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《电子科技大学》 2004年
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电子信息材料声参数分布SLAM检测法研究

严真旭  
【摘要】:激光扫描声学显微镜(Scanning Laser Acoustic Microscope简称SLAM)作为一种新型高分辨率的无损检测仪器,以其实时成像的优点,日益在材料科学和生物医学科学等领域发挥着十分重要的作用,该技术及其应用研究一直受到科技界和工业界的广泛关注。 在电子信息科学领域,伴随电子器件制造工艺技术集成化、微细化和生产的数字化、大规模化,电子材料和元器件常常被设计成片式结构。本论文以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高SLAM系统灵敏度为目标,提出了被测样品光学抛光扫描法;根据微波声学中声波在分层介质中的传播理论,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播特点,建立了抛光型样品自由界面动态波纹数学模型;在此基础上分析了以纵波全内反射角入射时动态波纹振幅与入射声波频率变化的关系,得相应数学模型;同时结合自由界面动态波纹数学模型详细分析了动态波纹振幅与声波入射角、样品厚度以及入射声波频率的关系,从而得出动态波纹振幅随入射声波频率周期性出现主最大值、次最大值和零值。经过对系统的综合分析,计算并获得提高系统响应的方法。 其次,运用软件Matlab6.5对数学模型进行数值仿真实验,仿真实验结果与理论结果相对照,从而检验光学抛光型分层介质传输规律和数学模型的正确性。 最后,根据理论分析结论和数值仿真实验的结果,以提高系统灵敏度为目的,对传统SLAM系统进行改造设计,运用改造后的声学台对一些电子材料进行SLAM检验并得到了清晰地声学图像。整个工作不但为SLAM升级换代和实际应用提供了理论基础,而且给出了声学台改造设计方案以及得到经改造的清晰的声学图像。 应指出的是:声波在光学抛光型分层介质中的传输规律,声波以全内反射角入射传输规律和获取系统最佳灵敏度的分析方法及其结果和其应用方向是目前国内外文献未见报道的内容,属于本论文的主要创新部分。
【学位授予单位】:电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2004
【分类号】:TN604

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 严真旭;温济;王亚非;袁敬闳;;抛光型SLAM系统灵敏度研究[J];压电与声光;2007年03期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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2 王亚非,袁敬闳,陈瑞征,莫怀德;激光扫描声学显微镜谐波技术的研究[J];电子学报;1993年11期
3 王亚非,陈瑞征,袁敬闳,莫怀德;多层陶瓷电容器的无损检测[J];压电与声光;1994年01期
4 王亚非,袁敬闳,陈瑞征,莫怀德;76MHz激光扫描声学显微镜的研究和试制[J];压电与声光;1997年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 王亚非,袁敬闳,陈瑞征,莫怀德;激光扫描声学显微镜谐波技术的研究[J];电子学报;1993年11期
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2 韩静涛;赵钢;曹起骧;;20MnMo钢内裂纹修复规律的研究[A];2007轧钢与锻造过程中的裂纹控制技术学术研讨会论文集[C];2007年
3 韩静涛;赵钢;曹起骧;马喜腾;;温度及时间对20MnMo钢内裂纹修复作用的SAM研究[A];2007轧钢与锻造过程中的裂纹控制技术学术研讨会论文集[C];2007年
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10 常志刚;声表面波标签的设计与仿真[D];天津大学;2012年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 袁敬闳,莫怀德,陈瑞徵,陈昌龄;激光扫描声学显微镜的实验研究[J];电子学报;1990年04期
2 王亚非,周鹰,袁敬闳,曾宏亮;分层媒质中声波传输规律的研究[J];压电与声光;2000年04期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 袁敬闳,莫怀德,陈瑞徵,陈昌龄;激光扫描声学显微镜的实验研究[J];电子学报;1990年04期
2 王亚非,袁敬闳,陈瑞征;300MHz激光扫描声学显微镜[J];声学学报;1994年01期
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