分子/增压泵结构、性能及其应用的研究

【摘要】： 分子／增压泵是最近实现产业化的新型分子泵，它采用国际首创的专利结构，结构简单，运行稳定，兼容中高真空，具有广阔的应用前景。 本文在充分讨论分子／增压泵抽气原理的基础上，介绍了它的结构和性能，并对其主要性能指标进行了测试。测试结果表明，分子／增压泵在中高真空具有强劲抽速，并可以获得清洁真空。鉴于分子／增压泵已成功应用于真空镀膜领域并取得显著效果，本文深入探讨和研究了分子／增压泵在磁控溅射离子镀膜机和大型连续镀膜生产线中的应用，为其在更多真空领域的应用奠定了理论和实验基础。 分子／增压泵是新型泵种，它在每个真空技术领域的推广应用都是具有开拓性的。本课题的完成，是其产品化的一小步，却是其发展壮大的一大步。