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《湘潭大学》 2006年
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用纳米压痕法表征电沉积镍镀层薄膜的残余应力

章莎  
【摘要】: 随着科学技术的发展,电镀镍产品应用领域不断扩展。人们对电镀层的使用范围和需求量日益扩大,对镀层性能的研究成为一个重要的研究课题。镀层中残余应力的存在是相当普遍的现象,它对镀层的质量与性能有很大影响,因此研究电沉积镍镀层中的残余应力是非常有必要的。纳米压痕技术由于其极高的力分辨率和位移分辨率,能连续记录加载和卸载期间载荷与位移的变化,从而特别适合于薄膜材料力学性能的研究,本文即采用纳米压痕法来表征电沉积镍镀层薄膜的残余应力。 本文的研究工作分为两个部分。在第一部分工作中,我们采用现在已有的纳米压痕法测量残余应力的理论模型对电沉积镍镀层中的残余应力进行了测量。在第二部分工作中,我们提出了一个用纳米压痕法测量电沉积镍镀层的理论模型。 本文首先介绍了本课题的相关研究背景和研究现状,对残余应力的测量方法进行了总结,叙述了我们选取本课题的依据。紧接着对电沉积原理和纳米压痕法测量力学性能的原理进行了叙述。然后详细介绍了目前已有的纳米压痕法测量残余应力的理论模型以及它们之间的联系,通过压痕实验得到的结果,计算得到五种电沉积镍镀层薄膜的残余应力,并将结果与X射线衍射法的测量结果进行了比较分析,发现将压痕深度选在薄膜/基底界面处得到的实验结果比较准确。本文的另一主要工作是根据已有的基底对压痕实验硬度测量的影响公式,结合量纲分析,提出了一个新的用纳米压痕法测量电沉积镍镀层薄膜残余应力的理论模型。
【学位授予单位】:湘潭大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2006
【分类号】:TB383.2

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【引证文献】
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【同被引文献】
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