收藏本站
《电子科技大学》 2017年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

磁控溅射制备多层结构氧化钒薄膜的研究

马雪婷  
【摘要】:氧化钒是一个非常复杂的体系,作为优良的电子材料,本身有较高的电阻温度系数(TCR),因此在非制冷红外探测器件以及红外成像等领域具有突出优势。到目前为止,氧化钒薄膜材料仍然是红外探测器件热敏电阻的理想材料。可用于非制冷红外探测器的氧化钒薄膜分为有相变特性的和无相变特性的,而无相变的氧化钒薄膜可以避免相变带来的热滞现象对器件性能的影响。该探测器对使用的热敏电阻型薄膜有两个特性要求:合适的电阻温度系数,一般不能低于于-2%/K;较低的室温电阻率,应小于10Ω·cm。本文研究对象是无相变的氧化钒薄膜,制备方法采用直流反应磁控溅射法,研究工艺参数对薄膜电学性能的影响,以此来优化实验的工艺参数,达到提高薄膜的电阻温度系数的目的。同时采用XRD、XPS、SEM等表征分析手段,对无相变的氧化钒薄膜的组分、晶体结构、表面形貌进行表征,分析中间层对薄膜性能的影响。主要内容有:1、采用直流反应磁控溅射法,制备单层无相变的VOx薄膜,分析工艺参数对薄膜电学性能的影响。溅射氧流量改变0.1sccm,方阻值改变一个量级,难以控制。因此研究无相变、多层结构的氧化钒薄膜。2、采用双靶直流反应磁控溅射法,制备无相变的VOx/W/VOx结构薄膜,研究W对薄膜性能的影响。电学特性分析,发现W使得薄膜的方阻-曲线重合得更好。表征分析,发现W层对薄膜的表面形貌影响较大,对结晶的抑制作用主要表现在XRD的衍射峰强度上。3、制备无相变的VOx/V/VOx结构薄膜,研究分析中间V层的溅射时间、多层结构的退火时间、退火氧流量对薄膜电学性能的影响,进行参数优化,制备出性能较好的氧化钒薄膜样品,其室温电阻率为6.88Ω·cm,电阻温度系数可以达到-2.44%/K。通过以上的实验研究,我们对多层结构的氧化钒薄膜有了进一步的了解,在分析中间夹层对薄膜电学性能的影响基础上,制备出性能较好的无相变的氧化钒薄膜样品。
【学位授予单位】:电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2017
【分类号】:O484

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 付学成;李金华;谢建生;袁宁一;;钽掺杂对二氧化钒多晶薄膜相变特性的影响[J];红外技术;2010年03期
2 何少伟;黄鹰;戴君;赖建军;王兴治;易新建;;用于微测辐射热探测器的纳米VO_2薄膜[J];材料研究学报;2007年06期
3 姬云波;童雄;叶国华;;提钒技术的研究现状和进展[J];国外金属矿选矿;2007年05期
4 吕宇强;胡明;吴淼;张之圣;刘志刚;;热红外探测器的最新进展[J];压电与声光;2006年04期
5 沈楠;李毅;易新建;;纳米VO_2薄膜的制备及其可见光透过率的改善[J];红外与毫米波学报;2006年03期
6 李锦;魏红莉;何峰;;VO_2薄膜智能玻璃的研究进展[J];玻璃;2006年01期
7 何山,韦柳娅,傅群,林晨,雷德铭,郑臣谋;二氧化钒和三氧化二钒研究进展[J];无机化学学报;2003年02期
8 袁宁一,李金华,林成鲁;氧化钒薄膜的结构、性能及制备技术的相关性[J];功能材料;2001年06期
9 卢勇,林理彬;真空还原制备的VO_2热致相变薄膜Raman光谱和红外光谱研究[J];功能材料;2001年06期
10 陈长虹,易新建,熊笔锋;基于VO_2薄膜非致冷红外探测器光电响应研究[J];物理学报;2001年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 魏雄邦;氧化钒薄膜的制备、微结构与特性研究[D];电子科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 杜明军;氧化钒薄膜的制备及其光电性能研究[D];电子科技大学;2011年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 康炀东;倪海桥;张立春;马赫;詹锋;牛智川;;钨摻杂氧化钒基非制冷红外探测器性能研究[J];广西大学学报(自然科学版);2017年05期
2 叶露;;钒渣钙化焙烧熟料酸浸过程钒溶解规律研究[J];钢铁钒钛;2017年05期
3 谢清俊;;几种辐射测温技术比较[J];中国检验检测;2017年04期
4 郝喜才;高敏杰;李洁;;废钒催化剂回收技术研究进展[J];开封大学学报;2017年02期
5 唐志武;徐马记;陶欣;黎明锴;何云斌;;高质量外延VO_2薄膜制备及其金属-绝缘体相变特性研究[J];湖北大学学报(自然科学版);2017年03期
6 唐红建;张力;孙朝晖;陈海军;余彬;杜光超;;从含钒酸浸液中萃取高纯度五氧化二钒的工艺研究[J];钢铁钒钛;2017年01期
7 潘博;郑诗礼;王少娜;刘彪;杜浩;张懿;;Cr_2O_3在KOH溶液中电场强化溶出机理及溶出影响因素[J];过程工程学报;2016年06期
8 侯爽;;介电薄膜热处理工艺研究[J];化工设计通讯;2016年10期
9 周维华;李振溱;段猛;吕国志;;钒渣浸出液中络合除铁的研究[J];钢铁钒钛;2016年05期
10 张贵刚;陈孝娥;崔旭梅;刘甜甜;蓝德均;;高纯度五氧化二钒制备技术研究进展[J];现代化工;2016年09期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 阙隆成;非制冷红外焦平面探测器芯片一体化设计及关键技术研究[D];电子科技大学;2016年
2 罗振飞;氧化钒薄膜的制备及其电学、光学特性研究[D];电子科技大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 康炀东;钨掺杂氧化钒基非制冷红外探测器的制备与性能研究[D];广西大学;2017年
2 马雪婷;磁控溅射制备多层结构氧化钒薄膜的研究[D];电子科技大学;2017年
3 杜姗;磁控反应溅射法制备氧化钒薄膜的研究[D];天津师范大学;2013年
4 赵佳明;智能激光防护材料:氧化钒薄膜的生长及其光电性能研究[D];大连理工大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李金华;袁宁一;谢太斌;但迪迪;;超高温度系数V_(0.97)W_(0.03)O_2多晶薄膜的制备研究[J];物理学报;2007年03期
2 窦雁巍;胡明;崔梦;宗杨;;多孔硅表面氧化钒热敏电阻薄膜的阻温特性[J];材料研究学报;2006年05期
3 王利霞;李建平;何秀丽;高晓光;;二氧化钒薄膜的低温制备及其性能研究[J];物理学报;2006年06期
4 谢太斌,李金华,谢建生,但迪迪,范利宁,袁宁一;二氧化钒多晶薄膜的掺杂改性[J];红外技术;2005年05期
5 杨素波,罗泽中,文永才,何为,王建,陈渝;含钒转炉钢渣中钒的提取与回收[J];钢铁;2005年04期
6 潘梅,钟红梅,王少伟,李志锋,陈效双,陆卫;氧含量对VO_(2-x)晶格特性和结构相变影响的研究[J];红外与毫米波学报;2005年02期
7 吴淼,胡明,温宇峰;基片温度对氧化钒薄膜结构与电性能的影响[J];压电与声光;2004年06期
8 李金华,袁宁一;离子束增强沉积VO_2多晶薄膜的温度系数[J];物理学报;2004年08期
9 王宏臣,易新建,陈四海,黄光,肖静;128元非致冷氧化钒红外探测器的制作[J];红外与毫米波学报;2004年02期
10 王宏臣,易新建,黄光,肖静,陈四海;一种制备氧化钒薄膜的新工艺[J];半导体光电;2003年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 郭江涛;掺钨VO_2薄膜的制备及相关特性研究[D];合肥工业大学;2009年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 储酉章;;天蓝釉及色基中氧化钒的测定[J];中国电瓷;1982年04期
2 卢小铃;王涛;李贺;董翔;顾德恩;蒋亚东;;氧化钒薄膜光伏效应机理分析[J];红外;2011年05期
3 袁宁一,李金华,林成鲁;氧化钒薄膜的制备方法及结构性能[J];江苏石油化工学院学报;2000年04期
4 魏雄邦;吴志明;王涛;许向东;唐晶晶;蒋亚东;;氧化钒薄膜的厚度对薄膜电学特性的影响[J];材料导报;2008年03期
5 张鹏;路远;乔亚;;热处理时间对氧化钒薄膜相变性能的影响[J];半导体光电;2013年05期
6 宋晶晶;张津;孙智富;刘成龙;孙健;;热处理对氧化钒薄膜成分和形貌的影响[J];武汉理工大学学报;2009年13期
7 陈超;蒋亚东;吴志明;;氧化钒薄膜电阻伏安特性分析[J];半导体光电;2008年05期
8 魏雄邦;蒋亚东;吴志明;廖家轩;贾宇明;田忠;;氧化钒薄膜成分及价态的深度刻蚀分析[J];材料导报;2009年22期
9 杨爱国;杨子健;杨建红;冯浩;李冠斌;崔敬忠;;掺杂氧化钒薄膜的制备及其热光特性[J];半导体光电;2008年02期
10 梁继然;胡明;刘志刚;;低温热氧化处理温度与时间对氧化钒薄膜性能的影响[J];功能材料;2009年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 贾美叶;何圣贵;葛茂发;;氧化钒团簇正离子与硫化氢反应的实验和理论研究[A];中国化学会第28届学术年会第8分会场摘要集[C];2012年
2 魏雄邦;廖家轩;吴志明;蒋亚东;;运用有效介质理论模拟氧化钒薄膜的光学特性[A];第十七届全国高技术陶瓷学术年会摘要集[C];2012年
3 陈柳炼;马斌;施永明;翟厚明;;氮气退火处理对氧化钒薄膜物理特性的影响[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
4 吴志明;蒋亚东;牟宏;黄春华;;氧化钒热敏特性研究[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
5 伍水平;余志明;彭传才;方梅;陈爽;;磁控溅射法制备氧化钒薄膜的相组成研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
6 吴志明;蒋亚东;牟宏;谢光忠;王波;;磁控溅射氧化钒薄膜的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7 吴淼;胡明;刘志刚;;直流对靶溅射制备氧化钒薄膜的研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
8 丁迅雷;李子玉;何圣贵;;中性氧化钒团簇的构型[A];中国化学会第29届学术年会摘要集——第15分会:理论化学方法和应用[C];2014年
9 魏雄邦;王涛;吴志明;蒋亚东;;氩流量对氧化钒薄膜直流磁控溅射制备的影响[A];2007高技术新材料产业发展研讨会暨《材料导报》编委会年会论文集[C];2007年
10 杨旭;蔡长龙;周顺;刘欢;;直流磁控溅射制备氧化钒薄膜[A];2009年西部光子学学术会议论文摘要集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 周军 孙茂;攀钢破解氧化钒清洁生产世界性难题[N];世界金属导报;2012年
2 张瑜 孟祥林;攀钢首创氧化钒清洁生产技术[N];中国化工报;2014年
3 记者 周军 通讯员 王彦华;攀钢专利“趟出”世界钒业新路[N];中国冶金报;2010年
4 唐诗全;攀钢:氧化钒清洁高效生产关键技术世界领先[N];四川科技报;2012年
5 记者 高柱 通讯员 孟彦瑜;攀钢攻克氧化钒清洁生产技术[N];工人日报;2014年
6 周军 记者 刘旭;攀钢原创技术破解世界难题[N];四川日报;2012年
7 熊平;攀钢钒产品生产装备将实现国产化[N];中国工业报;2011年
8 王彦华;攀钢成功破解氧化钒清洁生产世界性难题[N];攀枝花日报;2013年
9 吕军锋;薄膜表面极性火焰处理技术的原理及其特点[N];中国包装报;2009年
10 沈晰;国内GIS产业迎接国际挑战[N];科技日报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董翔;氧化钒薄膜的脉冲反应磁控溅射制备及其特性研究[D];电子科技大学;2014年
2 韦晓莹;氧化钒半导体功能薄膜的光电特性及其应用基础研究[D];天津大学;2014年
3 戴君;氧化钒薄膜的光电特性及其应用基础研究[D];华中科技大学;2009年
4 梁继然;微测辐射热计用氧化钒薄膜的制备及其电阻温度性能研究[D];天津大学;2007年
5 吉彦达;氧化钒功能薄膜集成生长与器件基础研究[D];电子科技大学;2015年
6 陈涛;具有相变特性的氧化钒薄膜制备与光学特性研究[D];天津大学;2011年
7 田雪松;用于抗激光致盲的氧化钒薄膜制备及光学相变特性研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
8 魏雄邦;氧化钒薄膜的制备、微结构与特性研究[D];电子科技大学;2008年
9 许旻;氧化钒薄膜结构和性能研究[D];兰州大学;2006年
10 周士昂;基于稀土元素Sc改性Al-Mg新型铝合金的组织控制与强化机理研究[D];合肥工业大学;2016年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马雪婷;磁控溅射制备多层结构氧化钒薄膜的研究[D];电子科技大学;2017年
2 郭瑞;Ti、Y掺杂对氧化钒薄膜结构与性能的影响[D];电子科技大学;2015年
3 王志辉;氧化钒薄膜微结构与噪声性能研究[D];电子科技大学;2015年
4 肖鹏;纳米氧化钒薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2014年
5 温粤江;氧化钒—定向碳纳米管复合膜的制备与特性研究[D];电子科技大学;2015年
6 吴玉;二维有序微结构的氧化钒薄膜的实验与理论研究[D];北京交通大学;2016年
7 王蒙;石墨烯—氧化钒复合敏感材料的制备与特性研究[D];电子科技大学;2016年
8 孙站红;稀土元素Gd、Y掺杂对氧化饥薄膜结构与性能的影响[D];电子科技大学;2016年
9 张勃;氧化钒薄膜的制备及其光学特性研究[D];沈阳理工大学;2016年
10 孙晓龙;氧化钒/碳复合材料的合成及其在染料敏化太阳能电池中对碘电对催化性能的研究[D];河北师范大学;2017年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026