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低温等离子体处理技术及装置

燕杰  
【摘要】:低温等离子体处理技术在工业中的应用越来越广泛,有关低温等离子体发生装置的研究需要进一步深入。本课题研究低温等离子体技术的应用与发生装置,设计一种基于交直流叠加供电的低温等离子体放电装置,选题具有重要的实际意义。 论文介绍了低温等离子体处理技术在工业各个方面的应用以及低温等离子体供电电源的现状及发展趋势,对现阶段几种常见的低温等离子体的放电装置及低温等离子体的放电模式进行了分析,确定了电源系统交直流叠加供电的低温等离子体的放电装置方案。设计出了低温等离子体电源的逆变硬件电路,以C8051F系列单片机为核心,实现了低温等离子体的放电装置的主体——基于移相控制的单相H桥PWM逆变器。完成了主电路以及交。直流叠加电路的参数设计,并进行了仿真研究。通过对低温等离子体放电过程的分析,建立起了低温等离子体放电发生器的仿真模型,并对其高压放电过程进行了仿真。进而完成了对交直流叠加供电的低温等离子体放电装置的仿真及部分实验调试。仿真与实验研究的结果证实了系统方案的可行性。


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