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《电子科技大学》 2003年
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纳米晶金刚石薄膜场致发射特性研究

殷吉昊  
【摘要】: 近年来 ,国内外不断有实验和理论研究表明,金刚石薄膜特别是纳米晶金刚石薄膜,在低的开启电压作用下,即可获得很高的场致发射电流密度,具有十分优秀的场致电子发射特性,是一种理想的场致发射阴极材料。采用金刚石薄膜制备成的场致发射冷阴极在微波电真空器件和平面显示器等方面有着广阔的应用前景。 微波等离子体增强化学气相沉积法(MPCVD法)是众多低气压下激活CVD工艺方法的一种,也是目前在国内外比较流行的制备金刚石薄膜的工艺方法之一。其特点是低温、低压、清洁。 本论文中,作者分析了MPCVD方法中气源成分比、微波功率、等离子体球的位置、成核技术等各种工艺条件对金刚石薄膜质量的影响,并总结得到了一些有意义的结论;同时,在自行研制的MPCVD沉积系统上,于4-7Kpa、1000℃左右的热力学条件下,采用CH4/H2气源气氛在光滑的硅衬底上制备出了晶粒尺寸在300纳米以下的纳米晶金刚石薄膜,测试得到了较好的薄膜场致电子发射性能,为金刚石薄膜场致发射冷阴极的研究工作打下了实验基础。
【学位授予单位】:电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2003
【分类号】:TB383

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 董建会;;金刚石薄膜场发射述评[J];中北大学学报(自然科学版);2007年S1期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 张继成;(类)金刚石薄膜的微细加工、表征及其在ICF靶制备中的应用[D];中国工程物理研究院;2008年
2 彭凯;大尺度HPM器件电磁PIC若干关键技术研究及应用[D];电子科技大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 田浩希;碳纳米管与金刚石超微粉合成材料的场发射特性研究[D];电子科技大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【共引文献】
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中国重要会议论文全文数据库 前3条
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2 李敬德;李宗超;曹鸣坤;;应用于加速器S波段2.6MW脉冲磁控管国产化[A];第八届全国医用加速器学术交流会论文集[C];2009年
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3 韩宪越;新型CaB_4晶体的生长与物理性质研究[D];燕山大学;2011年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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3 包忠;金刚石三维生长模式研究[D];兰州大学;2011年
4 陈晓;模块化双管发射技术的研究[D];南京理工大学;2011年
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10 李春娥;BDD薄膜电极电催化氧化处理DDNP生产废水的实验研究[D];辽宁工程技术大学;2011年
【同被引文献】
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2 廖梅勇,张智,廖克俊,王万录;金刚石的场致发射[J];半导体技术;1999年01期
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2 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
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【二级引证文献】
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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【相似文献】
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1 杨国伟,毛友德;非金刚石相碳成分对金刚石薄膜晶形的影响[J];表面技术;1994年04期
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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10 科新;强磁场下纳米金刚石薄膜的制备技术项目通过验收[N];中国建材报;2008年
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3 马玉丹;利用寡聚DNA构建纳米晶有序结构[D];吉林大学;2008年
4 纪小会;胶体纳米晶的水相合成与室温表面配体化学[D];吉林大学;2007年
5 胡海龙;Si基纳米晶阵列的制备及特性研究[D];兰州大学;2006年
6 郑金桔;过渡金属(Mn、Cu)掺杂纳米晶的制备和光电子性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
7 赵军伟;稀土掺杂NaYF_4上转换发光纳米晶的水相合成、表征及其生物应用探索[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
8 戴全钦;CdSe等半导体纳米晶的合成及性质研究[D];吉林大学;2007年
9 张代生;上转换微纳米晶@TiO_2核/壳结构红外光催化材料的制备和表征[D];吉林大学;2011年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 殷吉昊;纳米晶金刚石薄膜场致发射特性研究[D];电子科技大学;2003年
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3 余方丹;木质素基两性表面活性剂对ZnO纳米晶控制制备[D];东北林业大学;2011年
4 李正学;硼掺杂金刚石薄膜的制备、电化学性能及表面修饰研究[D];南京理工大学;2012年
5 温合静;基于钨酸基无机—有机层状混杂结构的钨系微纳米晶材料的制备与表征[D];郑州大学;2010年
6 孔伟;单分散Ag和TiO_2纳米晶的合成及自组装特性研究[D];浙江大学;2011年
7 祝艳;纳米晶PbSe与SnSe的制备、表征及性能研究[D];南京理工大学;2004年
8 赵新美;氟化钡微纳米晶的DNA辅助合成与表征[D];燕山大学;2011年
9 孙泓;Nd-Fe-B/α-Fe两相纳米晶复合交换永磁薄膜结构和磁性研究[D];广东工业大学;2003年
10 宗建娟;胶溶法制备TiO_2纳米晶溶胶及其应用研究[D];浙江大学;2010年
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