收藏本站
《重庆大学》 2017年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微梁动力学特性的尺寸效应研究

谢新吉  
【摘要】:微机电系统以其微型化、集成度高和产量高等优势成为未来发展的主导产业之一。微梁作为微机电系统最常见的结构之一,对其力学性能的探究是提升微机电系统各项指标的基石。不少实验证实采用经典弹性力学分析微结构力学性能存在明显的尺寸效应,建立适用微尺寸结构的理论模型成为必然趋势。广义弹性力学计及了连续的旋转变形及相应的偶应力,完善了变形的度量,适用于分析微结构的力学性能尺寸效应。从虚功原理建立广义弹性体的有限元动力学方程,对悬臂微梁和两端固支微梁的固有频率和模态进行数值分析,结果表明微梁的固有频率是否存在尺寸效应与对应的模态有关。微梁的弯曲和扭转模态由于包含了旋转变形,对应的固有频率较之经典弹性力学有显著提高,而拉压模态不涉及旋转变形,其固有频率没有明显变化。微梁固有频率的尺寸效应也与约束相关,两端固支微梁的固有频率尺寸效应明显低于悬臂微梁,约束的强弱将影响旋转变形的效应。从静止到运动一直是科学发展必须跨越的阶梯。微机电系统的旋转结构常常保持高速旋转,对这种高速运动与变形耦合是否存在尺寸效应的研究具有重大意义。基于广义弹性力学,建立离心环境下广义弹动力学模型,对定轴旋转梁的动力学特性分析。结果表明,旋转梁的固有频率将随转速的改变而变化,且与旋转姿态相关。旋转微梁的固有频率同样具有显著的尺寸效应,但其随转速的变化趋势与宏观尺寸旋转梁保持一致。
【学位授予单位】:重庆大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2017
【分类号】:O343

【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢国章;微机电系统传感器的制造和应用[J];世界科技研究与发展;2001年03期
2 张栋;;对微机电系统发展趋势和面临挑战的思考[J];科技情报开发与经济;2006年24期
3 刘晓明;刘民岷;徐尚龙;杨平;;微机电系统课程的实践教学与方法研究[J];实验科学与技术;2008年01期
4 龙芋宏;;《微机电系统》课程教学方法的探讨[J];科技信息;2010年05期
5 唐沈;世界微机电系统市场与技术概况[J];全球科技经济瞭望;1996年07期
6 谭茀娃,金如麟;展望21世纪微机电系统的发展[J];自然杂志;1999年02期
7 顾宁;生物微机电系统研究进展[J];航天医学与医学工程;2001年03期
8 张涛;冷长林;钟莹;张国雄;;基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术[J];光学学报;2007年01期
9 仲晶;微机电系统在军事上的应用[J];百科知识;1998年07期
10 郭彤;胡春光;陈津平;傅星;胡小唐;;垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸表征[J];光学学报;2007年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 吴群;;微机电系统应用技术新进展[A];2001年全国微波毫米波会议论文集[C];2001年
2 贾继伟;金延中;张凤翠;;浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用[A];十三省区市机械工程学会第五届科技论坛论文集[C];2009年
3 王立鼎;;微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
4 钱林茂;;微机电系统的关键摩擦学问题研究进展[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
5 周良强;陈芳启;;外激励和非线性参数激励下微机电系统中微型悬臂梁模型的全局分叉与混沌[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文摘要集[C];2007年
6 周良强;陈芳启;;外激励和非线性参数激励下微机电系统中微型悬臂梁模型的全局分叉与混沌[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年
7 方文啸;黄钦文;刘欣;;微机电系统中的粗糙面效应[A];2010第十五届可靠性学术年会论文集[C];2010年
8 孙道恒;王明亮;郑剑铭;张玉德;;微机电系统(MEMS)的研究进展[A];福建省科协第三届学术年会装备制造业专题学术年会论文集[C];2003年
9 郭增军;米淑静;;微机电系统(MEMS)与计量[A];企业计量测试与质量管理——中国科协2005年学术年会论文集[C];2005年
10 徐军民;王瑞金;杨娅君;;用于微机电系统磁流体压力微传感器的实验研究[A];第二届长三角地区传感技术学术交流会论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2 郑明;开拓微机电系统与纳米技术学科[N];科技日报;2007年
3 罗清岳;微机电系统发展加快可弯曲显示器技术[N];电子资讯时报;2006年
4 刘恕;微机电系统:从能看到能用[N];科技日报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘芳;微机电系统可靠性关键问题研究[D];中国科学技术大学;2009年
2 冷长林;基于激光多普勒技术的微机电系统运动检测[D];天津大学;2007年
3 钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
4 詹春晓;含固支端梁的理论分析[D];合肥工业大学;2017年
5 赵孟;微细铣削尺寸效应基础研究[D];南京航空航天大学;2014年
6 朱艳;介观尺度下Sn/Cu焊点的界面扩散及尺寸效应[D];哈尔滨理工大学;2016年
7 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
8 郭彤;基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究[D];天津大学;2004年
9 王炳雷;微结构尺寸效应研究及其应用[D];山东大学;2011年
10 赵俊峰;微构件的尺寸效应及数值方法研究[D];山东大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 谢新吉;微梁动力学特性的尺寸效应研究[D];重庆大学;2017年
2 孙晓勇;含孔微器件孔边力学特性研究[D];重庆大学;2017年
3 廖国勇;复合材料弹性参数相关性及其对可靠性影响研究[D];国防科学技术大学;2016年
4 张涛;激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计[D];天津大学;2007年
5 王晨华;微机电系统级建模与仿真研究[D];南京航空航天大学;2005年
6 李饶;任意结构三维有限元静力分析的研究[D];电子科技大学;2017年
7 许传龙;纳米晶镍微成形尺寸效应分子动力学模拟研究[D];哈尔滨工业大学;2015年
8 张帮强;三级配矿渣混凝土力学性能尺寸效应试验研究[D];西北农林科技大学;2016年
9 陈建祥;耐火材料断裂参数尺寸效应的研究[D];辽宁科技大学;2016年
10 郭大鹏;短切玄武岩纤维混凝土基本力学性能的尺寸效应研究[D];东北林业大学;2016年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026