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《电子科技大学》 2009年
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石英微机械振动陀螺薄膜相关技术研究

董宏奎  
【摘要】:石英微机械振动陀螺是惯性技术与微机械加工技术相结合的产物,它最突出的特点是采用了微电子加工技术来加工振动元件。这种陀螺还具有以下的特点:体积小、重量轻、可靠性高、结构简单、适合大批量生产、可构成微小型低价格的GPS组合惯性导航定位系统。为了满足各种不同应用的需求,进一步扩展市场,石英微机械振动陀螺必须向小型化、高精度及低成本的方向发展。 陀螺振子是石英微机械振动陀螺仪中的核心器件。目前,加工的石英微机械振动陀螺振子的重要参数Q值、频差、零位电压等性能指标制约着陀螺的批量化、规模化的生产。 石英微机械陀螺振子的加工需要很多工序:基片镀膜、光刻、刻蚀、侧面镀膜、装配等。每道工序对陀螺振子的加工都重要,然而镀膜工艺则是微加工过程中非常重要的中间环节。首先,对石英微机械陀螺的工作机理及微观理论分析研究。通过理论研究,合理地设计陀螺振子正、反两面以及侧面电极的布局和膜层宽度尺寸。其次,对石英微机械陀螺的薄膜技术进行深入地分析研究。然后,石英微机械陀螺振子薄膜均匀性、附着力性质的介绍。最后,通过两个侧面镀膜工序实验,来分析研究音叉侧面电极分中精度、膜层宽度以及膜层宽度对称性对陀螺振子的频差、零位电压等指标的影响。
【学位授予单位】:电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2009
【分类号】:TP211.2

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