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《武汉理工大学》 2005年
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溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究

葛春桥  
【摘要】:透明导电氧化物薄膜具有高的载流子浓度和较宽的光学能隙,因而表现出优良的光电性能,如低的电阻率和在可见光范围内高的透射率。目前,透明导电氧化物薄膜主要包括SnO_2、In_2O_3、ZnO及上述氧化物的掺杂体系。近年来,ZnO薄膜成为国内外薄膜材料工作者的研究热点之一,有望成为In_2O_3薄膜的最佳替代品:通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能,能应用于许多光电器件,如作为透明导电电极在液晶显示、太阳能电池、热镜和表面声波器件等领域获得广泛的应用。 本文采用溶胶—凝胶方法在载玻片上成功地制备出Al~(3+)掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂,醋酸锌为前驱体,单乙醇胺为稳定剂经反应制得;用浸渍提拉法在基片上涂膜,经烘烤和退火处理形成均匀透明的ZnO薄膜。 采用L9(3~4)正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究,通过极差法确定了在溶胶—凝胶方法制备条件下得到最佳光电性能AZO薄膜的工艺条件为:溶胶浓度1mol/L、掺杂量3at.%、镀膜层数16层、退火温度600℃。采用溶胶-凝胶工艺制备的AZO薄膜在可见光范围内的最高透射率在87%左右,最低电阻率可达3.4×10~(-2)Ω·cm。 利用SEM、分光光度计和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明:掺杂量、退火温度、涂膜层数和溶胶浓度对AZO薄膜光电性能均有不同程度的影响。增加掺杂量和提高退火温度都能降低薄膜的电阻率,但过多的掺杂和过高的退火温度反而会增加电阻率;增加溶胶的浓度和涂膜层数均能增加薄膜的厚度,薄膜厚度的增加会导致薄膜电阻率的降低。增加掺杂量和提高退火温度对薄膜在可见光范围内的平均透射率基本无影响,但能促进薄膜的吸收边“蓝移”;增加溶胶浓度和涂膜层数均降低薄膜在可见光范围内的透射率。薄膜内部呈多孔结构,晶粒大小均匀,且成等轴状。
【学位授予单位】:武汉理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2005
【分类号】:TB383

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【引证文献】
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1 葛春桥;金属氧化物纳米材料的湿法制备及其气敏性能研究[D];华中科技大学;2008年
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1 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
2 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
3 徐海军;二步法制备绒面结构ZAO薄膜及其在非晶硅薄膜太阳电池前电极应用研究[D];景德镇陶瓷学院;2011年
4 何晶晶;绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备与表征[D];苏州大学;2011年
5 陈雯雯;溶胶—凝胶法制备Al掺杂ZnO(AZO)薄膜及其性能研究[D];合肥工业大学;2007年
6 张锋;Sol-Gel法制备ZnO:Al透明导电膜及其光电性能研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
7 付志伟;Sol-Gel法制备ZnO多孔薄膜及其结构和光学性能研究[D];武汉理工大学;2009年
8 谢岩;Sol-Gel法制备AZO薄膜及其性能研究[D];武汉理工大学;2010年
9 秦宗杰;LLDPE/纳米ZnO抗菌复合膜及复合材料的制备与性能研究[D];天津科技大学;2010年
10 周杨;Si的渗透和掺杂对AZO薄膜结构和特性的影响[D];苏州大学;2013年
【参考文献】
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1 王新强,杜国同,姜秀英,王金忠,杨树人;ZnO薄膜的研究进展[J];半导体光电;2000年04期
2 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
3 范志新;透明导电薄膜最佳掺杂含量的理论计算[J];半导体学报;2002年06期
4 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
5 张德恒;透明导电膜中光吸收边的移动[J];半导体杂志;1998年03期
6 王德宪;谈谈溶胶─凝胶浸镀法的基本原理[J];玻璃;1999年03期
7 赵新伟,裴志斌,田长生;用溶胶—凝胶法制备铁电薄膜[J];材料工程;1994年07期
8 赵谢群;透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展[J];电子元件与材料;2000年01期
9 韩雪,夏慧,吴丽君;透明导电膜及靶材[J];电子元件与材料;1998年01期
10 潘建平,彭开萍,陈文哲;溶胶-凝胶法制备薄膜涂层的技术与应用[J];腐蚀与防护;2001年08期
【共引文献】
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1 汪洋;利用铜尾矿烧制水泥熟料的技术研究[J];安徽建筑工业学院学报(自然科学版);1998年01期
2 董苏;蔡云凯;;半导体材料测试技术的现状[J];阳光能源;2009年03期
3 江贵生;先驱体法合成LaPNYT烧成温度的研究[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2000年03期
4 李国强,华慧,介万奇;CdZnTe晶片的红外透过率研究[J];半导体光电;2003年04期
5 孙艳,赵宏,王昭;光纤测厚中光谱“双峰”现象的分析[J];半导体光电;2005年04期
6 周强;季振国;赵丽娜;陈琛;王超;;Cu/Al比对p型透明导电铜铝氧薄膜性能的影响[J];半导体光电;2005年06期
7 谢强;张晓梅;;声光Q开关用1.064μm融石英低损耗增透膜实验研究[J];半导体光电;2006年04期
8 肖功利;杨宏艳;;掺锑二氧化锡薄膜的喷雾热解法制备与热处理[J];半导体光电;2008年03期
9 杨兵初;马学龙;张丽;颜建堂;;p型透明导电Cu-Al-O薄膜的直流共溅射法制备[J];半导体光电;2008年05期
10 吕建国;宋学萍;孙兆奇;;Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌和光学性质[J];半导体光电;2009年01期
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1 周言敏;李建芳;王君;袁勇;梅高国;;宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2 李建芳;周言敏;王君;袁勇;梅高国;;光学薄膜在激光测距望远镜中的应用及设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
3 李珍;陈文;李飞;艾常涛;靳福江;;退火温度对ZnO薄膜结构及光学性能影响[A];中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议论文集[C];2007年
4 李焕勇;庞世红;马静;任淑萍;;铝掺杂量对氧化锌(ZnO:Al)薄膜光电特性影响[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
5 陈静;郭卫;;半导体氧化锌铝(AZO)透明导电薄膜的光电性能[A];电子玻璃技术(2010年第1、2期)[C];2010年
6 姜胜林;王筱珍;张绪礼;;PbTiO_3-Pb(Cd_(4/9)Nb_(2/9)W_(3/9))O_3系高温高频压电陶瓷材料的研制[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
7 董杰;刘敏;赵跃;刘星;刘丹敏;索红莉;周美玲;;MOD工艺在Ag基带上制备YBCO薄膜烧结气氛的探讨[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
8 杜尚丰;陈运法;梁云;;导电氧化锌粉体的掺杂和制备[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 李红霞;刘宏;王继扬;李霞;崔红梅;;氧化物透明导电膜的研究进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
10 马晓波;钟景明;孙本双;陈焕铭;王东新;;高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
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1 李蛟;PEDOT:PSS薄膜的掺杂改性及其在有机太阳能电池中的应用研究[D];中国海洋大学;2010年
2 吴云良;扫描近场光学显微镜若干关键技术研究[D];中国科学技术大学;2010年
3 韩嵘;水泥基压电智能器件特性分析[D];北京交通大学;2010年
4 谭红琳;金属离子掺杂的ZnO第一性原理计算及透明导电薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2009年
5 祝琳华;新型NZP族催化剂载体材料的合成及应用研究[D];昆明理工大学;2010年
6 秦麟卿;含水无机物/热固性树脂复合材料的制备及阻燃性能研究[D];武汉理工大学;2010年
7 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
8 胡薇薇;新型单相多铁材料的合成及其磁电性质研究[D];吉林大学;2011年
9 马铭;超顺磁性氧化铁和LSMO/BCFO复合多铁薄膜的制备及其物性研究[D];华中科技大学;2011年
10 季梅;氧化钆掺杂对氧化铪高K栅介质氧空位抑制作用及电学性能研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
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1 李新义;红壤土壤腐蚀直接、连续监测技术的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
3 张兴来;ZnO薄膜的制备和紫外探测器的研究[D];长春理工大学;2010年
4 耿似玉;用于紫外指纹仪的短波通滤光片的研制[D];长春理工大学;2010年
5 张亚萍;锗单晶片的表面化学腐蚀研究[D];浙江理工大学;2010年
6 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
7 贺明辉;TiO_2、SnO_2复合纳米膜的制备及光生阴极保护性能研究[D];中国海洋大学;2010年
8 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
9 王芳;Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电纳米管的制备与表征[D];湘潭大学;2010年
10 荣英凤;BDT铁电薄膜和ZnO纳米带压电性能的测试与表征[D];湘潭大学;2010年
【同被引文献】
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1 王德禧;聚合物纳米复合材料的最新进展[J];工程塑料应用;2002年11期
2 杨凤霞;刘其丽;毕磊;;纳米氧化锌的应用综述[J];安徽化工;2006年01期
3 杨立荣;刘淑贤;靳正国;;溶胶-凝胶法制备多孔ZnO薄膜及其性能表征[J];兵器材料科学与工程;2006年05期
4 陈晓杰,李爱珍,王嘉宽,胡雨生,汪乐;Al_(0.85)Ga_(0.15)As/GaAs太阳能电池器件工艺优化研究[J];半导体光电;2000年05期
5 韦新颖;祁康成;林祖伦;袁红梅;王小菊;张国宏;;ZAO基底水热法制备ZnO纳米阵列及其形貌特征[J];半导体光电;2010年04期
6 赵谢群,邱向东,林鸿溢;氧化锌薄膜的研究与开发进展[J];半导体技术;1998年06期
7 何晶晶;吴雪梅;诸葛兰剑;葛水兵;;绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜研究进展[J];微纳电子技术;2010年05期
8 吴彬,王万录,廖克俊,张振刚;退火处理对透明导电CdIn_2O_4薄膜光学、电学性质及其能带结构的影响[J];半导体学报;1997年02期
9 傅竹西,林碧霞,郭常新,廖桂红;氧化锌半导体薄膜的发光光谱特性[J];半导体学报;1999年09期
10 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;In_2O_3∶Sn和ZnO∶Al透明导电薄膜的结构及其导电机制[J];半导体学报;2000年04期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 范希梅;氧化锌薄膜的制备及性能研究[D];吉林大学;2005年
2 吕建国;ZnO半导体光电材料的制备及其性能的研究[D];浙江大学;2005年
3 段理;ZnO薄膜的光电性质研究[D];中国科学技术大学;2006年
4 吴兆丰;Co、Cr、Cu、Mn等过渡金属掺杂ZnO薄膜的合成与性能研究[D];苏州大学;2010年
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1 巩锋;溶胶—凝胶法制备Al~(3+):ZnO薄膜及其性能研究[D];北京工业大学;2003年
2 夏志林;电子束蒸发制备AZO薄膜的光电性能研究[D];武汉理工大学;2004年
3 陈健;超声雾化热解法制备ZnO薄膜结构及其性能研究[D];北京工业大学;2004年
4 何振杰;P型透明导电二氧化锡薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2004年
5 李伙全;非掺杂氧化锌的光致发光特性研究[D];苏州大学;2004年
6 周英;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜[D];电子科技大学;2005年
7 秦云;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜及其发光特性研究[D];西北大学;2005年
8 丁书龙;ZnO一维纳米材料的制备[D];湘潭大学;2005年
9 汪冬梅;ZnO薄膜和Al掺杂ZnO(ZAO)薄膜的射频磁控溅射制备及其性能研究[D];合肥工业大学;2006年
10 代红丽;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜的工艺优化及其发光性能研究[D];西北大学;2006年
【二级引证文献】
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1 贾波;苏革;刘天中;曹立新;柳伟;孙武珠;董征;王景;;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能[J];材料导报;2010年S1期
2 魏少红;张有娟;陈静;;一维ZnO基气敏材料研究进展[J];电子元件与材料;2013年03期
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1 闫爱华;水热法制备微/纳米结构WO_3及其气敏与光电性能的研究[D];华中科技大学;2011年
2 牟书香;聚酰亚胺表面功能化复合材料的制备及结构与性能研究[D];北京化工大学;2010年
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1 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
2 汪正军;锡酸盐微/纳米材料的结构调控与气敏性能研究[D];上海师范大学;2011年
3 谢玲;聚酰亚胺基纳米复合材料的制备及其性能研究[D];中南大学;2011年
4 王娟;掺杂型ZnO光电功能薄膜的制备及机理的研究[D];河北理工大学;2010年
5 王飞;AZO透明导电薄膜的制备和等离子体表面处理[D];苏州大学;2012年
6 黄稳;磁控溅射法制备Al掺杂ZnO(AZO)薄膜工艺及其电性能研究[D];西南交通大学;2012年
7 包媛;Sol-Gel法制备ZAO薄膜及其性能研究[D];辽宁大学;2012年
8 刘彬;应用于太阳能电池的新型氧化物透明导电薄膜的研究[D];浙江工业大学;2012年
9 谌夏;Sn掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与性能研究[D];重庆理工大学;2012年
10 侯斐;钨铼热电偶高温抗氧化涂层研究[D];华中科技大学;2012年
【二级参考文献】
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1 宿昌厚,庞大文,张治国;SnO_2/ITO复合透明导电膜研究[J];半导体学报;1991年11期
2 毛祥军,杨志坚,李景,屈建勤,张国义;用MOCVD在ZnO/Al_2O_3衬底上生长GaN及其特性[J];半导体学报;1999年08期
3 林元华,张中太,袁方利,李晋林;ZnO导电陶瓷的制备及其性能表征[J];半导体学报;1999年10期
4 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;In_2O_3∶Sn和ZnO∶Al透明导电薄膜的结构及其导电机制[J];半导体学报;2000年04期
5 王玉霞,温军,郭震,汤洪高,黄继颇,王连卫,林成鲁;在Si(111)上脉冲ArF准分子激光淀积晶态定向α-SiC薄膜[J];半导体学报;2000年06期
6 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
7 杨莺歌,马洪磊,薛成山,庄惠照,郝晓涛,马瑾;溅射后退火反应法制备GaN薄膜的结构与发光性质[J];半导体学报;2003年04期
8 赵俊卿,马瑾,李淑英,马洪磊;有机薄膜衬底ITO透明导电膜的结构和光电特性[J];半导体学报;1998年10期
9 张昊翔,叶志镇,卢焕明,赵炳辉,阙端麟;硅基GaN薄膜的外延生长[J];半导体学报;1999年02期
10 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
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1 ;专利信息[J];中国钼业;2005年01期
2 杨伟锋;刘著光;张峰;黄火林;吴正云;;RF磁控溅射制备AZO透明导电薄膜及其性能(英文)[J];半导体学报;2008年12期
3 黄剑锋,曹丽云;Sol-Gel法制备SnO_2透明导电薄膜[J];西北轻工业学院学报;2000年04期
4 张化福;袁玉珍;刘云燕;;柔性透明导电薄膜ZAO[J];液晶与显示;2008年04期
5 林毅;宋鹂;陈奇;陆剑英;李会平;;有机-无机透明导电薄膜的研究进展[J];材料导报;2005年11期
6 张化福;袁玉珍;刘汉法;刘云燕;;掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展[J];半导体技术;2008年06期
7 王东;张景文;种景;王建功;侯洵;;非晶IGZO透明导电薄膜的L-MBE制备[J];微电子学与计算机;2009年06期
8 宋志刚,李长江;铟锡氧化物透明导电簿膜的化学喷雾淀积法[J];北京化工大学学报(自然科学版);1990年01期
9 刘汉法;张化福;类成新;袁玉珍;袁长坤;;利用射频磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO:Zr透明导电薄膜(英文)[J];液晶与显示;2009年02期
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1 王杰;梁明会;邱腾飞;方岩;罗彬;王斌;张锦;智林杰;;柔性基底上直接制备石墨烯透明导电薄膜的研究[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
2 方昭訓;駱煒翔;徐嘉禧;楊仁傑;蔡定侃;;化学溶液法制备ZnMno透明导电薄膜之特性[A];中国颗粒学会第七届学术年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集[C];2010年
3 王明松;;Al掺杂ZnO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
4 滕繁;刘涌;宋晨路;韩高荣;;新型TiO_2基透明导电薄膜研究进展[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
5 刘锴;冯辰;刘亮;张玉莹;孙颖慧;李群庆;范守善;姜开利;;超顺排碳纳米管透明导电薄膜及其在触摸屏面板上的应用[A];第二届中国科学院博士后学术年会暨高新技术前沿与发展学术会议程序册[C];2010年
6 战可涛;曾凡强;;铝镧共掺ZnO透明导电薄膜的微观结构和光电性能研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
7 陈建毅;黄丽平;张宏亮;魏大程;于贵;刘云圻;;基于大尺寸氧化石墨烯组装自支撑透明导电薄膜[A];全国第八届有机固体电子过程暨华人有机光电功能材料学术讨论会摘要集[C];2010年
8 王颖华;张群;李桂锋;;P型掺锌硫化铜铝透明导电薄膜的制备和性能研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
9 张晓锋;颜悦;望咏林;温培刚;伍建华;;透明导电银合金薄膜抗湿热氧化性研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
10 陈静;郭卫;;半导体氧化锌铝(AZO)透明导电薄膜的光电性能[A];电子玻璃技术(2010年第1、2期)[C];2010年
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1 肖化;帝人化学进军电子纸张市场[N];中国化工报;2010年
2 记者 徐德昭 实习生 张晓茵;东莞两企业中标“粤港”项目[N];东莞日报;2009年
3 中色(宁夏)东方集团有限公司 张红梅 孙本双 刘孝宁;ITO靶材向大尺寸高密度方向发展[N];中国电子报;2009年
4 吴勇 瞿金霞 吴高毅;正泰太阳能二代薄膜实现量产[N];温州日报;2009年
5 记者 江怡曼;金路集团:1500万元投石问路 或成石墨烯概念新龙头[N];第一财经日报;2011年
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1 宋春燕;新型无铟透明导电薄膜的设计研制及其应用[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
2 黄延伟;新型SnO_2基透明导电薄膜及其二极管的研究[D];复旦大学;2010年
3 韦莉;有机—无机杂化透明导电薄膜的制备及性能研究[D];华东理工大学;2010年
4 赵金博;Al掺杂ZnO透明导电薄膜的液相法制备及其光电性能研究[D];山东大学;2011年
5 王晓晶;柔性基ZnO:Al透明导电薄膜材料的制备与性能研究[D];华中科技大学;2011年
6 李钢贤(Ri Kang Hyon);AZO透明导电薄膜载流子输运机制及特性研究[D];华中科技大学;2011年
7 李保家;FTO透明导电薄膜表面处理及其复合膜的研究[D];江苏大学;2012年
8 王延峰;可高效利用太阳光谱的ZnO透明导电薄膜研究[D];南开大学;2013年
9 吕茂水;溅射法制备掺锆氧化锌透明导电薄膜与薄膜特性研究[D];山东大学;2007年
10 吴炳俊;自由基辅助磁控溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜的研究[D];中国科学技术大学;2010年
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1 韩林兵;ZnO@SnO_2包覆结构透明导电薄膜的制备及其发光性能研究[D];西北大学;2010年
2 蒋志昂;磁控溅射制备ZnO透明导电薄膜的研究[D];兰州大学;2010年
3 谢存存;石墨烯的液相制备及其透明导电薄膜的研究[D];南京理工大学;2010年
4 龙涛;ZAO透明导电薄膜的制备与性能[D];西南交通大学;2004年
5 孙惠娜;溶胶—凝胶法制备ZnO:Sn(TZO)透明导电薄膜及其性能研究[D];兰州大学;2010年
6 葛春桥;溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究[D];武汉理工大学;2005年
7 辛艳青;氧化锌掺钇透明导电膜的制备及特性研究[D];山东大学;2010年
8 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
9 徐艺滨;ZnO:Al薄膜的制备与特性研究[D];大连理工大学;2006年
10 周科;Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与光电性能研究[D];重庆大学;2010年
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