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《电子科技大学》 2010年
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直流溅射法制备YBCO带材研究

肖山  
【摘要】: YBCO高温超导带材具有优异的电学性能,它具有在外场下临界电流高,交流损耗低以及成本较低等优点,在工业应用中有非常大的潜力,所以各国都投入了巨大的人力物力进行研究。直流溅射具有方法简单、易于控制以及工艺重复性好等特点,本文基于直流溅射法研究了Y2O3种子层薄膜的制备工艺,并且在制备有Y2O3/YSZ/CeO2 (YYC)缓冲层的镍钨合金(Ni-5at.%W)基带上制备YBCO涂层导体进行了研究,还对YBCO薄膜的磁通钉扎特性也做了初步探讨。主要内容如下: 1、根据c轴择优度和温度的关系以及反应溅射特有的迟滞效应,得出当温度为720℃,溅射电流为0.2A,水分压为0.016Pa,反应溅射处于平衡状态,制备出Y2O3种子层薄膜纯c轴取向,且面内面外半高宽为3.9°和4.9°。 2、在Y2O3/YSZ/CeO2(YYC)缓冲层上制备YBCO涂层导体,发现缓冲层表面粗糙度对YBCO薄膜的性能有很大的影响,分别在反应溅射法和射频溅射法制备YYC缓冲层上以相同的工艺制备YBCO薄膜,两种缓冲层都是纯c轴取向,面内面外取向一致性相当,但反应溅射法制备的缓冲层粗糙度明显大于射频溅射制备的,在前者上制备的YBCO薄膜临界电流密度Jc为1.2 MA/cm2,而在后者基础上制备的YBCO薄膜的临界电流密度Jc达到2.8 MA/cm2。 3、探讨了用卷绕法在平面靶直流溅射装置上连续制备YBCO带材的工艺,780℃为卷绕法制备YBCO薄膜的适宜温度,由于平面靶的负离子反溅射效应较为明显,综合考虑靶基距和气体总压,并且通过改变卷绕速度,补偿由于负离子反溅射效应导致的成分偏差,在靶基距为20mm,气体总压为70Pa,卷绕速度为0.55m/h时,临界电流密度达到0.6MA/cm2。 4、研究了YBCO超导薄膜在磁场下的性能变化,首先在65K和77K的温度下,外加0-2T的磁场下对未掺杂的YBCO薄膜的性能进行测试,磁场方向垂直于基片表面,温度越低,YBCO薄膜的性能随磁场强度的增大下降的趋势越弱,然后我们还用Y过量的靶制备了富Y的YBCO薄膜,由于Y2O3在YBCO薄膜中形成钉扎中心,其在磁场下的性能明显优于未掺杂的YBCO薄膜。
【学位授予单位】:电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2010
【分类号】:TM26

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 袁冠森;第二代高温超导带材涂层导体的研究[J];低温物理学报;2003年S1期
2 张国民,林良真,肖立业,余运佳;高温超导带材的交流损耗[J];低温与超导;2001年03期
3 赵忠贤,陈立泉,杨乾声,黄玉珍,陈赓华,唐汝明,刘贵荣,崔长庚,陈烈,王连忠,郭树权,李山林,毕建清;Ba-Y-Cu氧化物液氮温区的超导电性[J];科学通报;1987年06期
4 M.R.Koblischka;Nanoengineering of Flux Pinning Sites in High-T_c Superconductors[J];Tsinghua Science and Technology;2003年03期
5 徐永利,时东陆;A Review of Coated Conductor Development[J];Tsinghua Science and Technology;2003年03期
6 茅昕辉,陈国平,蔡炳初;反应磁控溅射的进展[J];真空;2001年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李凤华;YBaCuO超导带材制备的基础研究[D];东北大学;2005年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 金力成;金波;;金属薄膜的质量造成电阻器失效的分析[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年05期
2 徐政;杨秀英;宋世庚;周拴虎;聂圣哲;;Y-Ba-Cu-O高Tc氧化物的超导电性[J];安徽大学学报(自然科学版);1988年01期
3 吴桂芳,宋学平,刘勇,林伟,孙兆奇;衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年03期
4 宋学萍,王佩红,孙兆奇;退火温度对溅射Al膜微结构及光学常数的影响[J];安徽大学学报(自然科学版);2005年03期
5 孟影;金绍维;;La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延膜厚度引起的电阻率变化[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年03期
6 闫金良;低翘曲度ITO透明导电膜玻璃的工艺研究[J];半导体光电;2004年05期
7 陈蒲生,张昊,冯文修,刘剑,刘小阳,王锋;PECVD法低温形成SiO_xN_y介质膜的俄歇电子能谱和红外吸收光谱分析[J];半导体技术;2002年07期
8 成传品;唐明华;叶志;钟向丽;郑学军;周益春;;(Bi,Yb)_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的制备[J];半导体技术;2006年08期
9 林炜;马瑞新;;高温超导YBCO薄膜及其制备[J];微纳电子技术;2006年08期
10 李伟,李国新,焦清介,刘淑珍;真空蒸镀太安成膜机理分析[J];兵工学报;2001年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 单玉桥;于晓中;李力;田晓飞;;磁控溅射镀钽及其性能的研究[A];2004年全国电子电镀学术研讨会论文集[C];2004年
2 王东;路建军;齐宏进;;防水透湿织物上碳氟膜的纳米结构及均匀性的初步研究[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
3 孙维连;杨钰瑛;李新领;;采用中频反应磁控溅射技术沉积氮化锆薄膜[A];第十一届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2006年
4 杨云志;冉均国;郑昌琼;;磁控溅射制备类金刚石膜生物材料的工艺与性能的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
5 蔡珣;;可调的透明导电膜研究进展[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
6 曾武贤;谢泉;梁艳;张晋敏;肖清泉;杨吟野;任学勇;;不同溅射气压对β-FeSi_2形成的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
7 孙福来;谭红琳;;溶胶-凝胶法制备ZnO:Al导电薄膜的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
8 何平;;纳米电子膜热加工可拓控制技术[A];第二十四届中国控制会议论文集(下册)[C];2005年
9 姚进斌;;超导体的中间态热力学研究[A];第二十七届全国化学与物理电源学术年会论文集[C];2006年
10 韩向宇;张祖伟;胡陈果;;管径对碳纳米管膜激活能的影响[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 岳宏卫;高温超导约瑟夫森结及阵列毫米波特性研究[D];南开大学;2010年
2 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
3 汤如俊;小颗粒CoPt单层和双层垂直磁记录介质研究[D];电子科技大学;2010年
4 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
5 林亦琦;La系双钙钛矿陶瓷的介电与磁学性能[D];浙江大学;2010年
6 毛敏敏;SrRAlO_4(R=La,Nd,Sm)基陶瓷的结构与微波介电性能[D];浙江大学;2011年
7 蔡永茂;过渡金属氧化物电子结构与性质的第一性原理研究[D];吉林大学;2011年
8 刘一婷;基于酞菁铜的太阳能电池的研究[D];大连理工大学;2011年
9 刘娟;铁基化合物和锰铬化合物的超导电性及磁性的第一性原理研究[D];华中科技大学;2011年
10 李能;多铁及半导体光催化材料光电磁性质研究[D];华中科技大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 王博;辐射桥面发射激光器工艺与测试[D];长春理工大学;2010年
3 位永平;非晶InSb探测器材料光电特性研究[D];长春理工大学;2010年
4 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
5 贾林涛;折射率调制光纤气体传感系统设计与研究[D];郑州大学;2010年
6 郭东歌;基于LPFGs氢敏探测器的研究[D];郑州大学;2010年
7 荣英凤;BDT铁电薄膜和ZnO纳米带压电性能的测试与表征[D];湘潭大学;2010年
8 许旺;IC互连碳纳米管关键技术研究[D];天津理工大学;2010年
9 纪红;适于SAW器件“AlN/硅”“AlN/金刚石”多层膜制备及结构性能研究[D];天津理工大学;2010年
10 郝龙;射频反应溅射法制备SnO_2薄膜及其工艺研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘敏,周美玲,翟乐恒,高欣,刘丹敏;Ag掺杂对YBCO烧结靶性能的影响[J];北京工业大学学报;2002年04期
2 周健,郭建亭,李谷松;Ag对NiAl合金组织和性能的影响[J];材料工程;2002年03期
3 吴卫东,柳光祖,李华林;氧化物弥散强化(ODS)合金在高温领域的应用[J];材料工程;1995年04期
4 李青;电泳电沉积法制作功能性薄膜[J];电镀与涂饰;1997年04期
5 张酣,周先意,赵勇,张其瑞;Ba位元素对超导电性的作用[J];低温物理学报;1991年01期
6 杜社军,张平祥,纪平,周廉,吴晓祖;PMP法制备Ag基带YBCO复合超导体[J];低温物理学报;1994年05期
7 吴鸿,曾飞,张宏;掺Na对YBCO超导体性能的影响[J];低温物理学报;1994年06期
8 单玉桥,樊占国,苏大和,张国范,张玉政,赵忠贤;Ag含量对熔融织构YBCO结构及超导电性的影响[J];低温物理学报;1995年05期
9 周锷猷,龚尚敏,袁美萍,王葛亚,张宏,毛应俊,袁骏,杨根庆,柳襄怀,邹世昌;MOCVD法在含YSZ过渡层的Ni合金上制备YBCO薄膜[J];低温物理学报;1997年04期
10 沙建军,郁金南,郁刚;Y-211粒子与Y_2O_3粉掺杂的熔融织构YBCO超导体性能及微观研究[J];低温与超导;2000年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 魏旺水,龚尚敏,罗乐,胡素辉;用硝酸盐共分解法所得的超导粉料制备Ag-YBCO复合带材[J];低温物理学报;1992年02期
2 刘东,杨涛,李建平,汪京荣,吴晓祖,王家素,王素玉;YBCO烧结材料R_s-J_e实验曲线中的反比关系[J];科学通报;1992年01期
3 张莉;YBCO掺杂效应研究[J];兰州理工大学学报;2004年01期
4 谢义元,袁凤池,程彬吉,陈继平,钟勇,崔炳燊;动态MOCVD连续制备YBCO/Ag超导带的微观结构[J];低温与超导;1994年01期
5 朱亚彬,周岳亮,王淑芳,刘震,熊季午,陈正豪,吕惠宾,杨国桢,肖玲,任洪涛,焦玉磊,郑明辉;电泳法(EPD)制备YBCO超导涂层的微结构及其性质[J];低温与超导;2004年01期
6 马衍伟,肖立业;第2代高温超导YBCO涂层导体的发展及其应用[J];科学通报;2005年01期
7 杨德林,孟令启,李志成,胡行,郭益群,高之爽;YBa_2Cu_3O_(7-x)的高温氧呼吸特性[J];低温与超导;2001年01期
8 王秋良,安承武,王又青,李再光;脉冲激光淀积高电流密度的YBCO超导带材[J];中国激光;1997年09期
9 马海霞,徐克西;磁场下高温超导YBCO颗粒膜的非平衡微波响应[J];低温物理学报;2000年05期
10 杨国桢;1987年以来我国高温超导研究进展[J];物理;1991年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赵桂荣;赵高扬;张黄莉;;溶胶-凝胶法制备感光性YBCO凝胶薄膜的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
2 陈绍楷;周廉;王克光;吴晓祖;张平祥;冯勇;;添加CeO_2的PMP法YBCO组织结构特征[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
3 周萍;张永彬;黄火根;蒋春丽;;PLD在SrTiO_3(100)晶面沉积YBCO薄膜性能分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
4 邹小卫;王智河;张宏;;Na掺杂对MTG YBCO钉扎势U(T,H)的影响[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
5 陶伯万;张鹰;陈家俊;刘兴钊;何世明;李言荣;;大面积双面YBCO高温超导簿膜的均匀性分析[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
6 赵跃;刘敏;董杰;梁锦霞;何嘉;索红利;周美玲;;等离子体表面处理对YBCO薄膜表面形貌的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
7 陶伯万;罗安;刘兴钊;何世明;李言荣;;φ40mm双面YBCO高温超导薄膜均匀性研究[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
8 高之爽;胡行;刘大军;杨德林;郭郑元;李志成;王忠建;谢耀东;戴思聪;曾建晟;;YBCO纯化技术的工业应用[A];变压吸附设备技术交流会论文集[C];2004年
9 刘敏;刘丹敏;董杰;赵跃;刘星;索红莉;周美玲;;单晶Ag基底上YBCO膜外延机理的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
10 王三胜;韩征和;陈胜;史锴;杜鹏;裘蕾;王林;;YBCO覆膜导体制备新技术及其进展[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 张怀忠;百米长高温超导带材制成[N];中国矿业报;2000年
2 本报记者 杨靖;第一根百米高温超导带材[N];科技日报;2008年
3 记者 张孟军;第二代百米高温超导导线问世[N];科技日报;2005年
4 李禾;吕惠宾:让分子无处遁形[N];科技日报;2004年
5 ;超导列车——德国的梦[N];科技日报;2004年
6 本报记者 周芳燕;西北有色金属研究院超导材料研究取得突破性进展[N];中国高新技术产业导报;2002年
7 立冬;我首根百米高温超导带材问世[N];中国电子报;2000年
8 记者 杨良化;我国超导技术开始迈向应用阶段 首根百米高温超导带材研制成功[N];市场报;2000年
9 记者 仇逸;我国研发成功百米级第二代高温超导带材[N];人民日报;2011年
10 记者 王阳;成功研发百米级第二代高温超导带材[N];上海科技报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 高锋;化学溶液法制备YBCO超导层及钙钛矿结构导电缓冲层的研究[D];东北大学;2009年
2 刘娟秀;YBCO高温超导薄膜器件研制及光化学/辐照特性研究[D];电子科技大学;2010年
3 蔡衍卿;高温超导材料液相外延生长过程中的取向控制以及热稳定性能的研究[D];上海交通大学;2008年
4 李英楠;YBaCuO膜及其金属基带和缓冲层的制备与研究[D];东北大学;2010年
5 张黄莉;钇钡铜氧超导薄膜及其微细图形化新方法研究[D];西安理工大学;2009年
6 王文涛;无氟高分子辅助金属有机物沉积法制备高性能REBa_2Cu_3O_(7-z)超导薄膜[D];西南交通大学;2010年
7 陶伯万;3英寸YBCO双面超导薄膜的外延生长和均匀性研究[D];电子科技大学;2003年
8 秦玉洁;永磁轨道上高温超导块材YBCO的导向性能实验与仿真研究[D];西南交通大学;2009年
9 刘璐;YBCO块材组合在永磁轨道上方的动态性能实验研究[D];西南交通大学;2011年
10 杨德林;YBa_2Cu_3O_(7-x)氧扩散特性、应用及掺杂替代的基础研究——分子筛和透氧膜研究[D];郑州大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 肖山;直流溅射法制备YBCO带材研究[D];电子科技大学;2010年
2 张宁;YBCO带材超导层的溅射生长研究[D];电子科技大学;2011年
3 高昶;低氟MOD法制备YBCO高温超导带材研究[D];电子科技大学;2011年
4 朱东亮;原位外延生长YBCO薄膜及取向控制[D];苏州大学;2010年
5 戴邵康;液相源金属有机物化学气相法制备YBCO高温超导薄膜[D];电子科技大学;2010年
6 刘宇;高温超导YBCO薄膜中纳米氧化物结构的制备与研究[D];南昌大学;2010年
7 严武卫;用化学溶液法快速制备YBCO超导薄膜的研究[D];陕西师范大学;2011年
8 王道云;磁控溅射法制备YBCO原子层热电堆薄膜研究[D];郑州大学;2011年
9 范俊;脉冲激光沉积制备YBCO薄膜:激光诱生大颗粒的消除以及c轴择优外延生长研究[D];苏州大学;2011年
10 赫连豪;YBCO超导材料在天线中的应用研究[D];解放军信息工程大学;2011年
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