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硅挠性伺服加速度计设计

胡红革  
【摘要】: 本文详细论述了一种基于互感系数变化的用于惯性制导的精密的力平衡加速度计的设计、分析。加速度计的分辨率、灵敏度阈值和高的热稳定性是设计时主要考虑的参数。本论文中使用推—挽式长挠性结构来保证低灵敏度阈值,同时保证抗振鲁棒性。为了提高热稳定性,本文中讨论了利用永久磁铁作为磁场源;微加工技术被引入摆组件的结构设计和利用力矩线圈作为激励线圈来简化电感式的检测装置。加速度计的设计量程为0~70g。 目前,基于互感变化的硅加速度计国外有不少的论文公开报道,国内未见有论文公开报道。本文论述的基于互感变化的硅加速度计对于填补国内硅加速度计空白,增强武器的突防能力,提高惯导系统的精确性是非常重要的,同时为开发大量程加速度计提供了新的技术途径。


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