程;2008年01期
7 喻志农;相龙锋;李玉琼;薛唯;;SiO_2缓冲层对柔性ITO薄膜特性的影响[J];稀有金属材料与工程;2009年03期
8 潘洪涛;周炳卿;陈霞;李力猛;;空气和氮气气氛中热处理温度对ITO薄膜性能影响[J];信息记录材料;2008年03期
9 曹丽冉;陈新亮;薛俊明;倪牮;赵鹏;张德坤;孙建;赵颖;耿新华;;PET柔性衬底上低温沉积ITO薄膜性能的研究[J];光电子.激光;2009年05期
10 刘永红,赵高扬,张卫华;溶胶凝胶法制备的ITO薄膜电学及光学性能的研究[J];功能材料;2004年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吕建国;孙兆奇;朱剑博;宋学萍;;创新性近代物理实验教学——AZO薄膜的制备及其表征[J];合肥师范学院学报;2009年06期
2 郭玉香,曲殿利,张芸,葛诗文;合成温度和原料粒度对钛酸铝性能的影响[J];鞍山科技大学学报;2004年02期
3 蒋渝,管登高,陈家钊,涂铭旌;透气性陶瓷复合材料的相变强韧化及其机制[J];兵器材料科学与工程;2003年04期
4 王强;黄笑梅;吕艳凤;程和法;张章;凤仪;;孔隙率及孔径对开孔泡沫铝导电性的影响[J];兵器材料科学与工程;2006年06期
5 李翔;黎俊初;杨刚;;钇铁氧体(YIG)的加入对锆钛酸钡(BZT)介电性能的影响[J];兵器材料科学与工程;2008年03期
6 余慧娟;徐国跃;沈轩;邵春明;;8~14μm波段低发射率涂料的制备与优化研究[J];兵器材料科学与工程;2008年06期
7 任玥;华萍;龚荣洲;;基于环氧树脂的低红外发射率材料研究[J];兵器材料科学与工程;2011年02期
8 谭红琳;孙福来;方来鹏;邓德国;;溶胶-凝胶法制备的ZnO∶Al薄膜的表面形貌与导电性[J];半导体光电;2009年02期
9 殷景志;常玉春;马艳;高福斌;刘阳;王一丁;杜国同;;等离子体对OLED阳极进行处理的研究现状[J];半导体光电;2011年03期
10 林岳明;韩买兴;曾祥华;;GaN-LED芯片上ITO膜侧蚀异常的改善[J];半导体技术;2009年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 高桂波;钱春香;朱晨峰;王辉;丁士卫;;粉煤灰对混凝土热膨胀系数的影响[A];第五届混凝土结构耐久性科技论坛论文集[C];2006年
2 吉岸;刘祥峰;袁纪烈;;添加MgLiSi玻璃对BNT陶瓷的介电性能和耐压强度的影响[A];中国电子学会第十五届电子元件学术年会论文集[C];2008年
3 石丽芬;汤李缨;程金树;;KOH对离子交换硼硅酸盐玻璃性能的影响[A];2007中国浮法玻璃及玻璃新技术发展研讨会论文集[C];2007年
4 赵芳红;吴云龙;成惠峰;谭欢;;银膜厚度对ITO-Ag-ITO-Glass玻璃性能的影响[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
5 罗云峰;林东;李伟中;郭林;李寿冬;;补平用水泥净浆强度对基体强度检测结果的影响[A];南方七省(区)硅酸盐学会第25届学术交流年会论文集[C];2007年
6 李红霞;刘宏;王继扬;李霞;崔红梅;;氧化物透明导电膜的研究进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
7 杜军;袁萍;唐金晶;陶长元;;金属钯修饰PAn/PTFE复合膜的制备及其氢气响应性的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(7)[C];2007年
8 李桦;马晓光;李俊升;;相变材料的复合及其调温性能研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(8)[C];2007年
9 张志萍;刘红飞;程晓农;;近零膨胀ZrO_2-ZrW_2O_8复合材料的制备和表征[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(8)[C];2007年
10 陈晓鸽;张红松;徐强;王富耻;刘玲;;(Sm_(0.5)La_(0.5))_2 Zr_2O_7陶瓷材料的热物理性能[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
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1 谭红琳;金属离子掺杂的ZnO第一性原理计算及透明导电薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2009年
2 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
3 吴连斌;有机硅/噻唑金属配合物的设计合成与磁性能研究[D];浙江大学;2010年
4 周聪华;染料敏化太阳能电池中电极材料和寄生电阻的研究[D];武汉大学;2009年
5 李永海;基于溶胶—凝胶法的功能因子缓释技术研究及其在纺织品芳香保健功能整理中的应用[D];东华大学;2010年
6 高敬伟;多形态聚吡咯的制备与吸波性能研究[D];东华大学;2010年
7 王卓;A(Fe_(0.5)B_(0.5))O_3(A=Ba,Sr;B=Nb,Ta)陶瓷的巨介电效应及其调控[D];浙江大学;2010年
8 林喆;高折射率硫化锌/含硫聚合物纳米复合光学材料[D];吉林大学;2011年
9 宁珅;氧负离子存储-发射材料发射性能的改善[D];中国科学技术大学;2011年
10 丁保宏;新型载体SiO_2-TiO_2-ZrO_2载负MoP催化剂的制备、表征及加氢精制性能[D];华东师范大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 朱曜峰;碳纤维负载TiO_2复相光催化材料的研究[D];浙江理工大学;2010年
2 程慧;正交相Y_2Mo_3O_(12)薄膜的制备及光吸收性能研究[D];郑州大学;2010年
3 刘杰;基于时差法的超声波流量计设计[D];哈尔滨工程大学;2010年
4 龙颖;Al_2O_3陶瓷及其表面金属化的低温烧成技术研究[D];长沙理工大学;2009年
5 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
6 束伟;(Bi,La)_4Ti_3O_(12)铁电纳米线及ZnO纳米场效应晶体管的制备及性能研究[D];湘潭大学;2010年
7 王敏;用于LTCC的微晶玻璃的制备及其性能研究[D];合肥工业大学;2010年
8 张佳瑢;SrHfO_3:Ce闪烁陶瓷材料的制备及性能[D];沈阳理工大学;2010年
9 朱和凤;纳米电极界面功能膜的构建及其应用研究[D];河南师范大学;2010年
10 黄静红;荧光溶胶复合体系研制及其性能研究[D];江南大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;In_2O_3∶Sn和ZnO∶Al透明导电薄膜的结构及其导电机制[J];半导体学报;2000年04期
2 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
3 张治国;;ITO薄膜的能带结构和电导特性[J];半导体学报;2006年05期
4 张聚宝,翁文剑,杜丕一,赵高凌,张溪文,沈鸽,韩高荣;喷雾热分解法玻璃镀膜[J];玻璃与搪瓷;2002年02期
5 李霞;溶胶-凝胶法CaO-P_2O_5-SiO_2系生物玻璃的制备及机理探讨[J];玻璃与搪瓷;2003年01期
6 王敏,蒙继龙,陈明光;ITO薄膜的光学性能研究[J];中国表面工程;2003年05期
7 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
8 丁星兆,董远达;溶胶-凝胶薄膜工艺及其应用[J];材料导报;1993年03期
9 张树高,黄伯云,方勋华;ITO薄膜的半导化机理、用途和制备方法[J];材料导报;1997年04期
10 朱冬生,赵朝晖,吴会军,李军;溶胶-凝胶法制备纳米薄膜的研究进展[J];材料导报;2003年S1期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 吴世华;铟锡醇盐的合成及ITO薄膜溶胶-凝胶法制备技术研究[D];昆明理工大学;2001年
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中国期刊全文数据库 前10条
1 周雪锋;钱清华;胡煜艳;陆小华;;溶胶凝胶法制备平整TiO_2薄膜及其表征[J];南京工业大学学报(自然科学版);2006年01期
2 张显策;张顺花;李慧艳;;壳聚糖/纳米TiO_2复合膜的制备及其性能分析[J];浙江理工大学学报;2007年06期
3 李佳;苗鸿雁;谈国强;梁云鹤;贾婷婷;;无机盐-螯合-凝胶法制备的铁酸铋薄膜的工艺研究[J];功能材料;2008年05期
4 黄敏;顾幸勇;陈云霞;;溶胶凝胶法合成钙长石的研究[J];陶瓷学报;2009年02期
5 黄敏;顾幸勇;;pH值对溶胶凝胶法合成钙长石超细粉末的影响[J];中国陶瓷工业;2010年03期
6 黄隆;王军;谢亚楠;;锆钛酸钡薄膜的制备及其光学性能研究[J];绝缘材料;2010年05期
7 苏碧桃;朱平武;许晶晶;赵丽;;ZnTiO_3-TiO_2纳米复合材料的光催化性能[J];应用化学;2011年01期
8 段济远;李福勤;王军;;基于溶胶凝胶法的TiO_2溶胶的制备[J];河北工程大学学报(自然科学版);2011年01期
9 关星宇;唐安江;苗菁;;温度对铈基材料的影响[J];湖南有色金属;2011年02期
10 杨南如 ,余桂郁;溶胶凝胶法名词解释和测试方法[J];硅酸盐通报;1993年03期
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1 魏强;刘圣贤;王丹;刘海;;100keV质子辐照ITO薄膜微观机制与光学性能的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
2 陆巍;郑臻荣;顾培夫;管爱枝;;投影光路中二向分色镜工作状态的理论分析[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
3 周海鹰;万发荣;叶亚平;;纳米TiO_2薄膜及染料敏化太阳能电池[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2001年
4 何文彦;程鑫彬;马彬;丁涛;叶晓雯;张锦龙;张艳云;焦宏飞;;界面连续性对薄膜节瘤损伤特性的影响研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
5 季振国;宋永梁;向因;刘坤;王超;叶志镇;;溶胶凝胶法制备禁带宽度可调的Mg_xZn_(1-x)O薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
6 吴福全;唐恒敬;;金属-氧化铝纳米阵列偏振特性的入射角度效应[A];江苏、山东、河南、江西、黑龙江五省光学(激光)联合学术'05年会论文集[C];2005年
7 杜丕一;沈鸽;韩高荣;翁文剑;赵高凌;张溪文;;钛酸铅镧薄膜的溶胶凝胶法低温制备及形成研究[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
8 徐晓峰;张凤山;范滨;;宽角度入射1500-1600nm波段减反射薄膜的研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
9 杨燕珍;吴玉程;张志海;崔接武;史成武;;以乙醇为溶剂的喷雾热解法制备FTO薄膜及其性能研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
10 曹庄琪;陆海峰;李红根;邓晓旭;沈启舜;;亚毫米尺度双面金属波导及其超高阶模的研究[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
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1 记者刘其丕 李晓飞;天津薄膜光学重点实验室成立[N];中国有色金属报;2010年
2 本报记者 顾洪文;Itopsoft:“韩流”的中国路[N];计算机世界;2002年
3 ;控制成本是ITO企业发展关键[N];中国电子报;2009年
4 ;环境温度对小猪成活率的影响[N];中国畜牧兽医报;2009年
5 本报记者 诸玲珍;ITO靶材:资源优势明显 工艺研发取得突破[N];中国电子报;2009年
6 石德;采光量可调门窗[N];中国房地产报;2004年
7 中色(宁夏)东方集团有限公司 张红梅 孙本双 刘孝宁;ITO靶材向大尺寸高密度方向发展[N];中国电子报;2009年
8 长沙壹纳光电材料有限公司技术总监 陈明飞;ITO靶材企业应埋头向下精细创新[N];中国电子报;2011年
9 ;环境温度对小猪成活率的影响[N];中国畜牧兽医报;2009年
10 ;本土ITO企业要走差异化路线[N];中国电子报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 高超;用于太阳电池的硫化物半导体薄膜的溶液法制备及其性能研究[D];南京航空航天大学;2011年
2 焦兴利;BiFeO_3外延薄膜电容器与异质结的制备和性能研究[D];中国科学技术大学;2010年
3 居勇峰;氧化钛薄膜的制备、微结构及特性研究[D];电子科技大学;2012年
4 王震东;太阳电池材料CuInS_2薄膜及其纳米棒阵列研究[D];复旦大学;2010年
5 高丽丽;N掺杂p型Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备及相关问题的研究[D];吉林大学;2011年
6 雷洁红;锂氢同位素化合物性质的理论研究及其薄膜的制备[D];中国工程物理研究院;2010年
7 郅晓;喷雾热解法制备氧化物基涂层低辐射玻璃的研究[D];西安理工大学;2009年
8 彭丽萍;In掺杂ZnO薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2010年
9 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
10 吕建国;溶胶—凝胶法制备Na掺杂ZnO薄膜的微结构及其性能表征[D];安徽大学;2011年
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1 况琦;制备环境温度及紫外线灯照射改善ITO薄膜性能的研究[D];浙江理工大学;2010年
2 赵景训;ITO薄膜的制备及其性能研究[D];大连交通大学;2010年
3 吴回君;FTO和ITO薄膜在模拟环境介质中的光电性能稳定性及影响机理研究[D];昆明理工大学;2010年
4 吴玲;钛化物节能薄膜的制备及其光电性能研究[D];浙江大学;2012年
5 杨磊;氮化物薄膜的制备及其结构与性能研究[D];华中师范大学;2011年
6 丁星伟;Cu基ITO柔性透明导电薄膜的制备及物性研究[D];鲁东大学;2012年
7 王国清;溶胶凝胶法制备TiO_2薄膜及其Nb掺杂研究[D];兰州大学;2011年
8 陈勇;硅基二氧化铈薄膜的脉冲激光制备及性能研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
9 常兰涛;颗粒硫化法制备硫化物薄膜及其光伏应用[D];浙江大学;2012年
10 汪娴;Cu/ITO/Ag多层薄膜的制备、微结构及光电性质表征[D];安徽大学;2012年
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