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《四川大学》 2003年
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透射光谱法测量薄膜参数的研究

刘细成  
【摘要】: 如何精确地测定薄膜的参数,一直是薄膜工作者非常关注的课题。在众多测量薄膜参数的方法中,透射光谱法备受人们的推崇。这主要是因为该方法具有测试简单、操作方便、测试范围广及精度高等诸多优点。然而制约该方法应用的瓶颈仍然是很难根据所测的光学量来直接求解薄膜的参数和令人头疼的解的多值性问题。 本论文就透射光谱法测量薄膜的参数进行了较为详细、系统地研究。用极其简单的形式给出了经电磁理论严格推导出来的透射率公式,该公式包含了影响透射光谱的大部分薄膜和基底的参数。提出了一种用透射光谱和模拟退火算法一次性同时确定薄膜多个参数的新方法,该方法是根据所测的光谱数据,通过解联立方程组来反演计算出薄膜参数的。一方面,它很好地解决了解的多值性问题;另一方面,它不依赖于干涉条纹及透明区的存在,可以利用所有的光谱测量数据,因而适合于处理各种不同的透射光谱。文中结合实例阐述了该方法在透明薄膜和吸收薄膜测量中的应用及其应注意的问题,无论是计算模拟还是实际测量都取得了满意的结果。根据模拟退火算法编制的一系列计算软件能在大面积内快速搜索,无须给定初始值,只要给定收敛区间,就能对可疑的点进行逐次逼近,直至搜索到一组最佳的薄膜参数值。该系列计算软件具有计算收敛速度快,收敛性好,精度高等特点。这就为在对待测薄膜了解不多的情况下求解溥膜的参数提供了可靠有力的计算工具,从而避免了因初始值设置不当而导致计算结果收敛性差或根本搜索不到真正的薄膜参数值等问题。文中最后还对测试过程中的随机误差进行了分析,通过计算模拟说明了随机误差对薄膜参数的求解精度影响很小。
【学位授予单位】:四川大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:O484.4

【引证文献】
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【参考文献】
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【共引文献】
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8 康忠健;徐丽;勾松波;金华蓉;李瑞生;;考虑分布电容的神经网络单相接地故障测距算法[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
9 姜封国;;基于小生境技术的混合遗传算法[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年
10 刘桂臣;蒋白懿;代进;;基于遗传算法城市供水系统优化调度研究[A];科学发展与社会责任(A卷)——第五届沈阳科学学术年会文集[C];2008年
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3 吴香庭;基于遗传算法的K-means聚类方法的研究[D];山东科技大学;2010年
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【同被引文献】
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【二级引证文献】
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