收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

低温工艺PECVD法制备多晶硅薄膜研究

王生钊  
【摘要】:单晶硅和多晶硅体太阳能电池成本居高不下,非晶硅和非晶硅薄膜太阳能电池又有光致衰退效应的困扰。多晶硅薄膜太阳能电池则兼具两者的优点:多晶硅薄膜电池既有单晶硅和多晶硅体太阳能电池的高转换效率和长寿命,又有非晶硅薄膜太阳能电池的材料制备工艺简化和成本低廉之优点,正是由于这一点,多晶硅薄膜太阳能电池将成为新一代太阳能电池的有力候选者。因此,对多晶硅薄膜进行研究则具有重大意义。 基于这个目的,我们采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术沉积多晶硅薄膜材料,并对电池相关的其它结构材料进行研究。本论文主要进行如下几方面的工作: 1) 为制备出多晶硅薄膜太阳能电池,需要对本征μc-Si:H薄膜进行气相掺杂,因此我们对制备掺磷多晶硅薄膜和其微结构进行研究。本论文采用Raman散射谱、扫描电子显微镜(SEM)和XRD来研究掺磷多晶硅薄膜的微结构,采用能谱仪对薄膜表面的P掺杂率进行了分析,另外对掺磷多晶硅薄膜的快速光退火特性进行了研究。 2) 对于在制备多晶硅薄膜太阳能电池中很重要的本征层,我们采用RF-PECVD系统对氢稀释比、沉积温度、衬底材料、射频功率等参数对多晶硅本征薄膜材料的结晶状态及光电性能的影响进行了研究。 3) 为了制备出高质量的多晶硅薄膜太阳能电池,我们必须对μc-Si:H薄膜的沉积机理和其生长动力学过程加以了解,所以本论文对μc-Si:H薄膜的沉积机理和其生长动力学过程做了初步的研究工作。 实验结果表明: 1)磷掺杂导致硅薄膜沉积时晶化率降低,但对其固相晶化有利。与本征μc-Si:H薄膜相比,掺杂后硅薄膜暗电导率略有降低,同时在紫外-可见光区的透光率降低,但降低的程度与具体的沉积条件有关,同时研究发现掺杂硅薄膜容易进行退火晶化。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 陈向力;;薄膜太阳能电池市场前景广阔[J];中国科技财富;2011年13期
2 ;薄膜太阳能电池明年量产[J];物理通报;2006年12期
3 Wim Zoomer;裴桂范;;当代薄膜太阳能电池综述[J];丝网印刷;2010年05期
4 刘广荣;;薄膜太阳能电池明年量产——转换效率可达12%[J];半导体信息;2007年02期
5 ;太阳能集电管突破薄膜电池技术壁垒[J];网印工业;2011年06期
6 治明;;薄膜太阳能电池前景光明[J];国外塑料;2009年04期
7 徐美君;;太阳能光伏玻璃及其薄膜的开发与应用(四)[J];玻璃与搪瓷;2011年04期
8 邱先磊;;薄膜技术渐成热点,有望带动光伏市场新一轮增长[J];电子产品世界;2008年11期
9 张乐;;低成本薄膜太阳能电池杭州面世[J];建筑节能;2009年03期
10 闫岩;;太阳能:“薄膜”的正反两面[J];中国新闻周刊;2010年31期
11 ;适度加快我国薄膜电池产业发展步伐[J];电子元件与材料;2009年03期
12 Aaron Hand;;太阳能产业不能仅依赖于效率[J];集成电路应用;2009年08期
13 ;新能源材料[J];新材料产业;2011年07期
14 ;科学家利用等离子体开发改良薄膜太阳能电池[J];纳米科技;2011年01期
15 ;太阳能电池[J];电源世界;2004年03期
16 李轶;;激光在非晶硅薄膜太阳能电池制造中的应用[J];半导体行业;2009年02期
17 卢磊;陈效华;严伟;王秀田;刘淑娟;;一种在汽车上应用太阳能技术的设计方案[J];新材料产业;2010年01期
18 ;新能源材料[J];新材料产业;2010年03期
19 ;低成本薄膜太阳能电池在杭州面世[J];可再生能源;2009年02期
20 赵宏;;我国薄膜太阳能电池投资机会分析[J];电器工业;2009年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 董春凤;崔正英;杨青巍;季小全;周航宇;冯北滨;李伟;孙红娟;李永高;;HL-2A欧姆和ECRH条件下的能量约束数据库的建立及分析[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
2 茅卫红;张慧云;陈宏;;低压直流辉光等离子体的放电特性[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下册)[C];2010年
3 田修波;Paul K.Chu;杨士勤;;基于等离子体注入技术的复合表面处理[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
4 刘华;张凯;;一种高效等离子体腔体的开发[A];第十二届全国微波能应用学术会议论文集[C];2005年
5 方容川;常超;廖源;崔景彪;;功能材料制备中的等离子体发光与过程选控[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
6 丁大宇;孙剑;许宁;应质峰;吴嘉达;;ECR等离子体和PLA等离子体相互作用的研究[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
7 任兆杏;张俊彦;王舟;任炟;;微波同轴表面波等离子体镀膜设备[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
8 蒋小华;白波;李文洪;刘永刚;李朝光;陈铭;;冕区等离子体状态参数实验[A];中国工程物理研究院科技年报(2000)[C];2000年
9 赖江南;Bob Sunderland;薛建明;颜莎;赵渭江;Melvyn Folkard;Barry D.Michael;王宇钢;;等离子体诱导含氧基团变化对塑料表面亲水性的影响[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
10 李向东;;高温、高密等离子体中的基态电离势[A];2004年全国强场激光物理会议论文集(二)[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈琳;低温等离子体催化氧化甲烷合成甲醇的应用基础研究[D];浙江大学;2010年
2 吕改敏;正负电子等离子体静电波的精解研究[D];大连理工大学;2010年
3 闫旭;大气压低温等离子体抑制HepG2细胞增殖的机制研究[D];华中科技大学;2011年
4 万磊;铜铟硒薄膜太阳能电池相关材料研究[D];中国科学技术大学;2010年
5 李毅人;弱碰撞等离子体中金属栅网附近稳态鞘和预鞘的实验诊断与数值模拟[D];中国科学技术大学;2011年
6 邹秀;低温等离子体磁鞘特性的研究[D];大连理工大学;2005年
7 傅磊;氢等离子体制备纳米硬质合金粉末的研究[D];清华大学;1997年
8 李明东;以煤层气为冷却剂的等离子体裂解煤制乙炔方案研究[D];清华大学;2004年
9 袁承勋;等离子体中太赫兹波传输特性理论研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 李志超;大尺度激光等离子体相互作用的实验研究[D];中国科学技术大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王生钊;低温工艺PECVD法制备多晶硅薄膜研究[D];郑州大学;2006年
2 姜岩;等离子低温消融兔髓核后对神经根结构和功能的观察[D];郑州大学;2006年
3 张凯;椭球谐振腔微波等离子体系统的研究[D];电子科技大学;2006年
4 李永富;基于ATmega128的双通道智能在线溶解氧分析[D];郑州大学;2007年
5 丁超;薄膜微晶硅太阳能电池亚微米周期陷光结构的优化设计与实验研究[D];南京理工大学;2012年
6 曹婷婷;Akt2-siRNA对肺癌细胞NCI-H446沉默作用的研究[D];郑州大学;2007年
7 谷士斌;反应热CVD法制备微晶硅锗薄膜及其太阳电池应用研究[D];河北工业大学;2007年
8 吴芳;硅薄膜太阳电池电极接触特性的研究[D];郑州大学;2007年
9 尤天友;硅基薄膜太阳能电池材料的制备与性能研究[D];河南师范大学;2012年
10 刘亚东;有机小分子薄膜太阳能电池器件电极缓冲层的机理研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 梅永生 王芳 姜木金;非晶硅薄膜太阳能电池项目开工[N];镇江日报;2009年
2 本报记者 汪叶舟;薄膜太阳能电池关键设备实现中国造[N];中国工业报;2011年
3 记者 王春;我国生产高端薄膜太阳能电池有了“利器”[N];科技日报;2011年
4 于化丛;成本优势凸显 薄膜太阳能电池产业提速[N];中国电子报;2008年
5 魏双林;超大型硅基薄膜太阳能电池下线[N];中国化工报;2009年
6 翟永杰 本报记者 李延生;做企业要“快”人半拍[N];中国企业报;2009年
7 刘平 王超慧;汉能薄膜太阳能电池 项目可行性通过评审[N];黑龙江经济报;2010年
8 中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 郭卫 谢军;薄膜太阳能电池关键材料TCO玻璃的应用探讨[N];中国建材报;2011年
9 本报记者 滕继濮;在线TCO玻璃:薄膜太阳能电池离不开你[N];科技日报;2011年
10 ;薄膜太阳能电池 超薄 廉价 高效[N];中国经济导报;2005年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978