收藏本站
《华中科技大学》 2008年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于变权值EWMA的混和产品批间控制方法研究

侯明阳  
【摘要】: 近些年来,随着集成电路行业的飞速发展,半导体晶圆的尺寸变得越来越大,另一方面,关键尺寸的技术节点则日益缩小,为保证新技术下硅片产品的质量,很多集成电路制造商纷纷引入一些先进的工艺控制技术。批间控制是一种离散的控制方法。通过精确、及时地调整工艺的参数配置控制硅片特征尺寸等指标,最大程度的降低了硅片之间的差异。由于其显著的控制效果,批间控制被广泛的应用于晶圆生产控制中。指数加权平均移动反馈控制是批间控制的一种重要算法。指数加权平均移动控制器使用前一过程的输出作为输入,调整控制器参数来控制本次过程的输出,其中折扣因子是指数加权平均移动控制器的一个主要的参数。 在实际生产过程中,一般是在同一生产线生产不同型号产品或者同产品的不同制程,在生产过程中不同的产品之间互相干扰比较明显,经过若干个某种产品生产之后,机台参数发生了较大的变化,可能导致下一产品输出收敛速度变慢,波动较大,或者发散。本文以实际生产过程中混合产品少量多样的特点,分别应用基于机台的控制方法和基于产品的控制方法对稳定性进行分析。为了提高过程输出的收敛速度,减少非产品晶圆,降低返工率,文中针对多产品生产中产品切换时制程输出收敛速度过慢的现象,在基于产品指数加权平均移动控制算法的基础上引入了变折扣因子的指数加权平均移动控制算法。变折扣因子的引入提高了制程输出的响应速率,由于变折扣因子最终快速收敛于一固定值,因此该算法仅提高了系统的响应速率而并不影响制程输出的稳定性,在文章最后我们通过对实际过程的模拟仿真来检验该控制算法的可行性和优越性。
【学位授予单位】:华中科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:F224;F407.6

免费申请
【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 盛碧琦;半导体/TFT-LCD制程统计建模与批间控制研究[D];江苏大学;2012年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 崔敬巍;谢里阳;刘晓霞;;一种集成SPC与EPC的过程控制方法[J];东北大学学报(自然科学版);2007年09期
2 叶亮;潘尔顺;奚立峰;;基于鲁棒参数控制方法的可变控制线控制图[J];计算机集成制造系统;2007年04期
3 刘飞;史荣珍;;统计过程监测中低阶EPC控制器分析与设计[J];控制工程;2010年01期
4 陈良;;面向可持续发展的半导体制造的集成产品和过程控制(英文)[J];Chinese Journal of Chemical Engineering;2011年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 ;A Survey of Run-to-Run Control Algorithms for High-mix Semiconductor Manufacturing Processes[A];中国自动化学会控制理论专业委员会D卷[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 盛碧琦;半导体/TFT-LCD制程统计建模与批间控制研究[D];江苏大学;2012年
2 王海宇;过程质量控制的性能评价与改进方法研究[D];西北工业大学;2006年
3 陈从平;芯片封装中时间—压力点胶过程建模、控制与应用研究[D];华中科技大学;2007年
4 叶亮;基于统计回归的复杂制造过程健壮参数控制方法研究[D];上海交通大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 于凌博;关于EWMA反馈控制的几个问题[D];华东师范大学;2006年
2 茹阳子;离散环境下过程控制技术的理论研究与仿真分析[D];南京理工大学;2008年
3 史荣珍;自相关过程的统计监测及控制[D];江南大学;2009年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 胡益;王丽;马贺贺;侍洪波;;基于核PLS方法的非线性过程在线监控[J];化工学报;2011年09期
2 孙承夏;郭禾;;一种有效的遗传算法在重入式生产调度问题中的应用[J];软件;2010年11期
3 许居衍,赵建坤;集成电路产业的竞争战略地位[J];微电子技术;2000年01期
4 王阳元,黄如,刘晓彦,张兴;面向产业需求的21世纪微电子技术的发展(上)[J];物理;2004年06期
5 席裕庚;复杂工业过程的满意控制[J];信息与控制;1995年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 曹桂华;我国集成电路产业自主创新战略研究[D];武汉理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 燕斌;我国集成电路产业发展的现状分析与对策研究[D];天津大学;2004年
2 王雨春;CCA在数字图像处理中的应用研究[D];武汉理工大学;2006年
3 彭倩倩;基于典型相关分析的鉴别特征抽取方法研究[D];扬州大学;2008年
4 张淑宁;湿法冶金铜萃取组分含量软测量方法研究[D];东北大学;2008年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 侯明阳;郑英;艾兵;郑燕;张杰;;基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法[J];控制理论与应用;2009年10期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 郑英;艾兵;郑燕;叶林;;混合产品批间控制的周期重置折扣因子的EWMA算法[A];PCC2009—第20届中国过程控制会议论文集[C];2009年
2 郑英;侯明阳;;混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 盛碧琦;半导体/TFT-LCD制程统计建模与批间控制研究[D];江苏大学;2012年
2 艾兵;采用指数加权平均控制器的半导体生产过程的稳定性与性能分析[D];华中科技大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 侯明阳;基于变权值EWMA的混和产品批间控制方法研究[D];华中科技大学;2008年
中国知网广告投放
相关机构
>江苏大学
>华中科技大学
相关作者
>盛碧琦 >艾兵
>侯明阳
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026