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《电子科技大学》 2008年
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干冰微粒喷射法清洗和抛光ITO玻璃

齐童  
【摘要】: ITO玻璃是液晶显示器(LCD)和有机发光显示器(OLED)的重要部件,ITO玻璃表面的洁净度是影响LCDs和OLEDs性能的重要因素。随着对能源和环保的关注,传统的清洗技术难以满足要求。干冰微粒喷射法作为一种新型的精密清洗技术在电子器件及材料的清洗方面很有成效,它具清洗效果好,不使用水和化学药品,不会引入二次污染,并且无毒,对人体无害等优点。因此将干冰微粒喷射法应用于ITO玻璃的清洗具有重要的实际意义。 本文介绍了干冰微粒喷射法清洗的有关研究和理论,进行了用干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的实验,研究了喷射角度、喷射距离、喷射时间等因素对于清洗效果的影响。同时对比了低频超声波法清洗ITO玻璃的清洗效果。研究表明,经过超声波法清洗和干冰微粒喷射清洗的ITO玻璃样品的表面接触角都比未清洗样品的显著减小,表面能有显著提高,而且干冰微粒喷射法清洗后ITO玻璃表面的浸润性超过了超声波洗法清洗后的浸润性。通过固定减速比(FRR)模型对表面元素含量的进行定量分析和C1s和O1s的精细谱分析,发现干冰微粒喷射法能够降低表面污染碳和COOH态的氧,从而有效地降低了表面有机污染物的含量,提高了ITO玻璃的表面洁净度。对清洗前后样品表面残留颗粒进行了SEM测量和分析,结果表明相对于超声法,干冰微粒喷射法能更有效地去除表面污染颗粒。 制备了结构相同但其ITO阳极分别采用干冰微粒法清洗和超声波法清洗的两种OLED器件,对这两种器件的光电参数进行了测量。结果表明,使用干冰微粒喷射法清洗ITO电极的器件的启亮电压、亮度与超声波法清洗的相比较均有所改善。 论文还叙述了用干冰微粒喷射法抛光ITO薄膜表面的实验研究。结果表明,干冰微粒喷射法可以降低ITO膜表面粗糙度,并且随着抛光时间增长,ITO膜表面的粗糙度呈下降趋势。
【学位授予单位】:电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2008
【分类号】:TN141

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王晓辉;干冰微粒喷射清洗法的研究[D];电子科技大学;2011年
【参考文献】
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1 童志义;化学机械抛光技术现状与发展趋势[J];电子工业专用设备;2004年06期
2 王丽,张希清,林鹏,熊德平,黄世华;ITO表面研磨处理对有机电致发光器件性能的影响[J];光谱学与光谱分析;2005年08期
3 张峰,余景池,张学军,王权陡;磁流变抛光技术[J];光学精密工程;1999年05期
4 张峰,张学军,余景池,王权陡,郭培基;磁流变抛光数学模型的建立[J];光学技术;2000年02期
5 陈光文,徐冬梅,袁晓鹏,王海宁,赵鲁生,王春育;红外光学零件预处理工艺研究[J];红外技术;2003年04期
6 彭小强,戴一帆,李圣怡;磁流变抛光的材料去除数学模型[J];机械工程学报;2004年04期
7 雷红,雒建斌,马俊杰;化学机械抛光(CMP)技术的发展、应用及存在问题[J];润滑与密封;2002年04期
8 姜浩,徐晓华,孙鑫,傅柔励,褚君浩;聚合物中光激发在电场作用下的转化[J];物理学报;1999年12期
9 曹丽梅;OLED用ITO导电玻璃研发现状[J];现代显示;2005年09期
10 詹前贤,吴永俊;液晶显示器电极图形制作中的ITO基板清洗技术[J];洗净技术;2004年04期
【共引文献】
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1 赵飏,吕国华,孙爱新,樊新民;瓜尔豆胚性愈伤组织诱导的初步研究[J];安徽农业科学;2005年02期
2 易传辉;陈晓鸣;史军义;周成理;;影响美凤蝶滞育蛹发育的主要因素[J];安徽农业科学;2009年02期
3 李小俊;陈颖;贾宇;王立安;;生防菌菌株A的摇瓶培养条件及发酵工艺[J];安徽农业科学;2009年04期
4 杨海军;周小苹;;雪梨干酒发酵条件的优化[J];安徽农业科学;2010年13期
5 刘红;赵丹微;杨定国;韩长日;;神秘果果皮的抗氧化性[J];安徽农业科学;2010年14期
6 郑志;吕艳丽;;膜法沼气净化数学模型的建立与应用[J];安徽农业科学;2011年06期
7 袁红;;粗蓖麻油合成生物柴油反应热力学分析[J];安徽农业科学;2012年06期
8 祝立萍;钱付平;陈光;黄志甲;;工程热力学课程教学改革与实践[J];安徽工业大学学报(社会科学版);2012年01期
9 孙晓英;吴莹;徐庆辉;;均匀设计及其在中药学领域中的应用[J];安徽医药;2009年07期
10 胡海霞;李家明;秦瑛;见玉娟;;药物化学实验教学的改革和实践[J];安徽医药;2010年05期
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1 杨冀丰;史建卫;钱乙余;李晋;;对0201组装中焊膏印刷工艺参数影响的研究[A];2008中国电子制造技术论坛论文集[C];2008年
2 王翠华;寇丽萍;战洪仁;张先珍;王立鹏;孙国永;;二次回风空调系统的分析[A];创新沈阳文集(A)[C];2009年
3 张其明;高亚南;张风琴;郑枫;;直流变频分体式空调简易设计[A];2011年全国冷冻冷藏行业与山东制冷空调行业年会暨绿色低碳新技术研讨会论文集[C];2011年
4 白延斌;黄翔;孙铁柱;文力;;蒸发冷却与机械制冷复合高温冷水机组分析[A];走中国创造之路——2011中国制冷学会学术年会论文集[C];2011年
5 赵博;马国远;许树学;;水蒸汽再压缩热泵系统的性能分析[A];走中国创造之路——2011中国制冷学会学术年会论文集[C];2011年
6 李增扬;武卫东;刘四美;陈盛祥;丁澎;;旋转磁场下纳米磁流体强化氨水鼓泡吸收的实验研究[A];走中国创造之路——2011中国制冷学会学术年会论文集[C];2011年
7 宋晓燕;刘宝林;;真空冷却中上海青下表皮对其传热传质的影响[A];走中国创造之路——2011中国制冷学会学术年会论文集[C];2011年
8 郦韬珉;;破解中国婴儿肾结石病因与婴儿奶粉关系的译码及孩子肾结石病机理分析[A];首届中国奶业大会论文集(下册)[C];2010年
9 吕治国;李国君;罗义成;姜华;赵荣娟;;利用EXCEL进行激波管性能计算[A];第十四届全国激波与激波管学术会议论文集(下册)[C];2010年
10 杨钢;徐小威;高隆隆;李宝仁;;高压气体定容积充放气特性研究[A];中国机械工程学会流体传动与控制分会第六届全国流体传动与控制学术会议论文集[C];2010年
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1 常雪婷;海洋优势菌种附着腐蚀Fe_3Al及其复合材料界面与机理研究[D];中国海洋大学;2010年
2 肖知国;煤层注水抑制瓦斯解吸效应实验研究与应用[D];河南理工大学;2010年
3 余剑峰;新型化学机械抛光垫和抛光液的研究[D];华南理工大学;2010年
4 陆军;喷雾药液在靶标植株上的沉积与润湿研究[D];江苏大学;2010年
5 岳群;甘油法制备环氧氯丙烷工艺过程研究[D];华东理工大学;2011年
6 吕洪坤;选择性非催化还原与先进再燃技术的实验及机理研究[D];浙江大学;2009年
7 王胜民;机械镀锌无结晶形层的研究[D];昆明理工大学;2010年
8 周晓龙;反应合成AgCuO复合材料的组织均匀化及界面结构研究[D];昆明理工大学;2009年
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10 张志奋;浆膜动态性能研究及其在蒙脱土掺杂浆料改性效果评价中的应用[D];东华大学;2010年
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1 任子阳;阳泉无烟煤对CH_4、CO_2吸附特性研究[D];河南理工大学;2010年
2 陈攀;水分对构造煤瓦斯解吸规律影响的实验研究[D];河南理工大学;2010年
3 李华;热电厂能量利用与节能技术改造研究[D];山东科技大学;2010年
4 孙超;氟醇化合物的分离及相平衡研究[D];山东科技大学;2010年
5 赵玉荣;苯乙烯—异戊二烯(或丁二烯)嵌段共聚物表面结构的形成及其影响因素[D];浙江理工大学;2009年
6 王成斌;五种新型杯[4]芳烃衍生物的合成、表征及在电分析中的应用研究[D];郑州大学;2010年
7 董广宇;基于HLA船舶仿真系统设计和时间管理技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
8 田文凯;多功能燃烧弹的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
9 杨飞飞;二价阳离子对阴离子表面活性剂与铝盐混凝的影响[D];大连理工大学;2010年
10 艾丽;橡胶集料塑性混凝土配合比设计研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
【同被引文献】
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1 齐童;李军建;李树林;;干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的研究[J];半导体光电;2008年02期
2 陶维亮;王先培;刘艳;王泉德;;复合绝缘子接触角的图像处理检测[J];电机与控制学报;2009年02期
3 荣莹;用C~(++) Builder实现数字图像的平滑处理[J];电脑与信息技术;2002年05期
4 王小芹;邓勃;秦建侯;;分析测试中的试验设计和优化方法 三、均匀设计法[J];分析试验室;1985年12期
5 樊月琴,王君玲,郭永,孟双明,冯锋;新显色剂2-羟基-3-磺酸基-5-硝基苯基重氮氨基偶氮苯的合成及与镉的显色反应研究[J];分析试验室;2004年02期
6 王先培;张爱菊;李少雄;;基于非均匀B样条曲线的红外数据的精确拟合及校正[J];光谱学与光谱分析;2006年10期
7 冯泳兰;1-吡啶-3-[4-(苯基偶氮)苯基]-三氮烯-溴化十六烷基三甲铵-阴离子表面活性剂显色反应的研究及应用[J];衡阳师范学院学报(自然科学);2001年03期
8 王建军;;白色LED光源电路设计研究[J];青海大学学报(自然科学版);2006年02期
9 刘建强,李玉香,李强,宗福建,肖洪地,马洪磊;液晶显示器的替代ODS清洗技术研究[J];山东大学学报(理学版);2004年06期
10 杨乐;;图像增强算法及其实现[J];现代电子技术;2007年16期
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1 王光峰;白光LED驱动电路的研究及其电路的设计[D];浙江大学;2005年
2 李树林;OLED封装材料气体渗透率的测量[D];电子科技大学;2009年
3 杨大治;基于图像处理的铁路货车车号识别及其应用研究[D];西南交通大学;2010年
4 吴启鹏;有机电致发光器件封装材料气体渗透率的质谱法测量[D];电子科技大学;2010年
【二级参考文献】
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1 江瑞生;集成电路多层结构中的化学机械抛光技术[J];半导体技术;1998年01期
2 童志义;CMP设备市场及技术现状[J];电子工业专用设备;2000年04期
3 翁寿松;CMP/Post CMP工艺及其设备[J];电子工业专用设备;2003年04期
4 谢中生;CMP平坦化工艺技术的发展应用与设备前景[J];电子工业专用设备;1997年01期
5 李震梅,董传岱;新型平板显示技术——OLED[J];电视技术;2003年01期
6 杨仕清,张万里,龚捷,谭锐,王豪才;磁流变液的流变学性质研究[J];功能材料;1998年05期
7 欧阳健明,白钰,于贵,王师,刘云圻,李永舫,朱道本;LB膜的XPS光谱及其电致发光[J];光谱学与光谱分析;2004年04期
8 张峰,余景池,张学军,王权陡;磁流变抛光技术[J];光学精密工程;1999年05期
9 张峰,张学军,余景池,王权陡,郭培基;磁流变抛光数学模型的建立[J];光学技术;2000年02期
10 姜浩,徐晓华,孙鑫,傅柔励,褚君浩;聚合物中光激发在电场作用下的转化[J];物理学报;1999年12期
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8 齐童;李军建;李树林;;干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的研究[J];半导体光电;2008年02期
9 刘春香;杨洪星;赵权;;多结化合物电池用p型Ge抛光片清洗技术研究[J];半导体技术;2010年08期
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2 牛丽;李金祥;尚鲜连;陈珂;;高等职业院校ITO人才培养方案分析及学习情境设计[A];2011高等职业教育电子信息类专业学术暨教学研讨会论文集[C];2011年
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5 钱志云;;多酶清洗液清除穿刺针内细菌内毒素的研究[A];全国第四届医院消毒供应中心护理学术交流暨专题讲座会议论文汇编[C];2008年
6 马晓波;钟景明;孙本双;陈焕铭;王东新;;高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
7 杨军;彭虎;夏广斌;;微波烧结高密度ITO靶材[A];“第十四届全国微波能应用学术会议”暨“2009年微波创造美的生活高峰论坛”论文集[C];2009年
8 吴星明;杨树威;徐春叶;;磷酸噻吩用于高分子电致变色器件中ITO的表面修饰[A];中国化学会第28届学术年会第11分会场摘要集[C];2012年
9 李会斌;陈红;;塑料透明导电膜(ITO)的研制及其应用[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
10 雒建斌;潘国顺;雷红;高峰;王亮亮;姜小平;;计算机硬盘系统的表面纳米级抛光研究[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
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1 王晓敏;洗牙后是否要喷砂和抛光[N];健康报;2005年
2 覃广华 熊红明 经小飞;南宁:霉坏大米抛光加“剂”,上了百姓餐桌[N];新华每日电讯;2004年
3 记者 朱旭东;大米抛光没错,添加矿物油后才有“毒”[N];新华每日电讯;2008年
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6 妇产科陈佑宇提供;不可滥用清洗液[N];大众卫生报;2002年
7 赵菲;难言之隐“一洗了之”?[N];中国医药报;2002年
8 ;控制成本是ITO企业发展关键[N];中国电子报;2009年
9 本报记者 王彩丽;女性爱干净要把好“度”[N];卫生与生活报;2006年
10 本报记者 诸玲珍;ITO靶材:资源优势明显 工艺研发取得突破[N];中国电子报;2009年
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1 赵辉;基于ITO微孔电极的SH-SY5Y细胞行为电化学分析研究[D];华东师范大学;2012年
2 李皓;心衰机理及hKv4.3基因表达调控研究[D];吉林大学;2006年
3 陈曙光;铟锡氧化物(ITO)粉体及高性能ITO靶材的制备与研究[D];华中科技大学;2005年
4 何捍卫;铜化学-机械抛光电化学机理与抛光速率的研究[D];中南大学;2002年
5 吴大刚;基于信息流控制的信息技术外包产业发展模式与战略研究[D];吉林大学;2007年
6 宋丹丹;磷光OLEDs的效率和效率roll-off特性的影响因素及改进方法[D];北京交通大学;2011年
7 刘薇娜;冰盘纳米抛光金属材料的研究[D];吉林大学;2004年
8 朱协彬;软化学法制备纳米ITO材料及其介孔组装体系研究[D];中南大学;2007年
9 赵平;电荷传输材料的设计、合成与光电性能研究[D];复旦大学;2006年
10 徐慢;玻璃基太阳能电池薄膜材料制备及其结构和性能研究[D];武汉理工大学;2006年
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1 齐童;干冰微粒喷射法清洗和抛光ITO玻璃[D];电子科技大学;2008年
2 姜健;使用磁体抛光体(Magnetic Compound Fluid Polishing Tool)抛光的新方法[D];大连理工大学;2005年
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4 刘思远;ITO薄膜激光刻蚀控制系统的实现[D];苏州大学;2010年
5 袁振;微波烧结ITO靶材研究[D];中南大学;2011年
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7 张磊;纳米ITO颗粒在乙酸丁酯相中分散稳定性研究[D];西安建筑科技大学;2011年
8 毛延凯;低压双电荷层ITO薄膜晶体管[D];湖南大学;2011年
9 顾敏芝;一种高效非球面研抛法的研究[D];浙江大学;2004年
10 甄中锋;模具数据库、动态仿真及抛光的研究[D];哈尔滨理工大学;2004年
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