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《河南理工大学》 2010年
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压电双晶片型微位移放大机构研究

张斌  
【摘要】: 随着科学技术的发展,精密和超精密驱动机构在精密制造、超精密加工、生物工程、医疗机械和芯片制造等领域应用越来越广泛,新型的驱动方式正逐步成为研究的主流。由于压电驱动器具有反应速度快、定位精度高、不受电磁干扰等优点,因而成为近年来构造精密驱动装置的重要方式。本文主要研究以压电双晶片作为驱动元件,由三角放大机理构造的柔性铰链机构作为位移输出的微位移放大机构。 首先介绍了精密驱动机构的应用、分类以及实现方式;并对压电驱动的基本理论和微位移放大机构的设计基础做了论述,阐述了压电陶瓷驱动器的工作原理、柔性铰链的理论知识等。 然后对微位移放大机构进行设计。通过理论计算、建模以及有限元软件分析对微位移放大机构进行设计,得出了机构的位移输入和输出之间的关系,进行了机构的许用应力校核,并对铰链的参数进行了优化设计。 最后根据优化设计的方案制作了微位移放大机构的样机,并进行了实验测试。对得到的测试数据进行分析,得出了结论:微位移放大机构的行程为0-77.8μm,放大倍数约为6.2倍。
【学位授予单位】:河南理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TH703

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 聂海旭;张斌;;基于压电双晶片驱动微位移放大机构设计[J];热处理技术与装备;2012年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前2条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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1 魏强;纳米定位微位移工作台的控制技术研究[D];山东大学;2006年
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1 张玲玲;精密微位移调整系统的设计与研究[D];长春理工大学;2009年
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3 任兴亮;新型微位移机构的设计和分析计算[D];合肥工业大学;2013年
4 朱仁胜;多自由度微位移工作台仿真的研究[D];合肥工业大学;2004年
5 黄金永;空间用精密微位移平台的研究[D];浙江大学;2004年
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9 方小东;基于新型菱形放大机构的微位移工作台结构研究[D];大连理工大学;2011年
10 付春楠;基于压电驱动的摩擦式微位移工作台的研究[D];大连理工大学;2010年
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