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《中南林业科技大学》 2010年
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过氧化物体系可循环再生型微蚀液的研究

杨焰  
【摘要】:在印制板生产中,微蚀是重要的前处理工序,其作用是在铜层表面形成微观粗糙的表面,以增加与镀层的结合力。微蚀废液的污染指数很高,必须对其中有用的铜离子进行回收,并对微蚀废液进行再生处理,实现微蚀液的自身循环。 本论文对两种典型的过氧化物体系微蚀液的微蚀性能及再生循环工艺进行了系统的研究。 微蚀阶段通过静态腐蚀速率测定法,对过硫酸钠/硫酸体系的微蚀工艺条件进行了研究。实验结果表明最佳的微蚀条件为:温度26-32℃,铜离子浓度9-15g/L,过硫酸钠浓度75-125g/L,硫酸的体积分数2-4%,该条件下微蚀速率为0.5μm/min,过程稳定可控。SEM图显示其微蚀表面的微蚀程度大,微蚀效果明显。 对过氧化氢/硫酸体系同样采用静态腐蚀速率测定法对其微蚀工艺条件进行了研究。实验结果表明最佳的微蚀条件为:过氧化氢浓度30-40 g/L,铜离子浓度25 g/L左右,硫酸质量浓度70-90g/L,微蚀温度30-35℃。在该条件下微蚀过程稳定可控。SEM图显示其微蚀表面光滑,粗糙度较均一。 先采用电沉积方法对微蚀废液中的铜离子进行选择性回收,回收铜的最佳工艺条件为:电解时间2h,铜离子浓度18-26g/L,温度30-40℃,电流密度2.4-3.0A/dm2。在该工艺条件下阴极区产铜的形态主要以板状为主,电流效率最高达到96%。 除铜后过氧化氢体系废液经组分调整可实现循环使用,对过硫酸钠体系先结晶分离硫酸钠,后对组分进行调整也同样可以实现循环。应用性能检测表明,两体系微蚀废液循环再生后微蚀性能均达到了正常生产要求,实现了微蚀液的循环再生和该工序废液的“零排放”,达到了清洁生产的目的,对保护环境和节约资源具有重要现实意义。
【学位授予单位】:中南林业科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TN41

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