收藏本站
《湘潭大学》 2010年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

功能陶瓷精密CMP抛光工艺参数决策优化的研究

易鑫  
【摘要】: 随着我国超精密加工水平的迅速发展,功能陶瓷在微电子、信息等领域应用开发正不断深入。但与国外超精密加工相比,在加工精度、加工效率等方面国内还存在较大差距。化学机械抛光(Chemical-mechanical polishing,CMP)作为超精密加工的主要手段,由于在抛光过程中人为因素影响极大,导致抛光效率低、质量稳定性差、加工成本高。如何以科学决策优化手段来降低人为因素的影响是CMP领域的一项重要课题。因此,迫切需要深入研究功能陶瓷精密CMP抛光工艺参数优化技术以构建功能陶瓷精密CMP抛光的有效工艺参数决策支持平台。本文综合利用正交试验、田口法、BP神经网络、实例推理+BP神经网络的混合推理和数据库技术等实验和理论方法,探索了CMP抛光工艺参数优化、表面粗糙度预测以及工艺参数决策等技术,具体研究工作如下: 1)利用正交试验和田口法,以表面粗糙度为评价条件,探寻抛光速度、抛光压力和抛光液浓度与表面粗糙度的关系,在此基础上,对功能陶瓷精密CMP平面抛光工艺参数进行优化,获得最优的工艺参数组合,实现工艺参数的优化; 2)利用BP神经网络,以抛光速度、抛光压力和抛光液浓度为输入,表面粗糙度为输出,建立了模拟功能陶瓷精密CMP平面抛光过程的映射模型,利用1)所获得的实验数据训练预测模型,完成了碳化硅功能陶瓷精密CMP平面抛光映射模型的建立,实现了抛光表面粗糙度的有效预测; 3)在1)、2)的基础之上,利用实例推理+BP神经网络的混合推理技术,建立功能陶瓷精密CMP平面抛光决策模型,为功能陶瓷精密CMP平面抛光工艺参数决策提供了科学依据; 4)利用Access,参考相关工艺手册、工程人员的经验及实验数据等建立了功能陶瓷精密CMP平面抛光工艺参数数据库; 5)基于上述工作的基础之上,利用PowerBuilder开发出功能陶瓷精密CMP平面抛光工艺参数的优化支持系统,能够实现功能陶瓷精密CMP平面抛光的工艺参数优化、表面粗糙度预测、和工艺参数决策,实验与预测结果吻合较好。 综上,本文的研究为改变功能陶瓷CMP抛光中工艺参数凭经验选择的滞后现状提供了科学解决方案,为提升我国CMP抛光工艺整体水平奠定了理论基础。
【学位授予单位】:湘潭大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TG580.692

【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈岩;;“2011年国际锆业大会”5月17日在包头召开[J];钛工业进展;2011年03期
2 ;《硅酸盐通报》征稿简则[J];硅酸盐通报;2011年04期
3 廖立兵;;我国矿物功能材料研究的新进展[J];硅酸盐学报;2011年09期
4 ;《现代技术陶瓷》征稿简则[J];现代技术陶瓷;2011年02期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孟庆森;陈少平;;功能陶瓷(玻璃)与金属场致扩散连接技术在MEMS中的应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
2 祝朝晖;张宝生;夏志华;康志军;甘长炎;白淑珍;;离心自蔓燃制取功能陶瓷衬管[A];中国有色金属学会第三届学术会议论文集——科学技术论文部分[C];1997年
3 袁巨龙;吕冰海;常敏;;功能陶瓷超精密加工技术的现状与发展[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
4 杨辉;张启龙;;湿化学法制备纳米信息功能陶瓷研究进展[A];全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集[C];2004年
5 曹非;刘志勇;;环连接CMP的缓存一致性协议[A];第15届全国信息存储技术学术会议论文集[C];2008年
6 张令达;黄惠明;徐群英;陈道高;;功能陶瓷水壶中饮用水动物实验报告摘要[A];中国营养学会第八次全国营养学术会议论文摘要汇编[C];2000年
7 刘平;戴文新;邵宇;林华香;郑华荣;付贤智;;光催化功能陶瓷及其环保作用研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
8 魏坤;贺伦燕;;稀土元素在功能陶瓷中的应用[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
9 付应泉;秦会斌;唐长红;袁万宗;黄富钊;王豪才;;La、Nb改性PZT95/5功能陶瓷的SEM分析[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
10 徐国跃;;功能陶瓷敏感电阻“基因”现象及其物理效应[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 金戈 通讯员 张勇;功能陶瓷研究所正式挂牌成立[N];广东建设报;2009年
2 王焱 谢斐;环球资源与CMP合作拓宽服务领域[N];厂长经理日报;2000年
3 伍明辉;自燃烧制备复合氧化物功能陶瓷技术[N];广东建设报;2006年
4 ;田广珍多功能陶瓷绘画颜料获专利[N];唐山劳动日报;2007年
5 潘杰;山东博山塑造“当代陶瓷国窑”品牌形象[N];中国建材报;2008年
6 本报记者  林繁晶 张敏 邓卫华;我国特种陶瓷市场需求巨大[N];经济参考报;2006年
7 本报记者 裴玥;陶瓷玻璃企业产业升级忙[N];国际商报;2008年
8 柴昕柴晓 魏敬敬;华光争艳43届国际陶艺大会[N];淄博日报;2008年
9 冯新柱 杨忠武;加速把耀瓷文化和陶土资源打造成支柱产业[N];铜川日报;2007年
10 廖国良张雪 杨颖;三大变化看景瓷:将创意注入古老产业[N];经济日报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 蒋建忠;芯片化学机械抛光过程中材料吸附去除机理的研究[D];江南大学;2009年
2 陈杨;核壳结构SiO_2/CeO_2、PS/CeO_2复合微球的可控合成及其CMP性能研究[D];江苏大学;2012年
3 苏皓;高温稳定型(125℃、150℃、190℃)高介BaTiO_3系统陶瓷介质材料研究[D];天津大学;2007年
4 王彩玲;300mm硅片化学机械抛光设备及其关键技术研究[D];大连理工大学;2010年
5 孙禹辉;硅片化学机械抛光中材料去除非均匀性研究[D];大连理工大学;2011年
6 陈永恒;基于CMP的高性能数据库查询优化算法的研究[D];吉林大学;2012年
7 陈敏;稀土掺杂的钛酸铋铁电材料的研究[D];华中科技大学;2004年
8 余剑峰;新型化学机械抛光垫和抛光液的研究[D];华南理工大学;2010年
9 李统业;稀土氧化物基功能陶瓷的非线性电学行为研究[D];西南交通大学;2009年
10 冯春阳;纳米集成电路化学机械抛光工艺建模与仿真及可制造性设计技术研究[D];复旦大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 易鑫;功能陶瓷精密CMP抛光工艺参数决策优化的研究[D];湘潭大学;2010年
2 吴健;蓝宝石CMP加工机理与工艺技术的研究[D];浙江工业大学;2012年
3 蒋立文;基于铜薄膜的CMP微观去除机理试验研究[D];太原科技大学;2012年
4 姜霖;化学机械研磨(CMP)对电特性影响的分析与优化[D];复旦大学;2011年
5 张涛峰;ZnO光电功能薄膜材料的CMP研究[D];天津理工大学;2012年
6 张仰辉;VLSI后端设计中针对CMP平坦度的DFM[D];大连理工大学;2010年
7 蔡政;功能陶瓷BaTiO_3制备、表征与铁电、介电性能研究[D];南京师范大学;2002年
8 张振;基于3D-MESH的CMP片上网络映射方法研究[D];广东工业大学;2012年
9 欧阳伟;功能陶瓷低电压电磁压制及制品性能的实验研究[D];武汉理工大学;2005年
10 董仁举;基于CMP集群的并行编程模型的研究与应用[D];曲阜师范大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026