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《华中科技大学》 2005年
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聚合物阵列波导光栅的设计与工艺实验

吴飞  
【摘要】:波分复用技术是随着通信系统和网络对带宽和容量的迅猛增长而出现的。近些年来,为满足波分复用系统的要求,发展了很多高性能的光子器件。基于阵列波导光栅(AWG)的各种光子器件代表了实现波分复用系统的关键实用技术之一。采用有机聚合物材料进行光电子与集成光学器件的研究,材料价廉,工艺过程简单,这使得器件成本大幅度降低。本文主要是研究聚合物AWG 的设计技术及对其结构优化设计,并研究聚合物AWG 器件的制造工艺。 论文介绍了AWG 器件的工作原理、特性和系统对它的要求。总结了为提高这些方面的性能,从设计、工艺等方面进行的各项改进措施。对器件进行了建模,并编制出一套设计AWG 器件各参数的流程方法和程序,可以设定不同性能要求直接得到AWG 器件的各参数并直接在光学辅助设计软件中BPM 模拟,得到所设计的AWG 光谱响应曲线。在此基础上,根据本实验室合成的聚合物材料的折射率,设计出了16 通道AWG 器件各结构参数,并设计出16×16AWG 的版图,制作出掩膜版。 平坦光谱响应AWG 在实际应用中有重要价值。本文主要研究了在AWG 器件中输入波导与输入平板波导之间加入一个抛物线型过渡器来实现平坦光谱响应的方法。对抛物线型过渡器的结构参数对AWG 的光谱响应的影响作了讨论,并且通过分析和设计,可以得到低色散的平坦光谱响应AWG。 聚合物平面波导光器件制作工艺的摸索研究是实现器件产业化的重要工作。本文在国内首次利用自行合成的氟化聚酰亚胺材料,利用旋涂-溅射-光刻-ICP 刻蚀等工艺方法制备聚合物薄膜波导,并制备出了高性能的氟化聚酰亚胺薄膜平面波导,对聚合物平面波导工艺作了积极的摸索。
【学位授予单位】:华中科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TN253

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 孟杰;曹子谏;靳琳;孙小强;张大明;;聚合物光波导的等离子体刻蚀工艺研究[J];光子学报;2011年S1期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 孟杰;聚合物平面波导光开关的优化设计与制备[D];吉林大学;2013年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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4 马慧莲,杨建义,李瑾,王明华;光波导-单模光纤的直接耦合[J];光通信研究;2000年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 贾东方,刘俭辉,胡智勇,王肇颖,李世忱;阵列波导光栅复用/解复用器研究进展[J];半导体光电;2004年03期
2 陈松涛;杨冬晓;方培沈;廖启亮;;单模石英光纤和塑料光纤自动耦合系统[J];半导体光电;2006年03期
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8 张冰娜;数字型集成热光光开关阵列波导研究[D];华中科技大学;2004年
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【同被引文献】
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3 庞拂飞;韩秀友;蔡海文;方祖捷;;低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究[J];光子学报;2006年04期
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7 俞爱斌,丁桂甫,杨春生,郭晓芸,李昌敏,毛海平,倪智萍;O_2反应离子深刻蚀PMMA[J];微细加工技术;2000年03期
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1 陈长鸣;硅基聚合物平面光波导器件的基础研究[D];吉林大学;2010年
2 靳琳;硅基高分子聚合物光开关研究[D];吉林大学;2012年
3 闫云飞;硅基聚合物平面波导光开关[D];吉林大学;2012年
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1 谭震宇;650nm聚合物阵列波导光栅波分复用器的基础研究[D];吉林大学;2012年
【二级引证文献】
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1 陈曦;王天娇;刘树森;李然;秦冠仕;秦伟平;王菲;张大明;;掺杂LiYF_4:Er,Yb纳米晶的聚合物平面光波导放大器[J];中国激光;2014年02期
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1 孟杰;聚合物平面波导光开关的优化设计与制备[D];吉林大学;2013年
【二级参考文献】
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【相似文献】
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7 贾东方,刘俭辉,胡智勇,王肇颖,李世忱;阵列波导光栅复用/解复用器研究进展[J];半导体光电;2004年03期
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9 李晗;聚合物阵列波导光栅的带宽平坦性分析及实验研究[D];吉林大学;2006年
10 刘海平;紫外写入法制作阵列波导光栅的理论研究[D];吉林大学;2008年
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