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《福建师范大学》 2012年
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基于泰曼—格林干涉的球面面形在线检测仪研制

韩振华  
【摘要】:光学系统作为光学仪器的核心,其性能好坏很大程度上取决于光学元件的质量。球面光学镜片作为最常用的光学元件,对其进行面形检测是光学镜片生产过程中最重要的环节之一。常用于镜片面形检测的方法有:样板法和干涉仪法。样板法属于接触性检验,容易对面形造成二次损伤;干涉仪法属于非接触法,但干涉仪造价昂贵,而且通常只能对单个镜片进行检验。这两种方法都各有缺点,影响光学镜片生产率的提高。 本文通过对样板法和干涉仪法的比较,结合光学镜片生产的特点,基于泰曼-格林干涉设计了一种用于光学镜片面形的非接触在线检测的干涉仪。通过Zemax软件模拟分析该系统的光路特征,完成了光学镜片面形检测的方案设计和镜片检验的模拟。根据检测方案,进行零部件的结构选型以及参数确定;完成了整机结构以及相关的部件和调节机构的设计;完成样机的试制,并且进行了样片检测。结果表明,样机基本达到了设计的要求。
【学位授予单位】:福建师范大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:TH74

【共引文献】
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