收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

场发射冷阴极尖锥制备及其性能研究

于海波  
【摘要】: 以场致发射为基础的真空微电子器件,因其具有功耗低、电流密度大、频率高等诸多优点而倍受关注。场发射阴极作为各种真空微电子器件的核心,其性能的好坏将直接决定着场发射器件的总体性能。人们通过不断的改进阴极结构,优化阴极的制备工艺等各种措施和手段来提高阴极的总体性能,其中,新材料在阴极发射体中的运用是提高阴极性能的主要途径之一,近代科学技术的高速发展以及对新材料的进一步开发和研究为场发射阴极性能的改善提供了广阔的发展空间和开发潜力。在制备场发射阴极时,必须考虑到材料功函数、电导率、密度、热稳定性、 化学稳定性等因素对其发射性能的影响,同时要考虑材料对加工工艺上的要求。目前,场发射阴极材料多种多样,但都存在逸出功大,稳定性及均匀性不理想,发射性能低等方面的问题。与之相比,六硼化镧具有优异的物理和化学特性,使之成为场发射阴极发射体的理想材料。人们已经对六硼化镧材料的性能做了大量研究工作,但据目前所见到的国内外文献所知,对六硼化镧阴极的研究多集中在它的热发射方面,对于以此种材料场发射冷阴极方面的研究较少。 由于六硼化镧特有的物理化学特性在很大程度上影响乃至决定着其尖锥的制备。而且,目前可借鉴的参考文献较少,围绕着前人做过的方案,本文做了大量工作,在已有文献介绍的基础上,结合原有的理论和实践基础,摸索出了包括高温氧作用反应离子(RIE)刻蚀法、湿法腐蚀法和电化学腐蚀法在内的三种制备工艺,运用电化学腐蚀工艺成功制备了单尖的六硼化镧场发射冷阴极尖锥、钼场发射冷阴极尖锥、钨场发射冷阴极尖锥、钨铼合金场发射冷阴极尖锥以及有六硼化镧薄膜覆盖的钼场发射冷阴极尖锥。对这几种场发射冷阴极的电子发射性能以及六硼化镧场发射冷阴极发射的稳定性等方面进行了测试,并对实验现象和数据进行了仔细的分析和讨论,从而比较系统的总结了对六硼化镧场发射冷阴极的制备及其发射性能的研究。结果表明六硼化镧作为场发射冷阴极,具有良好发射性能和稳定性。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 李本功;六硼化镧阴极在电子束加工技术中的应用[J];山东科学;1996年04期
2 钱开友;林仰魁;徐东;蔡炳初;孙卓;;碳基场发射冷阴极材料的研究[J];材料导报;2004年05期
3 冯涛;戴丽娟;蒋军;王曦;柳襄怀;李琼;;可驱动碳纳米管冷阴极数码管的研制[J];真空电子技术;2006年01期
4 朱长纯,吴辉,罗援,周群,杜博民,靳冬奇;硅锥阵列场发射微真空二极管研制[J];云南大学学报(自然科学版);1992年S1期
5 雷达;曾乐勇;夏玉学;陈松;梁静秋;王维彪;;前栅极冷阴极器件中单根纳米线表面电场分布研究[J];液晶与显示;2006年06期
6 王小菊;林祖伦;祁康成;陈泽祥;汪志刚;蒋亚东;;电化学刻蚀法制备LaB_6场发射微尖锥阵列[J];发光学报;2007年03期
7 董建康;祁康成;李新义;高峰;;场致发射阵列阴极制备工艺研究[J];电子器件;2008年04期
8 王小菊;林祖伦;祁康成;王本莲;蒋亚东;;单晶LaB_6场发射阵列的电化学腐蚀工艺[J];强激光与粒子束;2008年07期
9 蒋名律;张晓兵;雷威;;电子跳跃结构场发射阴极的电子通过率研究[J];电子器件;2006年01期
10 志水隆一;;六硼化镧单晶电子枪的亮度[J];电子显微学报;1983年03期
11 邵健中,袁永明,沈庆垓;六硼化镧电子枪的电子束能量分散度[J];微细加工技术;1988年02期
12 夏绍喜;陈丽清;肖丹;俞汝勤;;六硼化镧(LaB_6)铜离子敏感电极的初步研究[J];化学传感器;1994年04期
13 黄再生,林祖伦,陈吉欣;有机电致发光二极管的透明阴极的研制[J];液晶与显示;2003年04期
14 刘曾怡;林祖伦;王小菊;邓维伟;权祥;;适用于PDP的透明六硼化镧薄膜性能研究[J];电子器件;2011年01期
15 成建波;;冷阴极综述[J];应用光学;1981年01期
16 秦玉香;胡明;李海燕;张之圣;邹强;;碳纳米管场发射冷阴极的低温制备及场发射性能[J];半导体学报;2006年08期
17 柳术平;杨庆山;陈卫平;刘甲祥;李中华;;多元稀土硼化物(La_(0.55)Ba_(0.45))B_6与(La_(0.4)Eu_(0.6))B_6阴极材料的研制[J];稀有金属与硬质合金;2006年03期
18 袁泽明;高锐敏;姚宁;;场致电子发射阴极及其制备方法的研究[J];现代显示;2009年11期
19 周世桂;;采用六硼化镧电子枪的高分辨电子显微镜[J];稀有金属;1980年03期
20 曾朝伟;李文恩;钱天宇;黄兰友;;六硼化镧电子枪[J];电子显微学报;1990年01期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 张友渝;;0.35微米门孔宽度的劈形场发射冷阴极[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集(下册)[C];1995年
2 邹碧辰;庄革;王之江;丁永华;潘垣;;J-TEXT上电子漂移注入装置的设计[A];中国核科学技术进展报告——中国核学会2009年学术年会论文集(第一卷·第7册)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 徐静;磁控溅射SiO_2基LaB_6薄膜的制备工艺及性能[D];山东大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 徐秀华;六硼化镧粉体的制备及其烧结性能研究[D];湖南大学;2011年
2 黄再生;利用LaB_6制作有机电致发光器件的半透明阴极[D];电子科技大学;2003年
3 王本莲;单晶LaB_6场发射二极管阵列研究[D];电子科技大学;2009年
4 王刚;六硼化镧场发射阴极阵列的制备工艺研究[D];电子科技大学;2007年
5 董建康;六硼化镧场发射阵列阴极制备工艺与测试[D];电子科技大学;2008年
6 代令;六硼化镧场发射阵列阴极制备的关键工艺研究[D];电子科技大学;2009年
7 于海波;场发射冷阴极尖锥制备及其性能研究[D];电子科技大学;2006年
8 时晴暄;场发射阵列薄膜技术研究[D];电子科技大学;2007年
9 李建军;三极管场发射阵列的设计与制作[D];电子科技大学;2007年
10 朱炳金;六硼化镧薄膜的制备及发射特性的研究[D];电子科技大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前6条
1 周道奇;能防炎热的玻璃[N];中国水利报;2003年
2 阿黛尔;澳研制出防热纳米玻璃[N];中国房地产报;2004年
3 本报记者 张燎原;“小院”能担大项目[N];中国有色金属报;2006年
4 倪 军;淡蓝色玻璃拒炎热于窗外[N];大众科技报;2003年
5 记者 葛进;电子显微镜新型电子源问世[N];科技日报;2010年
6 本报记者 刘肖勇 通讯员 刘楚珠;打造显示技术创新中心[N];广东科技报;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978