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分子/增压泵结构、性能及其应用的研究

段献学  
【摘要】: 分子/增压泵是最近实现产业化的新型分子泵,它采用国际首创的专利结构,结构简单,运行稳定,兼容中高真空,具有广阔的应用前景。 本文在充分讨论分子/增压泵抽气原理的基础上,介绍了它的结构和性能,并对其主要性能指标进行了测试。测试结果表明,分子/增压泵在中高真空具有强劲抽速,并可以获得清洁真空。鉴于分子/增压泵已成功应用于真空镀膜领域并取得显著效果,本文深入探讨和研究了分子/增压泵在磁控溅射离子镀膜机和大型连续镀膜生产线中的应用,为其在更多真空领域的应用奠定了理论和实验基础。 分子/增压泵是新型泵种,它在每个真空技术领域的推广应用都是具有开拓性的。本课题的完成,是其产品化的一小步,却是其发展壮大的一大步。


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