收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

西门子法四氯化硅尾气处理新工艺的探索研究

龙桂花  
【摘要】: 目前国内高纯硅的生产方法主要为西门子法,四氯化硅作为西门子法中产量最大的副产物,是一种具有强腐蚀性的毒害物质。目前,国内生产1t多晶硅约副产8t~10t四氯化硅。国内多晶硅企业因未完全掌握四氯化硅氢化技术,难以将其返回流程循环利用,多采用向工厂四周空地甚至河流倾倒的办法,严重污染了环境。近年国内多晶硅产业迅速扩大,四氯化硅副产物的无害化处理将成为国内多晶硅产业发展的瓶颈。在此背景下,我们对锌还原四氯化硅制备多晶硅的工艺进行了探索性研究,分别以锌粒与精镏锌锭为原料研究了各工艺因素,即恒温反应温度、恒温反应时间、氮气流量对硅产物宏观形貌及料舟内硅产物收率的影响,并用SEM分析了硅产物的形貌。主要内容如下: (1)实验条件为:恒温反应温度范围为750℃~1050℃、石英料舟中心距左端炉口距离范围为5cm~15cm、氮气流量范围为0.03~0.061/min、恒温反应时间范围为0.5h~3.0h、SiCl_4加热温度为50℃。 (2)实验研究表明以锌粒与精镏锌锭为原料所得硅产物的宏观形貌大致都呈现颗粒状、针状与扭曲形不规则棒状三种形貌,并有壳状物形成。 (3)工艺因素实验研究表明反应温度和恒温反应时间对硅产物形貌的影响较大,氮气流量对产物形貌的影响不明显;各因素对料舟内硅产物收率的影响,多呈现出先缓慢增长而后下降的趋势。以精镏锌锭为原料时,料舟内硅产物的收率比以锌粒为原料时高。 (4)硅产物SEM形貌较丰富:颗粒状硅由许多形状不规则的多面体交叉层叠而成,空隙处分布有许多球形小颗粒;针状硅呈现出圆柱形、千层石形、夹层三种SEM形貌;扭曲形不规则棒状硅呈现出松果、圆柱形等四种SEM形貌。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;回收四氯化硅化解多晶硅产业瓶颈[J];中国粉体工业;2007年06期
2 张殿松;;多晶硅生产中四氯化硅过剩问题的综合解决方案思考[J];精细与专用化学品;2008年18期
3 吴海贤;吴涛;邓科;;警惕繁荣之下的暗流——多晶硅产业发展的危机、机遇和环境治理[J];环境保护;2010年03期
4 王跃林;;多晶硅副产物四氯化硅的综合利用技术[J];精细与专用化学品;2009年02期
5 唐玉泉;李光茜;董涛;;简谈多晶硅副产物四氯化硅的利用途径[J];低温与特气;2010年04期
6 宋宝东;刘本旭;;三氯氢硅生产过程的优化[J];中国氯碱;2011年03期
7 冉祎;兰天石;覃攀;戴晓雁;印永祥;;等离子体还原SiCl_4一步法制备多晶硅实验研究[J];人工晶体学报;2007年04期
8 黄志军;覃攀;吴青友;李育亮;王子松;尚书勇;戴晓雁;印永祥;;氢热等离子体还原四氯化硅制备三氯氢硅的能耗分析[J];硅酸盐学报;2011年05期
9 ;科技简讯[J];无机盐工业;2008年03期
10 周鸿军;陈鸣波;;锌还原四氯化硅的产业化应用研究进展[J];新材料产业;2009年08期
11 陈平;;警惕太阳能发电污染[J];中国报道;2010年09期
12 ;六九硅业采用新硅烷法生产多晶硅起步顺利 我国多晶硅生产工艺有了革命性进步[J];有机硅氟资讯;2009年Z2期
13 蒋荣华;邓良平;冯地直;肖顺珍;汪光裕;;国内外硅材料的最新发展[J];新材料产业;2007年10期
14 ;我国多晶硅生产工艺有了革命性进步[J];有机硅氟资讯;2009年Z2期
15 周红卫;;发展多晶硅产业 节能减排是核心[J];中国有色金属;2010年11期
16 ;专家提出四氯化硅利用新思路[J];河南化工;2008年05期
17 ;专家提出四氯化硅利用新思路[J];有机硅氟资讯;2008年07期
18 ;四氯化硅综合利用是出路[J];化工经济技术信息;2008年05期
19 ;专家提出四氯化硅利用新思路[J];有机硅氟资讯;2008年06期
20 张忠辉;;四川加速发展硅产业[J];中国有色金属;2009年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 郭劲言;刘雯;马秋平;孟庆森;杨国鑫;;多晶硅副产物四氯化硅的低耗能回收技术研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
2 王堃;郑学晶;秦树法;刘捷;汤克勇;;紫外照射对皮胶原性能的影响[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2009年
3 吕林女;赵晓刚;何永佳;胡曙光;;钙硅比对水化硅酸钙形貌和结构的影响[A];中国硅酸盐学会水泥分会首届学术年会论文集[C];2009年
4 张国防;王培铭;;羟乙基甲基纤维素影响水泥浆体微观结构的研究[A];第三届全国商品砂浆学术交流会论文集[C];2009年
5 张红斌;吴鹏生;李丽霜;胡荣;;17-4PH钢中ε-Cu相的形貌及其与位错的交互作用[A];2001中国钢铁年会论文集(下卷)[C];2001年
6 李东平;刘波;;三盐基硫酸铅超细粉的制备及表征[A];纳米材料与技术应用进展——第四届全国纳米材料会议论文集[C];2005年
7 曾雄辉;王立铎;乔娟;董桂芳;邱勇;;物理气相传输法生长并五苯单晶的形貌表征和生长模式研究[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(下册)[C];2006年
8 韩银凤;王明珍;马向荣;刘宗怀;;柠檬酸三钠用量对高结晶性Ni~(2+)-Fe~(3+)LDHs形貌的影响[A];中国化学会第26届学术年会纳米化学分会场论文集[C];2008年
9 韩杰;郭荣;;制备形貌可控的聚合物基金纳米粒子的新方法:活性模板法[A];中国化学会第26届学术年会胶体与界面化学分会场论文集[C];2008年
10 陈连生;王永强;李娜;王涛;;蓄热式加热炉中20CrMo钢氧化铁皮研究[A];2008年河北省轧钢技术与学术年会论文集(上)[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 梁晓东;扩散机制下的异质外延薄膜和弹性导电体的形态失稳及演化[D];中国科学技术大学;2010年
2 施长治;多晶硅纳米薄膜在压阻传感器应用中的关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
3 张春雪;静电纺丝制备聚乙烯醇超细纤维膜及其负载药物的研究[D];天津大学;2004年
4 周建萍;四脚状氧化锌晶须制备及其应用研究[D];中南大学;2005年
5 张晓飞;液相基底表面纳米尺度金属原子岛的结构及生长机理研究[D];浙江大学;2012年
6 全书海;基于表面灰度图像的加工表面形貌分形特征研究[D];武汉理工大学;2003年
7 陈松;湿法制备单分散Co_3O_4粉末的形貌和粒度控制研究[D];中南大学;2003年
8 张贺;介孔氧化硅材料的合成及其在生物分子吸附中的应用[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2007年
9 揣荣岩;多晶硅纳米薄膜压阻机理与特性的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
10 张竞超;稀土硼/钼/钨酸盐的合成及其荧光性质的研究[D];吉林大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 龙桂花;西门子法四氯化硅尾气处理新工艺的探索研究[D];中南大学;2009年
2 王楠;由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积及发射光谱诊断[D];大连理工大学;2009年
3 毛文行;多晶硅锭中硬质夹杂性质与形成机理研究[D];南昌大学;2007年
4 张康乐;一种多晶硅还原炉自动调功器硬件系统设计与实现[D];电子科技大学;2009年
5 廖勇明;基于多晶硅的红外阵列研制及集成设计[D];四川大学;2005年
6 勾宪芳;多晶硅太阳电池中氧碳行为和氮化硅的钝化及减反射的研究[D];河北工业大学;2006年
7 程小强;多晶硅源漏SiC N-MOSFET关键技术研究[D];西安电子科技大学;2007年
8 张伟娜;冶金多晶硅的电学性能研究[D];大连理工大学;2008年
9 郭贝;太阳电池上氮化硅减反射膜性能的研究[D];河北工业大学;2008年
10 耿青涛;高温压力传感器的研制与计算机模拟[D];河北工业大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 王莉;青海积极推进千吨级多晶硅产业化[N];中国国土资源报;2009年
2 本报记者 李松战;多晶硅生产迈向“闭路循环”时代[N];洛阳日报;2009年
3 ;广州吉必盛科技实业有限公司董事长王跃林 减少副产物是多晶硅产业必然要求[N];中国电子报;2009年
4 王新;多晶硅副产利用瓶颈告破[N];中国高新技术产业导报;2009年
5 CUBN记者 罗丽娟;清洁能源:你清洁了谁![N];中国联合商报;2010年
6 记者 危丽琼;用好四氯化硅是多晶硅产业出路[N];中国化工报;2010年
7 本报记者 诸玲珍;多晶硅业:挤出泡沫 主动突围[N];中国电子报;2009年
8 本报记者 冯晓伟;多晶硅:副产物处理多元化新工艺参与竞争[N];中国电子报;2010年
9 王俞德;天威四川建成3000吨级多晶硅项目[N];中国化工报;2009年
10 本报记者 诸玲珍 冯晓伟;多晶硅:加强合作 实现副产物综合利用[N];中国电子报;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978