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《华中科技大学》 2013年
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大行程共基面二维工作台研制

吴军  
【摘要】:精密工作台是表面形貌测量系统重要的功能部件,起着扫描驱动和测量基准的作用。表面形貌测量技术的不断发展对工作台的精度和范围提出了更高的要求,研制高精度、大范围的工作台具有重要的意义。 本文提出了大行程共基面二维工作台的设计方案,其中,机械结构采用共基面设计,X和Y方向运动模块位于同一基准平面上,能有效减小阿贝误差,提高了工作台运动平面度;采用步进电机配合丝杠进行工作台的驱动,使用滚柱导轨进行导向;采用光栅尺作为闭环定位控制的反馈检测单元。同时,本文对重要零部件和结构进行了选型分析,运用ANSYS软件进行了关键零部件的静应力分析和参数设计。 工作台闭环定位控制采用PC配合运动控制卡的控制模式,其中运动控制卡为本实验室自主设计。工作台控制软件以Visual Studio2008为平台,通过对电机的加减速闭环控制来实现工作台的精确定位。 最后,对工作台进行了组装测试,测试项目包括定位精度、直线度和垂直度,并针对测量结果进行了误差分析和软件补偿,使工作台精度得到提高。
【学位授予单位】:华中科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2013
【分类号】:TH703

【参考文献】
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【共引文献】
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