收藏本站
《重庆大学》 2008年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

高导热绝缘氮化铝薄膜的制备、性能及在LED上的应用研究

陈勇  
【摘要】: 氮化铝薄膜由于具有化学稳定性好、热传导率高、机械强度高、电绝缘性能佳以及高能隙、低热膨胀系数和光学特性优良等特点,可以用做声表面波器件和大功率紫外光学器件的散热材料。 本文研究的氮化铝薄膜样品是利用纯度为99.999%的高纯铝靶,在反应气体氮气和工作气体氩气气氛下用直流和射频反应磁控溅射法制备的。并对样品进行了XPS成分分析和XRD结构分析,结果表明:薄膜中含有AlN和少量Al_2O_3及一些其它杂质;薄膜为多晶结构,具有(002)和(101)面择优取向。 采用燕山大学的TC-7000型激光热导仪器测试了氮化铝薄膜的热导率,采用105C型耐压测试仪测试了薄膜的击穿电压,并对其进行了分析。氮化铝薄膜表现出良好的绝缘性能,薄膜的抗电强度最大值达到7.5MV/cm。 利用WGZ-8型双光束分光光度计测定了其透光率,分析其光学性能,结果表明:随着工作压强和靶距的升高,薄膜的透光率会上升;溅射时间的长短在一定的范围对透光率影响不大;氮分压在一定的范围内就不会对透光率产生太大的影响,超出该范围就会影响氮化铝薄膜的纯度;退火处理可改善薄膜的结晶状态,提高紫外波段的光学性能;制备高透光率氮化铝薄膜样品的最佳条件为工作压强3.0Pa,靶基距7.0cm,基片温度为20℃,N_2/Ar=4/24,溅射时间为45min。在此条件下薄膜的平均透光率都在90%以上。 通过在组装LED上的模拟实验研究了导热涂层和氮化铝薄膜对LED灯散热性能的影响。发现加入导热涂层和生长氮化铝薄膜后,LED灯温度上升速度减缓;生长高热导率氮化铝薄膜比加入导热涂层对提高LED的散热效果更为显著。
【学位授予单位】:重庆大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:O484.4

【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 梁秀红,梁广川,梁金生;影响AIN陶瓷热导率因素的研究[J];海洋技术;1999年01期
2 王宏亮,傅维纲;HCR-1热导率自动检测仪的设计[J];西北纺织工学院学报;1999年01期
3 惠东;用于射频谐振腔的纯铌热导率的测量[J];低温物理学报;2003年S1期
4 胥馨;佟悦;刘杨;;高导热金刚石膜表面金属化研究[J];科技信息;2010年16期
5 李磊;林宝;陶伟;王新明;刘旭光;柯文炮;范诚;孙学峰;;(Pr,La)_(2-x)Ce_xCuO_4单晶的极低温热传导行为[J];低温物理学报;2010年05期
6 王文君,陈良辰;金刚石散热片[J];物理;1977年05期
7 孟韻池,朱雨村;用动态平板法测定不良导体的热导率[J];大学物理;1984年12期
8 康青,张良莹,姚熹;亚微米级多孔绝热膜的纵向热导率的测试[J];西安交通大学学报;1995年09期
9 雷群芳,侯虞钧;液体结构与热导率模型[J];高校化学工程学报;2001年06期
10 宋学锋,宋昌盛,段家忯;动态法测定良导体热导率的实验研究[J];物理实验;2002年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘峰;秦晓英;;Ga掺杂Zn_4Sb_3体系热电性能的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
2 刘永正;;金刚石/铜复合材料热导率研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
3 高万振;B.Bode;;简化的矿物油热导率状态方程研究[A];第六届全国摩擦学学术会议论文集(上册)[C];1997年
4 杨小秋;施小斌;许鹤华;;基于BOBYQA法反演海底沉积物原位热导率[A];中国地球物理·2009[C];2009年
5 孙陈诚;胡子君;李同起;张宏波;孙志杰;张佐光;;改性陶瓷瓦隔热材料制备和性能研究[A];复合材料——基础、创新、高效:第十四届全国复合材料学术会议论文集(上)[C];2006年
6 冯苍旭;赵学亮;张磊;;热脉冲式岩土体热导率仪研制[A];地温资源与地源热泵技术应用论文集(第三集)[C];2009年
7 褚克;贾成厂;梁雪冰;陈惠;;SiC_p/Al复合材料中孔隙影响热导率的模型[A];2009全国粉末冶金学术会议论文集[C];2009年
8 张敏;陈健华;赵惠忠;车贞花;杨乐;钟志友;;微热探针法测量果蔬热导率中电桥电压的影响研究[A];中国机械工程学会包装与食品工程分会2010年学术年会论文集[C];2010年
9 夏樟根;朱莲根;俞嘉隆;乔卫平;王锦辉;;良导体热导率转换测量法的设计及比较[A];2005年全国高校非物理类专业物理教育学术研讨会论文集[C];2005年
10 郭富安;纪艳丽;;扫描热显微镜在涂层分析中的应用[A];第十一届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 马永平;选好木地板 扮靓你的家[N];中华建筑报;2000年
2 易文;硅酸钙绝热制品的应用现状[N];中国建材报;2008年
3 蒋晓梅;漂亮木地板扮靓你的家[N];西藏日报;2000年
4 刘子田;核电站建设需要特种钢材[N];中国冶金报;2006年
5 卢庆儒 DigiTimes;电子元件产品及技术发展趋势(三)[N];电子资讯时报;2006年
6 方尚俊;导电陶瓷新材料项目落户邯郸[N];河北经济日报;2007年
7 本报记者 李静华;斯柏丽门营造灵性空间[N];中国房地产报;2004年
8 薛文东 陈松林 党宏有;在积极开发中获取优异性能[N];中国冶金报;2008年
9 张建中;温差电技术发展新动向[N];中国电子报;2001年
10 上海新傲科技有限公司总工程师 林成鲁;SOI满足IC高端特殊应用需求[N];中国电子报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 苏国萍;基于谐波法的热功能材料热导率的实验研究[D];中国科学院研究生院(工程热物理研究所);2012年
2 彭小芳;低维量子体系热输运性质研究[D];湖南大学;2010年
3 张胜楠;低热导率碲化物热电材料的制备及性能优化[D];浙江大学;2010年
4 祝渊;高性能柔性散热材料设计、制备及应用[D];清华大学;2011年
5 王建立;微纳米线热物性测量方法及其应用[D];清华大学;2010年
6 邱琳;基于独立型传感器3ω法的微纳材料热输运研究[D];中国科学院研究生院(工程热物理研究所);2012年
7 郑兴华;微纳热功能粉体材料传热及蓄热特性研究[D];中国科学院研究生院(工程热物理研究所);2012年
8 董锡杰;低介电常数材料微观结构及其对介电性能和热性能的影响[D];华中科技大学;2010年
9 张敏;采后果蔬热导率测试系统研究及其内部传热温度场模拟[D];河南农业大学;2005年
10 瞿志学;稀土氧化物热障涂层陶瓷材料的缺陷化学及热物理性能[D];清华大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈勇;高导热绝缘氮化铝薄膜的制备、性能及在LED上的应用研究[D];重庆大学;2008年
2 吕艳凤;开孔泡沫铝若干物理性能的研究[D];合肥工业大学;2006年
3 姜亦飞;耐温隔热型硅酸铝纤维纸成纸特性及纸页结构的研究[D];山东轻工业学院;2008年
4 李淘;A1N 陶瓷的SPS烧结致密化及其机理研究[D];武汉理工大学;2005年
5 李成翠;连续调制PTR理论及其在热单轴材料特性测量中的应用[D];苏州大学;2003年
6 孙晖;金刚石薄膜的生长及导热模型研究[D];西北大学;2006年
7 沈敏;基于分子动力学的氮化铝热导率的研究[D];江苏大学;2006年
8 陈德欣;钨铜电子封装材料的工程化研究[D];中南大学;2005年
9 杨海涛;橡塑材料导热性能的研究[D];西北工业大学;2006年
10 徐洁;纳米流体有效热导率模型的研究[D];华中科技大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026