收藏本站
《福州大学》 2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于塞贝克效应的气敏传感器的研制

余华梁  
【摘要】:材料的制备和元件的结构设计是研制半导体气敏传感器的关键环节。我们创新性地设计了一套实验装置,采用气相反应法,以纯钨丝为原料, 制备WO_3 纳米气敏材料。采用XRD, SEM, TEM对材料进行结构分析和形貌观察, 发现WO_3 材料的微观结构与气敏性能紧密相关, 材料的颗粒尺寸小, 表面粗糙不平, 有利于气体的吸附, 从而对气体更敏感。根据塞贝克效应的原理, 我们提出气敏传感器的一种新结构, 又以上述方法制得的WO_3 纳米粉末为基材制作成元件, 这种新型元件能够输出数十毫伏的直流电压, 这对于信号的放大与处理十分方便。在实验中对NO_2 气体进行检测,结果表明,当NO_2 浓度为20×10~(-6) 加热功率8.5W 时,传感器的灵敏度可达13, 响应时间为5s, 恢复时间为16s, 并且灵敏度随NO_2 浓度而变化。因此, 利用塞贝克效应来探测气体是一条可行的新思路。
【学位授予单位】:福州大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TP212

手机知网App
【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 彭丽萍;In掺杂ZnO薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 顾长志,孙良彦,张彤,文珂;一种新型结构的LB膜化学场效应晶体管的气敏特性研究[J];半导体学报;1994年04期
2 田敬民;Pt/InP肖特基二极管气敏特性的研究[J];半导体学报;1996年07期
3 徐甲强,陈玉萍,田志壮,李金凤;纳米气敏粉体的制备技术[J];传感器世界;1999年01期
4 宁文生,杜丕一,翁文剑,韩高荣,沈鸽;气敏材料的研究进展[J];材料导报;2002年08期
5 徐甲强,牛新书,刘艳丽;WO_3纳米微粒的制备及气敏特性研究进展[J];功能材料;2002年01期
6 李平,余萍,肖定全;气敏传感器的近期进展[J];功能材料;1999年02期
7 蔡晔,葛忠华,陈银飞;金属氧化物半导体气敏传感器的研究和开发进展[J];化工生产与技术;1997年02期
8 蒋凯,许亚杰,牛新书;纳米WO_3气敏材料的制备与表征[J];河南师范大学学报(自然科学版);2003年01期
9 牛新书,刘艳丽,徐甲强;WO_3基气敏材料研究进展[J];化学研究与应用;2001年06期
10 张中;大气污染监测与气敏传感器[J];中国建材科技;1997年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李强;杜卫民;;典型镍酸盐系列复合氧化物研究进展[J];安阳师范学院学报;2008年05期
2 许宏飞;史利军;殷涛;梁栋;;稀土锆合金显微成分相的SEM+EDS分析[J];兵器材料科学与工程;2006年05期
3 许宏飞;;稀土锆合金微观断口形貌的评价和表征[J];兵器材料科学与工程;2006年06期
4 邓云龙,范广涵,廖常俊,刘颂豪,文尚胜,刘鹏,王浩,曹明德,刘鲁;涡轮LP-MOCVD研制高亮度红光发光二极管[J];半导体光电;2001年06期
5 邱家威,黄启俊,吴凡,熊力嘉,常胜,戴峰,何民才;内调制光电探测器特性的模拟与实验分析[J];半导体光电;2004年06期
6 刘诗文;郭霞;艾伟伟;宋颖娉;顾晓玲;张蕾;沈光地;;InGaN/GaN多量子阱蓝光LED电学特性研究[J];半导体光电;2006年03期
7 李强;介万奇;付莉;汪晓芹;查刚强;杨戈;;p-CZT的钝化处理和C-V特性研究[J];半导体光电;2006年03期
8 闫金良;;多孔阳极氧化铝薄膜的结构和特性[J];半导体光电;2006年04期
9 尚春宇;杜艳秋;吴研;;p-n结的隧道击穿模型研究[J];半导体光电;2010年02期
10 张锦文,武光明,宋世庚,陶明德;SnO_2薄膜的湿敏效应[J];半导体技术;1999年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孟凡明;孙兆奇;;粉料埋烧对二氧化钛陶瓷压敏和介电性能的影响[A];安徽省第五届“兴皖之光”青年学术年会论文集(理科卷)[C];2005年
2 郭萌;姚素薇;张卫国;张莹;;电化学传感器的研究和进展[A];2004年全国电子电镀学术研讨会论文集[C];2004年
3 黎涛;冯自平;宋文吉;黄冲;何世辉;;氯化钠反复相变后的性能变化[A];走中国创造之路——2011中国制冷学会学术年会论文集[C];2011年
4 董淼;储德清;;纳米催化技术的应用进展[A];第八届功能性纺织品及纳米技术研讨会论文集[C];2008年
5 吴勇;庄奕琪;杜磊;魏文彦;;薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
6 齐国权;朱建锋;毛海波;王芬;;高能球磨对Pr_6O_(11)和Y_2O_3掺杂ZnO压敏电阻微观结构和电学性能的影响[A];中国硅酸盐学会陶瓷分会2010年学术年会论文集(一)[C];2010年
7 王庆芳;吴晓春;邬天荣;;热作模具钢H13低温渗硼的研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(一)[C];2008年
8 肖国伟;武国胜;武明堂;;添加RuO_2厚膜NTC热敏电阻微观结构的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
9 李炎;杜三明;祝要民;长谷川明;古屋一夫;;生物用形状记忆Ti-10Nb-5Sn合金加热相变的TEM原位观察[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(8)[C];2007年
10 李珍;艾常涛;陈文;李飞;杨密纯;;Li、Mg双组分掺杂ZnO薄膜的结构与性能[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(10)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘海津;新型掺杂二氧化钛纳米管光催化材料的制备及其光催化性能的研究[D];河南师范大学;2010年
2 郭文敏;聚乙烯/无机填料复合材料非线性电导特性及机理研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
3 梁钦锋;扩散火焰形态及气化炉内熔渣沉积与传热规律研究[D];华东理工大学;2010年
4 熊飞;钙钛矿型氧化物薄膜的激光感生热电电压效应及光探测器应用[D];昆明理工大学;2008年
5 严继康;TiO_2压敏陶瓷的晶界偏析与势垒结构研究[D];昆明理工大学;2009年
6 王晓琳;Bi_2Te_3体系的材料制备、晶体结构及热电性能[D];武汉理工大学;2010年
7 宋运涛;金属氧化物纳米材料的液相合成研究[D];山东大学;2010年
8 梁慧;镍、铝化合物微纳材料的溶剂热合成研究[D];山东大学;2010年
9 祁祥;碳纳米纤维的高温转变及其同质异构结的特性研究[D];武汉大学;2009年
10 乔永生;新型对氯硝基苯加氢镍基催化剂的制备研究[D];太原理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
2 张德恒;透明导电膜中光吸收边的移动[J];半导体杂志;1998年03期
3 徐毓龙,G.Heiland;金属氧化物气敏传感器(Ⅰ)[J];传感技术学报;1995年04期
4 王彩君,吴兴惠,张硕,王毓德;气敏传感器线性化电路的设计[J];传感技术学报;1996年04期
5 徐毓龙,G.Heiland;金属氧化物气敏传感器(V)[J];传感技术学报;1996年04期
6 徐毓龙,G.Heiland;金属氧化物气敏传感器(Ⅵ)[J];传感技术学报;1997年01期
7 方向生;郭淼;陈文菊;潘敏;陈裕泉;张孝彬;;碳纳米管及其修饰物对挥发性有机物气敏性的研究[J];传感技术学报;2006年05期
8 王存,王弘,沈瑜生;复合氧化物气敏材料的进展[J];传感器技术;1994年01期
9 徐毓龙;国外气敏传感器的发展动向[J];传感器世界;1996年01期
10 田立强,潘国峰,赵彦晓,王静,孙以材;TiO_2薄膜氧敏元件的研究与发展[J];传感器世界;2002年07期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 李建平;微结构气敏传感器与电子鼻研究[D];中国科学院电子学研究所;2000年
2 徐红燕;氧化物多孔纳米固体气敏传感器的研究[D];山东大学;2006年
3 徐甲强;氧化物纳米材料的合成、结构与气敏特性研究[D];上海大学;2005年
4 马全宝;透明的高导电近红外反射ZnO:Ga薄膜的制备及特性研究[D];浙江大学;2007年
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 高雨;聚苯胺微/纳米材料的制备及其性质研究[D];东北师范大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴兴惠,李艳峰,周桢来,田子华;实现气敏元件高选择性的一种方法[J];半导体学报;1993年07期
2 吴兴惠,李艳峰,周桢来,田子华;实现气敏元件灵敏度倍增的一种方法[J];半导体学报;1994年09期
3 孙良彦;半导体气体敏感元件及发展概况[J];传感器技术;1987年Z1期
4 胡英,周晓华,魏红军;CuO—ZnO异质结气体传感器的敏感性能[J];传感器技术;2000年06期
5 缪晓波;智能传感器·网络传感器·信息传感器[J];传感器世界;2000年01期
6 孟国文,陈大明;陶瓷材料中裂纹起因及消除方法[J];材料导报;1995年02期
7 胡文军,陈晓丽;微乳液和有机凝胶的性质及应用[J];材料导报;1997年01期
8 郭景坤;从复合材料到多相材料[J];材料研究学报;2000年02期
9 郑嘹赢,徐明霞,刘丽月,徐廷献,董向红;掺杂钼对TiO_(2-x)薄膜氧敏性能的影响[J];材料研究学报;2000年S1期
10 王毓德,吴兴惠,李艳峰,周桢来;半导体p+n型气体传感器原理[J];电子元件与材料;2000年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李建平,王悦,高晓光,王利,韩泾鸿;微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究[J];真空科学与技术;2000年03期
2 王毓德,周祯来,吴兴惠;乙醇气敏传感器寿命分布研究[J];半导体情报;2000年05期
3 李建平,高晓光,朱敏慧;微结构气敏传感器的热分析与结构设计[J];传感技术学报;2000年03期
4 王毓德,周桢来,吴兴惠;丁烷气敏传感器寿命分布研究[J];电子器件;2000年02期
5 黎松林;应用半导体气敏传感器实现防毒面具滤毒盒失效指示的探讨[J];人类工效学;2000年04期
6 刘国华,杜忻锐;半导体气敏传感器的原理及应用[J];煤炭技术;2001年09期
7 张英,张继伦;提高乙醇气敏传感器性能的途径[J];传感技术学报;2002年01期
8 陈长庆,胡明,吴霞宛;气敏传感器的发展[J];材料导报;2003年01期
9 贾良菊,应鹏展,许林敏,倪自丰,王雅晴;气敏传感器的研究现状与发展趋势[J];煤矿机械;2005年04期
10 来五星;王聪;李晓平;史铁林;;乙醇气敏传感器及敏感度测试[J];仪器仪表用户;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 吴芳;何光宏;潘英俊;;用温度调制提高半导体气敏传感器的选择性[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 程纲;王理想;武兴会;杜祖亮;;基于单根氧化物纳米线的高性能气敏传感器研究[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
3 焦正;;二氧化锡气敏传感器的研究进展[A];第6届辐射研究与辐射工艺学术年会论文集[C];2004年
4 施金钗;黄元庆;宋爱群;;纳米气敏传感器的研究[A];第十七届全国测控计量仪器仪表学术年会(MCMI'2007)论文集(下册)[C];2007年
5 王丽斐;王换荣;陆维昌;;厚膜型甲醛气敏传感器的研制[A];中国化学会第十一届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2007年
6 胡盛华;陈邦林;陆维昌;韩庆平;;烧结型硫化氢气敏传感器的研制[A];中国化学会第十届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2004年
7 吴莉莉;李鑫;惠国华;潘敏;陈裕泉;;一种基于随机共振的气敏传感器检测系统的研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(3)[C];2008年
8 刘瑞;丁海燕;林剑;张珽;;气流喷打印技术制备功能化碳纳米管气敏传感器[A];中国化学会第28届学术年会第4分会场摘要集[C];2012年
9 苏世漳;宋小平;马如璋;;γ—Fe_2O_3气敏传感器的研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
10 张杰;姚翔宇;董勤;;用于变压器油中气体监测的半导体气敏传感器特性问题研究[A];海洋经济与电力发展——第十届长三角电机、电力科技分论坛论文集[C];2013年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 武汉 余俊芳;湿敏传感器和气敏传感器的应用[N];电子报;2006年
2 重庆 潘建;气敏传感器简介[N];电子报;2002年
3 广东 肖裕华;用气敏传感器控制排气扇电路[N];电子报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 孙鹏;多孔硅基复合薄膜气敏传感器的研究[D];天津大学;2012年
2 徐红燕;氧化物多孔纳米固体气敏传感器的研究[D];山东大学;2006年
3 李建平;微结构气敏传感器与电子鼻研究[D];中国科学院电子学研究所;2000年
4 吴莉莉;纳米碳管气敏传感器及随机共振检测系统的研究[D];浙江大学;2007年
5 郑俊褒;基于导电聚合物的QCM气敏传感器研究[D];浙江大学;2008年
6 王康;SnO_2基气敏传感器的制备与研究[D];山东大学;2013年
7 谢海芬;基于纳米分子筛和碳黑聚合物敏感膜的气敏传感器研究[D];复旦大学;2005年
8 丁鹏飞;纳米材料敏感/增强的QCM气敏和生物传感器的研究[D];浙江大学;2014年
9 王剑;镍和氧化镍纳米晶的控制生长及应用研究[D];上海交通大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 盛海强;金属氧化物气敏传感器稳定性研究[D];华中科技大学;2008年
2 任翔;激光微熔覆集成制造气敏传感器的研究[D];华中科技大学;2009年
3 林辉;基于气体电离的气敏传感器的研究[D];浙江大学;2007年
4 牛坤;基于电化学原理的气敏传感器的系统设计[D];吉林大学;2012年
5 孙迎伟;掺杂对金属氧化物气敏传感器气敏性能的影响[D];华中科技大学;2012年
6 费跃;碳纳米管基气敏传感器检测室内甲醛研究[D];华东理工大学;2011年
7 李巍;基于检测甲烷气敏传感器的制备和研究[D];福州大学;2006年
8 陈炽;二氧化锡气敏传感器的研究[D];西安电子科技大学;2006年
9 陈鹏;低功耗多孔硅气敏传感器性能研究[D];天津大学;2008年
10 孙鹏;多孔硅基氧化钨气敏传感器的研究[D];天津大学;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026